천호석
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Microsoft C/C++ MSF 7.00
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F060005f8*%”Fset_Temperaturp;Õºÿÿÿÿ    /ñeControlFault2)”F060005f9*%Fget_TemperatureControlFault3)F060005fa*%˜Fset_TemperatureControlFault3)˜F060005fb*%Fget_TemperatureControlFault4)F060005fc*%œFset_TemperatureControlFault4)œF060005fd*%Fget_TemperatureControlFault5)F060005fe*% Fset_TemperatureControlFault5) F060005ff*%Fget_TemperatureControlFault6)F06000600*%¤Fset_TemperatureControlFault6)¤F06000601*% Fget_TemperatureControlFault7) F06000602*%¨Fset_TemperatureControlFault7)¨F06000603%.ctor)06000169&%hget_Remote_Control_Mode)h0600016a&%°set_Remote_Control_Mode)°0600016b&%øget_Local_Control_Mode)ø0600016c&%<set_Local_Control_Mode)<0600016d&%€get_Thermal_Relay_Alarm)€0600016e&%Èset_Thermal_Relay_Alarm)È0600016f%get_Open_the_door)06000170%Pset_Open_the_door)P06000171%get_Setting_Alarm)06000172%Ðset_Setting_Alarm)Ð06000173%get_RPM_Alarm)06000174%Lset_RPM_Alarm)L060001752%ˆget_Auto_controlling_for_Over_Current)ˆ060001762%Üset_Auto_controlling_for_Over_Current)Ü06000177&%0get_Over_Current_Alarm)006000178&%tset_Over_Current_Alarm)t06000179"%¸get_No_Connection_LCU)¸0600017a"%üset_No_Connection_LCU)ü0600017b%@get_LCU_ID)@0600017c%xset_LCU_ID)x0600017d%°get_Data_SV)°0600017e%ìset_Data_SV)ì0600017f%(get_Data_PV)(06000180%dset_Data_PV)d06000181% get_mmAq) 06000182%Øset_mmAq)Ø06000183%get_mmAqLSV)06000184%Lset_mmAqLSV)L06000185%ˆget_mmAqHSV)ˆ06000186%Äset_mmAqHSV)Ä06000187%ChangeStatus)06000188%SetData_SV)06000189%øSetData_PV)ø0600018a%`    SetmmAq)`    0600018b%1.ctor)1060004ac%ø1get_Code)ø1060004ad%l1set_Code)l1060004ae%Ô1get_Description)Ô1060004af%P1set_Description)P1060004b0%À1get_Heavy)À1060004b1%41set_Heavy)41060004b2%¨1get_Light)¨1060004b3%1set_Light)1060004b4%1get_Level)1060004b5%1set_Level)1060004b6%l1get_Use)l1060004b7%à1set_Use)à1060004b8%H1get_OccurredTime)H1060004b9%Ä1set_OccurredTime)Ä1060004ba%41Clone)41060004bb%Ü1op_Equality)Ü1060004bc%Œ1op_Inequality)Œ1060004bd%<    1Equals)<    1060004be%¬    1GetHashCode)¬    1060004bf%Aget_HfSync)A060005b8%xAset_HfSync)xA060005b9%àAget_LddInterlock)àA060005ba%\Aset_LddInterlock)\A060005bb"%ÌAget_ShutterInterlock)ÌA060005bc"%LAset_ShutterInterlock)LA060005bd"%ÀAget_LowExtFrequency)ÀA060005be"%@Aset_LowExtFrequency)@A060005bf"%<<statusUpdate>b__16_0)<060005a8%J<Align>b__0)J06000627%K<Again>b__0)K06000629%0.ctor)0060004a4%Ü0SaveFile)Ü0060004a5% 0TrySaveFile) 0060004a6%l0ReadFile)l0060004a7%Ô0TryReadFile)Ô0060004a8% 0DeleteFile) 0060004a9%Ð0Copy)Ð0060004aa%¤0Clone)¤0060004ab%(get_Name)(06000435%<(set_Name)<(06000436%t(get_Radius)t(06000437%¬(set_Radius)¬(060004382%ä(get_DistanceFromCenterToPrimaryFlat)ä(060004392%8(set_DistanceFromCenterToPrimaryFlat)8(0600043a%Œ(get_EdgeRound)Œ(0600043b%È(set_EdgeRound)È(0600043c%(get_BeamWidth)(0600043d%@(set_BeamWidth)@(0600043e%|(get_BeamHeight)|(0600043f%¸(set_BeamHeight)¸(06000440"%ô(get_ProcessInfoList)ô(06000441"%8(set_ProcessInfoList)8(06000442%|(.ctor)|(06000443%D(AddProcessInfo)D(06000444%°(Clone)°(06000445%X(IsEquals)X(06000446%@MoveNext)@060005b4%O<PutReady>b__0)O06000632%P<Put>b__0)P06000634%Q<MappingSeq>b__0)Q06000636%M<GetReady>b__0)M0600062e%N<Get>b__0)N06000630%*get_Radius)*0600044e%<*set_Radius)<*0600044f2%t*get_DistanceFromCenterToPrimaryFlat)t*060004502%È*set_DistanceFromCenterToPrimaryFlat)È*06000451%*get_EdgeRound)*06000452%X*set_EdgeRound)X*06000453%”*get_StartX)”*06000454%Ì*set_StartX)Ì*06000455%*get_StartY)*06000456%<*set_StartY)<*06000457%t*get_Width)t*06000458%¬*set_Width)¬*06000459%ä*get_Height)ä*0600045a%*set_Height)*0600045b%T*get_ProcessStartX)T*0600045c%”*set_ProcessStartX)”*0600045d%Ô*get_ProcessStartY)Ô*0600045e%*set_ProcessStartY)*0600045f%T*get_ProcessEndX)T*06000460%”*set_ProcessEndX)”*06000461%Ô*get_ProcessEndY)Ô*06000462%*set_ProcessEndY)*06000463%T*get_BeamWidth)T*06000464%*set_BeamWidth)*06000465%Ì*get_BeamHeight)Ì*06000466%*set_BeamHeight)*06000467"%D*get_BeamHeightOverlap)D*06000468"%ˆ*set_BeamHeightOverlap)ˆ*06000469"%Ì*get_BeamWidthOverlap)Ì*0600046a"%*set_BeamWidthOverlap)*0600046b&%T*get_ScannerProcessSpeed)T*0600046c%Ø*get_Energy)Ø*0600046d%*set_Energy)*0600046e"%H*get_IsProcessEnable)H*0600046f"%Œ*set_IsProcessEnable)Œ*06000470%Ð*get_ProcessLength)Ð*06000471%    *set_ProcessLength)    *06000472%P    *get_AccTime)P    *06000473%Œ    *set_AccTime)Œ    *06000474%È    *get_ProcessList)È    *06000475%
*set_ProcessList)
*06000476%H
*.ctor)H
*06000477%¬
*SetRecipeData)¬
*06000478% *SetProcessData) *06000479*% *IsProcessingAreaContainWafer) *0600047a&%P*GetProcessStartEndCoords)P*0600047b%¸*IsCoordInWafer)¸*0600047c*%0*GetPointYOfContactOfEllips)0*0600047d"%ð*CreateProcessLines)ð*0600047e%¸*Clone)¸*0600047f%à*IsEquals)à*06000480%.ctor)0600030f%hget_Name)h06000310%Üset_Name)Ü06000311%Dget_Position)D06000312%¼set_Position)¼06000313%(get_Speed)(06000314%œset_Speed)œ06000315%get_Accel)06000316%xset_Accel)x06000317&% get_EnergyDropCheckCycle) 060000ab&%L set_EnergyDropCheckCycle)L 060000ac2%” get_EnergyDropCheckMeasurementTime)” 060000ad2%ä set_EnergyDropCheckMeasurementTime)ä 060000ae.%4 get_EnergyDropCheckTargetAngle)4 060000af.%€ set_EnergyDropCheckTargetAngle)€ 060000b0.%Ì get_EnergyDropCheckTargetEnergy)Ì 060000b1.% set_EnergyDropCheckTargetEnergy) 060000b22%l get_EnergyDropCheckErrorOccuredRange)l 060000b32%À set_EnergyDropCheckErrorOccuredRange)À 060000b4&% get_AttenuatorCalCycle) 060000b5&%X set_AttenuatorCalCycle)X 060000b6.%œ get_AttenuatorCalMeasurementTime)œ 060000b7.%ì set_AttenuatorCalMeasurementTime)ì 060000b8*%< get_AttenuatorCalCoolingTime)< 060000b9*%ˆ set_AttenuatorCalCoolingTime)ˆ 060000ba*%Ô get_AttenuatorCalStartAngle)Ô 060000bb*%  set_AttenuatorCalStartAngle)  060000bc&%l get_AttenuatorCalEndAngle)l 060000bd&%´ set_AttenuatorCalEndAngle)´ 060000be*%ü get_AttenuatorCalAngleStep)ü 060000bf*%D set_AttenuatorCalAngleStep)D 060000c0*%Œ get_EnergyMeasurementCycle)Œ 060000c1*%Ô set_EnergyMeasurementCycle)Ô 060000c22% get_EnergyMeasurementWaferCountCycle) 060000c32%p set_EnergyMeasurementWaferCountCycle)p 060000c46%Ä get_EnergyMeasurementErrorOccuredRange)Ä 060000c56% set_EnergyMeasurementErrorOccuredRange) 060000c6&%l get_EnergyMeasurementTime)l 060000c7&%´ set_EnergyMeasurementTime)´ 060000c8*%ü get_EnergyMeasurmentStepAngle)ü 060000c9*%H     set_EnergyMeasurmentStepAngle)H     060000ca.%”     get_EnergyMeasurementRetryCount)”     060000cb.%ä     set_EnergyMeasurementRetryCount)ä     060000cc*%4
get_EnergyMeterHeatingTime)4
060000cd*%|
set_EnergyMeterHeatingTime)|
060000ce%Ä
get_BeamHeight)Ä
060000cf% set_BeamHeight) 060000d0%< get_BeamWidth)< 060000d1%x set_BeamWidth)x 060000d2%´ .ctor)´ 060000d3%¨ Clone)¨ 060000d4%Bget_Main)B060005c0%xBset_Main)xB060005c1%àBget_Common)àB060005c2%TBset_Common)TB060005c3%¼Bget_Temperature)¼B060005c4%8Bset_Temperature)8B060005c5%¨Bget_Sensor)¨B060005c6%Bset_Sensor)B060005c7%„Bget_PowerMonitor)„B060005c8%Bset_PowerMonitor)B060005c9%pBget_Pulse)pB060005ca%äBset_Pulse)äB060005cb%LBget_Ldd)LB060005cc%ÀBset_Ldd)ÀB060005cd%(Bget_Motor)(B060005ce%œBset_Motor)œB060005cf%T<Occur>b__0)T06001414"%;<statusUpdate>b__29_0);060005a5%get_PortName)06000196%set_PortName)06000197%lget_BaudRate)l06000198%äset_BaudRate)ä06000199%Pget_DataBits)P0600019a%Èset_DataBits)È0600019b%4get_Parity)40600019c%¨set_Parity)¨0600019d%get_StopBits)0600019e%ˆset_StopBits)ˆ0600019f%ôget_Handshake)ô060001a0%lset_Handshake)l060001a1%Øget_ReadTimeout)Ø060001a2%Tset_ReadTimeout)T060001a3%Äget_WriteTimeout)Ä060001a4%@set_WriteTimeout)@060001a5"%°get_ReceiveWaitTime)°060001a6"%0set_ReceiveWaitTime)0060001a7%¤get_Terminator)¤060001a8%    set_Terminator)    060001a9%ˆ    .ctor)ˆ    060001aa%ì    GetExistPortNames)ì    060001ab%h
Open)h
060001ac%, Close), 060001ad%ð WriteRead)ð 060001ae%8 Write)8 060001af%WriteRead)060001b0%|Write)|060001b1%DRead)D060001b2%`CheckTerminator)`060001b3&%-get_EnergyDropCheckDate)-0600048b&%L-set_EnergyDropCheckDate)L-0600048c"%”-get_AttenuatorCalDate)”-0600048d"%Ø-set_AttenuatorCalDate)Ø-0600048e%-.ctor)-0600048f%8-Refresh)8-06000490&%X-SetEnergyDropCheckDate)X-06000491"%Ì-SetAttenuatorCalDate)Ì-06000492%get_Version)06000318%Àset_Version)À06000319%,get_PositionX),0600031a%¤set_PositionX)¤0600031b%get_PositionY)0600031c%ˆset_PositionY)ˆ0600031d%ôget_PositionT)ô0600031e%lset_PositionT)l0600031f%Øget_IsHome)Ø06000320%Lset_IsHome)L06000321%´get_IsWaferExist)´06000322%0set_IsWaferExist)006000323% get_IsVacuumOn) 06000324%set_IsVacuumOn)06000325%„get_IsAlignRun)„06000326%üset_IsAlignRun)ü06000327%hget_IsRunEnable)h06000328%ä.ctor)ä06000329%HstatusUpdate)H0600032a%0    Align)0    0600032b%ð    Again)ð    0600032c%°
ReadVersion)°
0600032d%ä Home)ä 0600032e%d VacuumOn)d 0600032f%è VacuumOff)è 06000330%l PinUp)l 06000331%ì PinDown)ì 06000332%pReadStatus)p06000333%ÐReadLog)Ð06000334%xReadAlarmCode)x06000335%”ReadPinStatus)”06000336%°ReadWaferStatus)°06000337%ÐReadVaccumStatus)Ð06000338%ðReadParameter)ð06000339%ôReadPosition)ô0600033a%hCenter)h0600033b%èSetAlignOffset)è0600033c%ìWrite)ì0600033d%˜WriteRead)˜0600033e%”WriteRead)”0600033f%DSetAlarmCode)D06000340%¼<Home>b__48_0)¼06000341%Ä<VacuumOn>b__49_0)Ä06000342"%ô<VacuumOff>b__50_0)ô06000343%$<PinUp>b__51_0)$06000344%, <PinDown>b__52_0), 06000345%8!<Center>b__61_0)8!06000346"%><statusUpdate>b__15_0)>060005ae%'get_Recipes)'0600042c%ä'set_Recipes)ä'0600042d%P'.ctor)P'0600042e%´'RefreshRecipes)´'0600042f%ô'SaveOrCreate)ô'06000430%l'Delete)l'06000431%Ü'ExistsRecipe)Ü'06000432%T'GetRecipe)T'06000433%È'GetRecipeList)È'06000434&%Gget_SystemInitialization)G06000604&%ˆGset_SystemInitialization)ˆG06000605%Gget_Setup)G06000606%tGset_Setup)tG06000607%ÜGget_Running)ÜG06000608%TGset_Running)TG06000609%ÀGget_Standby)ÀG0600060a%8Gset_Standby)8G0600060b%¤Gget_SoftFault)¤G0600060c%Gset_SoftFault)G0600060d%ˆGget_HardFault)ˆG0600060e%Gset_HardFault)G0600060f% get_ScanMode) 060003a3% set_ScanMode) 060003a4%p get_X)p 060003a5%à set_X)à 060003a6%T get_Y)T 060003a7%Ä set_Y)Ä 060003a8%8 .ctor)8 060003a9%get_PositionT)06000347%4set_PositionT)406000348% get_PositionZ) 06000349%set_PositionZ)0600034a%„get_PositionR)„0600034b%üset_PositionR)ü0600034c%hget_PositionF)h0600034d%àset_PositionF)à0600034e%Lget_AlarmCode)L0600034f%Äset_AlarmCode)Ä06000350"%0get_AlarmDescription)006000351"%°set_AlarmDescription)°06000352%$get_IsError)$06000353%œset_IsError)œ06000354%get_PowerStatus)06000355%„set_PowerStatus)„06000356%ôget_IsVacuumOn)ô06000357%lset_IsVacuumOn)l06000358%Øget_IsRun)Ø06000359%L    set_IsRun)L    0600035a%´    get_IsWaferExist)´    0600035b%0
set_IsWaferExist)0
0600035c% 
get_IsServoOn) 
0600035d% get_IsPutGetRun) 0600035e%” set_IsPutGetRun)” 0600035f% get_GetTactTime) 06000360%€ set_GetTactTime)€ 06000361%ð get_PutTactTime)ð 06000362%l set_PutTactTime)l 06000363%Ü get_IsRunEnable)Ü 06000364"%Xget_MappingTactTime)X06000365"%Øset_MappingTactTime)Ø06000366"%Lget_IsMappingError)L06000367"%Èset_IsMappingError)È06000368%8.ctor)806000369%œstatusUpdate)œ0600036a"%€ReadFirmwareVersion)€0600036b%\GetReady)\0600036c%$GetReadyThread)$0600036d%XGet)X0600036e%GetThread)0600036f%ÔPutReady)Ô06000370%œPutReadyThread)œ06000371%ÐPut)Ð06000372%”PutThread)”06000373%PMappingSeq)P06000374%WaferGetInterlock)06000375%WaferPutInterlock)06000376% MappingInterlock) 06000377%MappingTh)06000378&%tReadPort1MappingResult)t06000379&%(!ReadPort2MappingResult)(!0600037a%Ü"Mapping)Ü"0600037b%D#ReadMappingResult)D#0600037c%$Home)$0600037d%d$ServoOn)d$0600037e%Ì$ServoOff)Ì$0600037f%4%MoveRelative)4%06000380% %MoveAbsolute) %06000381% &ReadMappingSpeed) &06000382%È&SetMappingSpeed)È&06000383%8'SetWaferThickness)8'06000384*%¨'SetWaferCrossCheckStandard)¨'06000385*% (SetWaferDoubleCheckStandard) (06000386%œ(ReadErrorCode)œ(06000387"%X)ReadErrorDescription)X)06000388%*ErrorClear)*06000389%€*ReadPowerState)€*0600038a%€+ReadPosition)€+0600038b%\,EMS)\,0600038c%À,ReadSystemSpeed)À,0600038d%|-SetSystemSpeed)|-0600038e%è-ReadJogSpeed)è-0600038f% .ReadWaferDetected) .06000390%ð/ReadVacuumOn)ð/06000391%<1ReadRun)<106000392%„2SetJogSpeed)„206000393%ð2ReadHomeSpeed)ð206000394%¨3SetHomeSpeed)¨306000395%4ReadWaferOnSpeed)406000396%Ð4SetWaferOnSpeed)Ð406000397%@5ReadWaferOffSpeed)@506000398%ü5SetWaferOffSpeed)ü506000399%l6ReadZSpeed)l60600039a% 7SetZSpeed) 70600039b%ˆ7EmergencyStop)ˆ70600039c%ô7Pause)ô70600039d%X8Run)X80600039e%¼8ReadInput)¼80600039f%p9ReadOutput)p9060003a0%$:Write)$:060003a1%”:WriteRead)”:060003a2%#.cctor)#0600040d"%=<statusUpdate>b__10_0)=060005ab"%get_ErrorDescription)0600027c"%,set_ErrorDescription),0600027d% get_Flag) 0600027e%set_Flag)0600027f*%|get_CurrentMeasurementMode)|06000280*%set_CurrentMeasurementMode)06000281%xget_Energy)x06000282%ìset_Energy)ì06000283*%Tget_MeasurementAverageEnergy)T06000284&%get_MeasurementMaxEnergy)06000285&%Øget_MeasurementMinEnergy)Ø06000286&%˜get_MeasurementsEnergy)˜06000287&%set_MeasurementsEnergy)06000288"%Œget_EnergyPerUnitArea)Œ06000289"% set_EnergyPerUnitArea) 0600028a6%€get_MeasurementAverageEnergyPerUnitArea)€0600028b2%P    get_MeasurementMaxEnergyPerUnitArea)P    0600028c2%
get_MeasurementMinEnergyPerUnitArea)
0600028d.%è
get_MeasurementsEnergyPerUnitArea)è
0600028e.%t set_MeasurementsEnergyPerUnitArea)t 0600028f%ô get_Enable)ô 06000290%h set_Enable)h 06000291%Ð .ctor)Ð 06000292%4 statusUpdate)4 06000293% ReadEnergy) 06000294%ˆSetPowerMode)ˆ06000295%@SetEnergyMode)@06000296"%øGetMeasurementMode)ø06000297&%üResetMeasurementsEnergy)ü06000298%tResetEnergyMeter)t06000299%ðWriteRead)ð0600029a%Home)060001b4%lReadStatus)l060001b5%ÔReadPosition)Ô060001b6%@ReadVelocity)@060001b7%¬MoveAbsolute)¬060001b8%MoveRelative)060001b9%„MovePositiveJog)„060001ba%ôMoveNegativeJog)ô060001bb%dMoveStop)d060001bc%ÌSetSpeed)Ì060001bd%4SetAccel)4060001be%œServoOn)œ060001bf%ServoOff)060001c0%lResetError)l060001c1%4<.cctor>b__44_0)4060004f0%,.ctor),0600048a*% get_DegreePerSecondFromSpeed) 060000da%ä get_Position)ä 060000db%\ set_Position)\ 060000dc%È get_Degree)È 060000dd%< get_Speed)< 060000de%° set_Speed)° 060000df"% get_AccelerationValue) 060000e0"%˜ set_AccelerationValue)˜ 060000e1"%  get_DecelerationValue)  060000e2"%Œ set_DecelerationValue)Œ 060000e3&% get_SteppingResolution) 060000e4&%€ set_SteppingResolution)€ 060000e5%ô get_MotorEnable)ô 060000e6%p set_MotorEnable)p 060000e7%à get_MotorState)à 060000e8%X set_MotorState)X 060000e9%Ä .ctor)Ä 060000ea%( statusUpdate)( 060000eb%      Home)      060000ec%p     Stop)p     060000ed%Ô     MoveAbsolute)Ô     060000ee%ˆ
MoveAbsolute)ˆ
060000ef%ô
MoveRelative)ô
060000f0%¨ MoveRelative)¨ 060000f1% JogPositive) 060000f2%€ JogNegative)€ 060000f3&%ì IsAttenuatorAngleCorrect)ì 060000f4*%p SetMicroSteppingResolution)p 060000f5.%ô GetDegreefromSteppingResolution)ô 060000f6*%¸ GetDegreePerSecondFromSpeed)¸ 060000f7*%€ GetSpeedFromDegreePerSecond)€ 060000f8%@ SetAcceleration)@ 060000f9%¼ SetDeceleration)¼ 060000fa%8 SetSpeed)8 060000fb%¬ SaveSetting)¬ 060000fc% ReadStatus) 060000fd%0 ReadSettings)0 060000fe%( Write)( 060000ff%ô WriteRead)ô 06000100&%3<UpdateTowerLamp>b__96_0)3060004e8.% 3<UpdateEquipmentStatus>b__101_0) 3060004e9%2.ctor)2060004c8%<2ReadAlarmFile)<2060004cd%ü2WriteAlarmFile)ü2060004ce%@2Occur)@2060004cf%|2Clear)|2060004d0%à2Save)à2060004d1%L    2GetAlarms)L    2060004d2"%?<statusUpdate>b__16_0)?060005b1%+get_Recipes)+06000481%ä+set_Recipes)ä+06000482%P+.ctor)P+06000483%´+RefreshRecipes)´+06000484%ô+SaveOrCreate)ô+06000485%l+Delete)l+06000486%Ü+ExistsRecipe)Ü+06000487%T+GetRecipe)T+06000488%È+GetRecipeList)È+06000489%$get_IsStatus)$0600040f%@$set_IsStatus)@$06000410%|$get_IsFlip)|$06000411%´$set_IsFlip)´$06000412"%ì$get_IsProcessComplete)ì$06000413"%0$set_IsProcessComplete)0$06000414%t$get_CarrierID)t$06000415%°$set_CarrierID)°$06000416%ì$get_LotID)ì$06000417%$$set_LotID)$$06000418%\$get_RecipeName)\$06000419%˜$set_RecipeName)˜$0600041a%Ô$get_SourceNumber)Ô$0600041b%$set_SourceNumber)$0600041c%T$.ctor)T$0600041d%$Clone)$0600041e%Dget_Memory)D060005de%xDset_Memory)xD060005df%àDget_SdCard)àD060005e0%TDset_SdCard)TD060005e1&%¼Dget_BoardCommunication)¼D060005e2&%<Dset_BoardCommunication)<D060005e3%°Dget_BoardState)°D060005e4%(Dset_BoardState)(D060005e5%get_Name)06000084%|set_Name)|06000085%äget_Password)ä06000086%\set_Password)\06000087%Èget_Level)È06000088%<set_Level)<06000089%¤.ctor)¤0600008a%Clone)0600008b%°Equals)°0600008c&%    get_EnergyDropCheckUse)    0600009c&%H    set_EnergyDropCheckUse)H    0600009d"%Œ    get_AttenuatorCalUse)Œ    0600009e"%Р   set_AttenuatorCalUse)Р   0600009f&%    get_EnergyMeasurementUse)    060000a0&%\    set_EnergyMeasurementUse)\    060000a1"%¤    get_ShutterAlwaysUse)¤    060000a2"%è    set_ShutterAlwaysUse)è    060000a3%,    Clone),    060000a4%.ctor)06000143%ÜstatusUpdate)Ü06000144%ÌConnect)Ì06000145%”ReadDigitalInputs)”06000146"%àReadDigitalOutputs)à06000147%,ReadAnalogInputs),06000148%œReadAnalogOutputs)œ06000149%     WriteOutput)     0600014a%ˆ    WriteAnalog)ˆ    0600014b%.ctor)06000061%Xbtn_Close_Click)X06000062%ÈSetMessage)È06000063&%0MessageBoxPad_FormClosing)006000064%¨Dispose)¨06000065"% InitializeComponent) 06000066%Cget_PowerOn)C060005d0%|Cset_PowerOn)|C060005d1"%èCget_ShutterEnabled)èC060005d2"%dCset_ShutterEnabled)dC060005d3%ÔCget_KeySwitch)ÔC060005d4%LCset_KeySwitch)LC060005d5%¸Cget_LddOn)¸C060005d6%,Cset_LddOn),C060005d7%”Cget_QswOn)”C060005d8%Cset_QswOn)C060005d9"%pCget_ShutterInterlock)pC060005da"%ðCset_ShutterInterlock)ðC060005db%dCget_LddInterlock)dC060005dc%àCset_LddInterlock)àC060005dd"% get_SettingParameter) 060000d5"%à set_SettingParameter)à 060000d6%T Refresh)T 060000d7%x Save)x 060000d8%Ü .ctor)Ü 060000d9%Eget_Ldd1)E060005e6%xEset_Ldd1)xE060005e7%àEget_Ldd2)àE060005e8%TEset_Ldd2)TE060005e9%¼Eget_Qsw)¼E060005ea%0Eset_Qsw)0E060005eb%˜Eget_Flow)˜E060005ec% Eset_Flow) E060005ed%tEget_Wet)tE060005ee%èEset_Wet)èE060005ef%PEget_Humidity)PE060005f0%ÈEset_Humidity)ÈE060005f1%4Eget_HfSync)4E060005f2%¨Eset_HfSync)¨E060005f3%7get_Datas)706000517%x7set_Datas)x706000518"%à7get_LowLevelInTank)à706000519"%\7set_LowLevelInTank)\70600051a2%Ì7get_HighCirculatingFluidDischargeTemp)Ì70600051b2%\7set_HighCirculatingFluidDischargeTemp)\70600051c2%à7get_CirculatingFluidDischargeTempRise)à70600051d2%p7set_CirculatingFluidDischargeTempRise)p70600051e2%ô7get_CirculatingFluidDischargeTempDrop)ô70600051f2%„7set_CirculatingFluidDischargeTempDrop)„7060005202%7get_HighCirculatingFluidReturnTemp)7060005212%”7set_HighCirculatingFluidReturnTemp)”7060005226%7get_HighCirculatingFluidDischargePressure)7060005236%¨7set_HighCirculatingFluidDischargePressure)¨706000524&%07get_AbnormalPumpOperation)0706000525&%´7set_AbnormalPumpOperation)´7060005266%,7get_CirculatingFluidDischargePressureRise),7060005276%À7set_CirculatingFluidDischargePressureRise)À7060005286%H    7get_CirculatingFluidDischargePressureDrop)H    7060005296%Ü    7set_CirculatingFluidDischargePressureDrop)Ü    70600052a*%d
7get_HighCompressorIntakeTemp)d
70600052b*%ì
7set_HighCompressorIntakeTemp)ì
70600052c*%h 7get_LowCompressorIntakeTemp)h 70600052d*%ð 7set_LowCompressorIntakeTemp)ð 70600052e*%l 7get_LowSuperHeatTemperature)l 70600052f*%ô 7set_LowSuperHeatTemperature)ô 7060005302%p 7get_HighCompressorDischargePressure)p 7060005312%7set_HighCompressorDischargePressure)706000532%„7get_Reserve13)„706000533%ü7set_Reserve13)ü7060005346%h7get_RefrigerantCircuitHighPressureDrop)h7060005356%ø7set_RefrigerantCircuitHighPressureDrop)ø7060005362%|7get_RefrigerantCircuitLowPressureRise)|7060005372% 7set_RefrigerantCircuitLowPressureRise) 706000538%7SetData)706000539%8get_Datas)80600053a%x8set_Datas)x80600053b2%à8get_RefrigerantCircuitLowPressureDrop)à80600053c2%p8set_RefrigerantCircuitLowPressureDrop)p80600053d&%ô8get_CompressorOverload)ô80600053e&%t8set_CompressorOverload)t80600053f&%è8get_CommunicationError)è806000540&%h8set_CommunicationError)h806000541%Ü8get_MemoryError)Ü806000542%X8set_MemoryError)X806000543%È8get_DcLineFuseCut)È806000544%D8set_DcLineFuseCut)D806000545>%´8get_CirculatingFluidDischargeTempSensorFailure)´806000546>%L8set_CirculatingFluidDischargeTempSensorFailure)L806000547:%Ø8get_CirculatingFluidReturnTempSensorFailure)Ø806000548:%p8set_CirculatingFluidReturnTempSensorFailure)p8060005492%ü8get_CompressorIntankTempSensorFailure)ü80600054a2%Œ8set_CompressorIntankTempSensorFailure)Œ80600054bB%    8get_CirculatingFluidDischargePressureSensorFailure)    80600054cB%¬    8set_CirculatingFluidDischargePressureSensorFailure)¬    80600054d:%<
8get_CompressorDischargePressureSensorFailure)<
80600054e:%Ô
8set_CompressorDischargePressureSensorFailure)Ô
80600054f6%` 8get_CompressorIntankPressureSensorFailure)` 8060005506%ô 8set_CompressorIntankPressureSensorFailure)ô 806000551"%| 8get_MaintenanceOfPump)| 806000552"%ü 8set_MaintenanceOfPump)ü 806000553&%p 8get_MaintenanceOfFanMotor)p 806000554&%ô 8set_MaintenanceOfFanMotor)ô 806000555*%l8get_MaintenanceOfCompressor)l806000556*%ô8set_MaintenanceOfCompressor)ô8060005572%p8get_ContactInput1SignalDetectionAlarm)p8060005582%8set_ContactInput1SignalDetectionAlarm)8060005592%„8get_ContactInput2SignalDetectionAlarm)„80600055a2%8set_ContactInput2SignalDetectionAlarm)80600055b%˜8SetData)˜80600055c%9get_Datas)90600055d%x9set_Datas)x90600055e%à9get_WaterLeakage)à90600055f%\9set_WaterLeakage)\906000560:%Ì9get_ElectricResistivityConductivityLevelRise)Ì906000561:%d9set_ElectricResistivityConductivityLevelRise)d906000562:%ð9get_ElectricResistivityConductivityLevelDrop)ð906000563:%ˆ9set_ElectricResistivityConductivityLevelDrop)ˆ906000564>%9get_ElectricResistivityConductivitySensorError)906000565>%¬9set_ElectricResistivityConductivitySensorError)¬906000566%89get_Reserve4)8906000567%°9set_Reserve4)°906000568%9get_Reserve5)906000569%”9set_Reserve5)”90600056a%9get_Reserve6)90600056b%x9set_Reserve6)x90600056c%ä9get_Reserve7)ä90600056d%\9set_Reserve7)\90600056e%È9get_Reserve8)È90600056f%@    9set_Reserve8)@    906000570%¬    9get_Reserve9)¬    906000571%$
9set_Reserve9)$
906000572%
9get_Reserve10)
906000573% 9set_Reserve10) 906000574%t 9get_Reserve11)t 906000575%ì 9set_Reserve11)ì 906000576%X 9get_Reserve12)X 906000577%Ð 9set_Reserve12)Ð 906000578%< 9get_Reserve13)< 906000579%´ 9set_Reserve13)´ 90600057a% 9get_Reserve14) 90600057b%˜9set_Reserve14)˜90600057c%9get_Reserve15)90600057d%|9set_Reserve15)|90600057e%è9SetData)è90600057f%get_PmcStep)0600006f%Œset_PmcStep)Œ06000070%øget_TmcStep)ø06000071%pset_TmcStep)p06000072*%Üget_ProcessTactTimeSeconds)Ü06000073&%`get_IsTmcStepPauseEnable)`06000074&%äget_IsPmcStepPauseEnable)ä06000075%h.ctor)h0600007a%ÌTmcSequence)Ì0600007b%$PmcSequence)$0600007c%äProcessStart)ä0600007d"%\ManualProcessStart)\0600007e%ØProcessStop)Ø0600007f"%PEnergyDropCheckStart)P06000080"%ÐAttenuatorCalStart)Ð06000081"%LEnergyDropCheckStop)L06000082%ÌAttenuatorCalStop)Ì06000083%get_Seconds)06000001%´get_Minute)´06000002%(.ctor)(06000003%ŒStart)Œ06000004%üReStart)ü06000005%dStop)d06000006%ÔReset)Ô06000007&%get_CurrentPiLaserStatus)060001c3&%ôset_CurrentPiLaserStatus)ô060001c4%l.ctor)l060001c5%ÐstatusUpdate)Ð060001c6%àCheckSoftFaults)à060001c7%dCheckBoardFaults)d060001c8%ôCheckSystemFaults)ô060001c9"%xCheckGeneralAlarms)x060001ca&%CheckTemperatureFaults)060001cb&%œCheckSystemStateFaults)œ060001cc"% WriteEnableShutter) 060001cd%àWriteSystemReset)à060001ce%\WriteEnableLdd)\060001cf%WriteSetCurrent)060001d0%    WriteMaxCurrent)    060001d1%ð    WritePrf)ð    060001d2%à
WritePrfSource)à
060001d3%˜ WriteGateSource)˜ 060001d4%T WritePecSource)T 060001d5% WriteFpkEnable) 060001d6%Ä WriteFpkRampTime)Ä 060001d7%¬WriteFpkRampRate)¬060001d8%”WriteLpkEnable)”060001d9%LWriteLpkRampTime)L060001da%4WriteLpkRampRate)4060001db&%WriteTemperatureSetPoint)060001dc%WriteDutyControl)060001dd"%ÌWriteDutyControlWidth)Ì060001de%ìWritePecLevel)ì060001df%àWriteBurstStatus)à060001e0%œWriteBurstCount)œ060001e1%\WriteBurstRate)\060001e2%WriteBurstCycles)060001e3"%ØWriteBurstFiringMode)Ø060001e4&%˜WriteBurstTriggerSource)˜060001e5"%\WriteDutyControlMode)\060001e6%ReadEnableShutter)060001e7%ØReadSoftFaults)Ø060001e8%ReadBoardFaults)060001e9%LReadStatus)L060001ea%ReadEnableLdd)060001eb%¸ReadSetCurrent)¸060001ec%tReadActualCurrent)t060001ed%4 ReadDiodeVoltage)4 060001ee%ô ReadMaxCurrent)ô 060001ef%°!ReadLddHours)°!060001f0%l"ReadPrf)l"060001f1%t#ReadPRFSource)t#060001f2%,$ReadGateSource),$060001f3%ä$ReadPecSource)ä$060001f4%œ%ReadFPKEnable)œ%060001f5%T&ReadFpkRampTime)T&060001f6%'ReadFpkRampRate)'060001f7%Ô'ReadLpkEnable)Ô'060001f8%Œ(ReadLpkRampTime)Œ(060001f9%L)ReadLpkRampRate)L)060001fa&% *ReadTemperatureSetPoint) *060001fb"%Ü*ReadActualTemperature)Ü*060001fc%¨+ReadDutyControl)¨+060001fd"%d,ReadDutyControlWidth)d,060001fe%p-ReadPecLevel)p-060001ff%,.ReadBurstStatus),.06000200%è.ReadBurstCount)è.06000201%¤/ReadBurstRate)¤/06000202%`0ReadBurstCycles)`006000203"% 1ReadBurstFiringMode) 106000204&%à1ReadBurstTriggerSource)à106000205"% 2ReadDutyControlMode) 206000206&%`3ReadPowerMonitorReading)`306000207%(4ReadFlowReading)(406000208"%è4ReadHumidityReading)è406000209"%¬5ReadNetworkAddress)¬50600020a%l6AddChecksum)l60600020b%¤7AddChecksum)¤70600020c%49CheckCommand)490600020d%:CheckChecksum):0600020e%@;ReadData)@;0600020f%x=WriteData)x=06000210%Ø>PiLaserReads)Ø>06000211%get_IsGateOpen)06000101%(get_IsGateClose)(06000102"%¤get_IsGateOpenValve)¤06000103"%$get_IsGateCloseValve)$06000104%¤get_IsLiftPinUp)¤06000105% get_IsLiftPinDown) 06000106"%œget_IsChuckVacuumOn)œ06000107&%get_IsChuckVacuumSensorOn)06000108&% get_IsN2ChamberValveOn) 06000109% get_IsInposition) 0600010a"%Üget_IsN2MFCValveOn)Ü0600010b"%Xget_IsByPassValveOn)X0600010c%Øget_IsAirBlowOn)Ø0600010d%Tget_MFCFlow)T0600010e%Ìget_MFCSetPoint)Ì0600010f"%Hget_MainCDAPressure)H06000110&%Èget_MainVacuumPressure)È06000111%H    get_N2PTPressure)H    06000112%Ä    get_MainCDAFlow)Ä    06000113&%@
get_ChamberVacuumPressure)@
06000114"%Ä
get_IsLoadPosition)Ä
06000115"%@ get_IsCenterPosition)@ 06000116&%À get_IsPowerMeterPosition)À 06000117&%D get_IsBeamProfilePosition)D 06000118%È get_WaferInfo)È 06000119%@ .ctor)@ 0600011a%¤ GateOpen)¤ 0600011b% GateClose) 0600011c%tLiftPinUp)t0600011d%ÜLiftPinDown)Ü0600011e%HChuckVacuumOn)H0600011f%´ChuckVacuumOff)´06000120% SetMFCFlow) 06000121%ˆN2ChamberValveOn)ˆ06000122%øN2ChamberValveOff)ø06000123%hN2MFCValveOn)h06000124%ÔN2MFCValveOff)Ô06000125%@ByPassValveOn)@06000126%¬ByPassValveOff)¬06000127%AirBlowOn)06000128%€AirBlowOff)€06000129%èMoveLoadPosition)è0600012a"%ÌMoveCenterPosition)Ì0600012b&%°MovePowerMeterPosition)°0600012c&%¤MoveBeamProfilePosition)¤0600012d%¨AllStop)¨0600012e%.ctor)06000157*%è_colMeasurement_PlugAndPlay)è06000158&%d_colMeasurement_DataReady)d06000159%ÜOpen)Ü0600015a%,Close),0600015b%ðStartStream)ð0600015c%hIsSensorExists)h0600015d% SetPowerMode) 0600015e%ŒSetEnergyMode)Œ0600015f&%øResetMeasurementsEnergy)ø060001606%get_CirculatingFluidDischargeTemperature)0600012f6%tset_CirculatingFluidDischargeTemperature)t060001302%üget_CirculatingFluidDischargePressure)ü060001312%Œset_CirculatingFluidDischargePressure)Œ06000132&%get_ElectricResistivity)06000133&%”set_ElectricResistivity)”060001342% get_CirculatingFluidSetTemperature) 060001352%˜set_CirculatingFluidSetTemperature)˜06000136%.ctor)06000137%|statusUpdate)|06000138%`Run)`06000139%$Stop)$0600013a%èGetStatus)è0600013b%è SetStatusFlag1)è 0600013c%À SetStatusFlag2)À 0600013d%˜ SetAlarmFlag1)˜ 0600013e%pSetAlarmFlag2)p0600013f%HSetAlarmFlag3)H06000140% AlarmCheck) 06000141%øGetLRC)ø06000142%"get_IsOpen)"060003fd%Ô"get_PortName)Ô"060003fe%L"get_Terminator)L"060003ff%Ä"set_Terminator)Ä"06000400&%0"get_ReceiveWaitSeconds)0"06000401&%°"set_ReceiveWaitSeconds)°"06000402%$".ctor)$"06000403%ˆ"GetExistPortNames)ˆ"06000404%"Open)"06000405%È"Close)È"06000406%Œ"WriteRead)Œ"06000407%Ô"Write)Ô"06000408%œ"WriteRead)œ"06000409%    "Write)    "0600040a%à    "Read)à    "0600040b%ü
"CheckTerminator)ü
"0600040c&%!get_CorrectionFilePath)!060003b6&%„!set_CorrectionFilePath)„!060003b7%ø!get_IsInitialized)ø!060003b8%t!set_IsInitialized)t!060003b9%ä!get_IsBusy)ä!060003ba%X!set_IsBusy)X!060003bb%À!get_Encoder0)À!060003bc%8!set_Encoder0)8!060003bd%¤!get_Encoder1)¤!060003be%!set_Encoder1)!060003bf&%ˆ!get_EncoderCountPerMmX)ˆ!060003c0&%!set_EncoderCountPerMmX)!060003c1&%|!get_EncoderCountPerMmY)|!060003c2&%ü!set_EncoderCountPerMmY)ü!060003c3%p!get_BitsPerMm)p!060003c4%è!get_FOV)è!060003c5%\!set_FOV)\!060003c6%Ä!get_KFactor)Ä!060003c7%<!get_HalfPeriod)<!060003c8%´!set_HalfPeriod)´!060003c9%,    !get_PulseLength1),    !060003ca%¨    !set_PulseLength1)¨    !060003cb%$
!get_PulseLength2)$
!060003cc% 
!get_TimeBase) 
!060003cd% !set_TimeBase) !060003ce%„ !get_JumpDelay)„ !060003cf%ü !set_JumpDelay)ü !060003d0%h !get_MarkDelay)h !060003d1%à !set_MarkDelay)à !060003d2%L !get_PolygonDelay)L !060003d3%È !set_PolygonDelay)È !060003d4%8!get_LaserOnDelay)8!060003d5%´!set_LaserOnDelay)´!060003d6%$!get_LaserOffDelay)$!060003d7% !set_LaserOffDelay) !060003d8%!get_IsPosition)!060003d9%ˆ!set_IsPosition)ˆ!060003da%ô!get_XGain)ô!060003db%h!set_XGain)h!060003dc%Ü!get_YGain)Ü!060003dd%P!set_YGain)P!060003de%Ä!get_IsLaserOn)Ä!060003df%<!set_IsLaserOn)<!060003e0%¨!.ctor)¨!060003e1% !.ctor) !060003e2%p!Refresh)p!060003e3%ˆ!ErrorExist)ˆ!060003e4&%Ä!LoadProgramFileErrorExist)Ä!060003e5*%H!LoadCorrectionFileErrorExist)H!060003e6%Ð!InitializeRTC5Dll)Ð!060003e7%L!LoadProgramFiles)L!060003e8"%!LoadCorrectionFiles)!060003e9%È!Initialize)È!060003ea%L!GetBusy)L!060003eb%x!GetLaserOn)x!060003ec%D!SetLaserTiming)D!060003ed%À!SetScannerDelay)À!060003ee%@!CtlFrequency)@!060003ef%!SetLaserDelays)!060003f0%!LaserOn)!060003f1%ø!LaserOff)ø!060003f2%`!SetJumpMarkSpeed)`!060003f3%< !GetEncoder)< !060003f4%!!GetScanList)!!060003f5%Œ!!ClearScanList)Œ!!060003f6%"!AddScanList)"!060003f7%|"!AddScanList)|"!060003f8%,#!ExcuteScanList),#!060003f9%¸$!Stop)¸$!060003fa%(%!Save)(%!060003fb%&!AddScanField)&!060003fc%R.ctor)R0600063a%¼RFinalize)¼R0600063b%0RImport)0R0600063c% R.cctor) R0600063d"%.get_AttenuatorAngle).06000493"%.set_AttenuatorAngle).06000494%Œ.get_Energy)Œ.06000495%.set_Energy).06000496%h..ctor)h.06000497%Ì.Clone)Ì.06000498%t.IsEqual)t.06000499%get_FFU_Status)06000161%@.ctor)@06000162%LstatusUpdate)L06000163%hReadFFUStatus)h06000164%ØWritemmAqSV)Ø06000165%üGetCheckSum)ü06000166%(WriteRead)(06000167%ØWriteRead)Ø06000168&%/get__attenuatorCalDatas)/0600049a&%L/set__attenuatorCalDatas)L/0600049b%”/.ctor)”/0600049c%°/Refresh)°/0600049d*%Ð/GetAttenuatorAngleForEnergy)Ð/0600049e%h/GetMaxEnergy)h/0600049f%X/GetMinEnergy)X/060004a0"%L/GetEnergyPer1Degree)L/060004a1"%”/SetAttenuatorCalData)”/060004a2"%x    /GetAttenuatorCalData)x    /060004a3"%I<statusUpdate>b__44_0)I06000621&%¼I<ReadAlarmCode>b__55_0)¼I06000622&%0I<ReadPinStatus>b__56_0)0I06000623&%¤I<ReadWaferStatus>b__57_0)¤I06000624&%I<ReadVaccumStatus>b__58_0)I06000625%get_Temperature)0600014c%ôset_Temperature)ô0600014d%d.ctor)d0600014e%ÈstatusUpdate)È0600014f&%¬GetCyclicRedundancyCheck)¬06000150%`ReadVariableArea)`06000151%ˆGetVariableArea)ˆ06000152&%ReadCurrentTemperature)06000153%ìWriteRead)ì06000154%get_Instance)0600004d%.ctor)0600004e%€WriteExceptionLog)€06000051"%ðWriteAlarmOccurredLog)ð06000052"%dWriteAlarmChangedLog)d06000053"%ØWriteTmcSequenceLog)Ø06000054"%LWritePmcSequenceLog)L06000055%ÀWriteButtonLog)À06000056&%,WriteEnergyDropCheckLog),06000057"%¤WriteAttenuatorCalLog)¤06000058%WriteProcessLog)06000059%ˆWritePreAlignLog)ˆ0600005a"%øWriteEnergyMeterLog)ø0600005b"%lWriteEnergyMeasureLog)l0600005c%à.cctor)à0600005d"%L<statusUpdate>b__75_0)L0600062c"%H<statusUpdate>b__53_0)H06000612%%.ctor)%0600041f%h%RefreshWaferInfo)h%06000420%%MoveWaferInfo)%06000421%ü%GetWaferInfo)ü%06000422%t%SetWaferInfo)t%06000423%ì%TryParse)ì%06000424%get_SequencePause)0600000e%Dset_SequencePause)D0600000f%„get_IsDisposed)„06000010%Àset_IsDisposed)À06000011%üget_PmcStep)ü06000012%get_TmcStep)06000013&%|get_IsEnergyDropCheckRun)|06000014&%get_IsAttenuatorCalRun)06000015*%€get_ProcessTactTimeSeconds)€06000016"%get_EquipmentStatus)06000017"%„set_EquipmentStatus)„06000018%øget_ProcessStatus)ø06000019%tset_ProcessStatus)t0600001a%äget_EquipmentMode)ä0600001b%`set_EquipmentMode)`0600001c%Ðget_IsLampOn)Ð0600001d%Hget_User)H0600001e%¼set_User)¼0600001f%$    get_IsRunStop)$    06000020%œ    set_IsRunStop)œ    06000021%
get_IsAutoRun)
06000022%€
set_IsAutoRun)€
06000023%ì
.ctor)ì
06000024%Ø T_UiView_Tick)Ø 06000025%P SetMessageBox)P 06000026"%¼ InitializeParameter)¼ 06000027%0 InitializeData)0 06000028"%œ AlarmManager_Cleared)œ 06000029"%AlarmManager_Occurred)0600002a%„InitializeModule)„0600002b%ôModuleUpdate)ô0600002c%ÀCheckAlarm)À0600002d% UpdateTowerLamp) 0600002e% IsInterlock) 0600002f%XSequenceRun)X06000030"%HIsEnergyDropCheckTime)H06000031"%ÌIsAttenuatorCalTime)Ì06000032"%PUpdateEquipmentStatus)P06000033"%äUpdateProcessStatus)ä06000034%lScannerUpdate)l06000035%ìUpdateWaferInfo)ì06000036%ÔUpdateFoupInfo)Ô06000037%TDispose)T06000038%¼ChangeUser)¼06000039%0LogOut)00600003a%ØBuzzerStop)Ø0600003b%@LampOn)@0600003c%¤LampOff)¤0600003d% EmoStop) 0600003e%”ProcessStartCheck)”0600003f%ChangeMode)06000040&%ŒChangeEquipementStatus)Œ06000041%$ProcessStart)$06000042"%øProcessStartInterlock)ø06000043"%€ManualProcessStart)€06000044*% ManualEnergyDropCheckStart) 06000045"%ˆ EnergyDropCheckStop)ˆ 06000046&%!ManualAttenuatorCalStart)!06000047%!AttenuatorCalStop)!06000048% "ProcessPause) "06000049%„"ProcessStop)„"0600004a"%#AddRecipeExcutedEvent)#0600004b*%t#AddProcessInfoExcutedEvent)t#0600004c%.ctor)060002f3%h.ctor)h060002f4%Ìget_EnumAxisNo)Ì060002f5%Dset_EnumAxisNo)D060002f6%°get_AxisNo)°060002f7%$set_AxisNo)$060002f8%Œget_AxisType)Œ060002f9%set_AxisType)060002fa%pget_Name)p060002fb%äset_Name)ä060002fc%Lget_HommingCmd)L060002fd%Äset_HommingCmd)Ä060002fe%0get_HomeEndCmd)0060002ff%¨set_HomeEndCmd)¨06000300%get_Scale)06000301%ˆset_Scale)ˆ06000302%ðget_SWPlusLimit)ð06000303%lset_SWPlusLimit)l06000304%Üget_SWMinusLimit)Ü06000305%Xset_SWMinusLimit)X06000306%Èget_Timeout)È06000307%@    set_Timeout)@    06000308"%¬    get_HommingTimeout)¬    06000309"%(
set_HommingTimeout)(
0600030a%˜
get_HommingSpeed)˜
0600030b% set_HommingSpeed) 0600030c%„ get_TeachList)„ 0600030d%ü set_TeachList)ü 0600030e%get_Users)06000093%,set_Users),06000094%”.ctor)”06000095%øRefreshUsers)ø06000096%´SaveOrCreate)´06000097%,Delete),06000098%œExistsUser)œ06000099%GetUser)0600009a%„GetUserList)„0600009b%
get_ModeParameter)
060000a6%Ä
set_ModeParameter)Ä
060000a7%4
Refresh)4
060000a8%T
Save)T
060000a9%¸
.ctor)¸
060000aa%.ctor)060002b7%4ThreadInit)4060002b8%œThreadStart)œ060002b9%GetDeviceID)060002ba%0Connect)0060002bb%DisConnect)060002bc%ÈOpen)È060002bd%8IsOpen)8060002be%¨PMACSendData)¨060002bf%<SetAxisHomePos)<060002c0%¨GetAxisHomePos)¨060002c1% SetAxisActualPos) 060002c2%GetAxisActualPos)060002c3"%     SetAxisActualSpeed)     060002c4"%|    GetAxisActualSpeed)|    060002c5%ø    SetAxisStatus)ø    060002c6%d
GetAxisStatus)d
060002c7%Ü
GetAxisTargetPos)Ü
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