Microsoft C/C++ MSF 7.00
|
DS è Àÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿ8 àÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿ Ê18 w ÿÿ ÿÿ Ê18 x ÿÿ ÿÿ .1uÙc O?%L ¶j7§å ÜQ3 Ê18 ÿÿÿÿ ÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ Ê18 ÿÿÿÿ ÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` É@Òþj¯IXd ¼àp5ÛRÙg øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ª¿ÈfD 2s·¤:à øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` a3Î -ÊòCÈÎÁÙShë"ê¢Ø øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ×dÆY«2éià¯BÞ$B øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ÌÙ?Á*¤f7Ä5Å{ðc øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` _¶Å9ûÜ`dô¿¸ÆY? øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ø|â§þÐY±üÆ¥Ë øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ]íza1ÍÑZÃ:Añmë[ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ¬¼_¥ì§2Ρ;nî³Ùqú& øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ź ÌÍ {Í3£nnb øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` UïN9¢s0ÙóÄµÈ k øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` &° ÖúLîåµü»⬧¾ú} øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` .ãPß×W>0¤èÄôÔ}R</ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ÊcÛíüÃEña5òá
Õ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ÍAÃËêÈ9µfvDÅ\óÓà øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ô¿§Ì F(³ ?A1¯!Ó øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` Ò"F}]o»
ô_ë@y øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` Â"*mcGü²5KR<g øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` åo,üàºöå» UÒ ¬G S øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ¯â ǹ£?ÀsÇ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` \!dûÑ#~ r«VFüÕ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ÄrêêËÃ{v>jÓxXýóë©ñ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` Ê =ìòýæ ÷¯´r¥ÁÎ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ¤ã Yo¶ç3øÆË<¬=p øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ÷ô1ºs³ Dsö[gÆÛuÆ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` oFüM-Ìý ë£Æ °Q· øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` G>ÝJ$Â9ÏCHvðȪ|ôjÊÐE øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` .\ÈZ±2uX@28RMiYÜ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ¡®<!¢¿ù,J
f{Õ°ù øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ± Æß}r>{ø ¥7%Ñ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` '/¡ÇÌEÔä v;é´'æ| øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ³ËÎ+FôÜ$6 ¯päòä¥ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` S²IfGúÊ7:Ü
|
GVt* øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` Î䣰4wm¶Ð¨£ýoñµ`¾ øbQ?ÆÓS ÀO£¡ÄEKéæÒ? ÀO£¡ ZfÓ½* øI½ìÿ^ªM÷oIc4` ʯ3ÎÐ.Qù¢¸áÙªº p p þïþï F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Alarm\AlarmManager.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\alarm\alarmmanager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Alarm\Alarm.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\alarm\alarm.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Base\XmlManager.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\base\xmlmanager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\FoupInfo\Foup.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\foupinfo\foup.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\RecipeManager.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\recipemanager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\Recipe.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\recipe.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\FoupRecipeManager.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\fouprecipemanager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\FoupRecipe.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\fouprecipe.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\WaferInfo\WaferInfoManager.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\waferinfo\waferinfomanager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\WaferInfo\WaferInfo.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\waferinfo\waferinfo.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\RTC5\RTC5Wrap.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\rtc5\rtc5wrap.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Base\ComPort.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\base\comport.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Scanner.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\scanner.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Robot.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\robot.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\PreAligner.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\prealigner.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\PowerPmacCtrl.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\powerpmacctrl.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\PowerMeter.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\powermeter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\PiLaser.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\pilaser.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Motor.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\motor.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\GR200.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\gr200.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\FFU.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\ffu.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\E5CC.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\e5cc.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Crevis.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\crevis.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Chiller.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\chiller.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Chamber.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\chamber.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Attenuator.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\attenuator.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Parameter\UserParameter.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\parameter\userparameter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Parameter\SystemParameter.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\parameter\systemparameter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Parameter\InterlockParameter.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\parameter\interlockparameter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\UserInfo\UserManager.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\userinfo\usermanager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\UserInfo\User.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\userinfo\user.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Sequence.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\sequence.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Log\EquipmentLogManager.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\log\equipmentlogmanager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Equipment.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\equipment.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Base\SequenceTimer.cs f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\base\sequencetimer.cs ´ Ü > s Ø þ l ¯ Ö ê P
|
p
|
, Ô ú > c 0 Z v ¨ ü &
|
+ V y ø 2 f
|
¿
|
Ë H x H n . $ Z ¨ Ô $ H î
|
I Ú = ¨ Ö r ¡ Ð Ã ® ¸ G â0` è8¥¹rÙ # F Oõå7 ( â0àZ\ l + e c ( â0RÉQ¤\ > + c e Ö ( â0á6¯\ ´ + Ö e Ô ( â0H¾Ön\ ¨ + Ô e ® ( â0Ð*¦\ + ® e &
|
( â0"³+\ ü + &
|
e $ ( â0â1\ + $ e ú ( â0V@è®\ Ô + ú e = ( â0å'*\ + = e p
|
( â0¢O\ P
|
+ p
|
e ( â0°^-\ Ú + e n ( â0{GÞ\ H + n e ¸ ( â0 ¯\ + ¸ e s ( â0qÄíé\ > + s e I ( â0ý³\ + I e ¿
|
( â04ÛÛ{\
|
+ ¿
|
e ( â0¤î\ Ü + e f ( â0\°#\ 2 + f e ( â0AU:\ î
|
+ e Z ( â0\!6 \ 0 + Z e ¡ ( â0æü\ r + ¡ e Z ( â0Ï÷é\ . + Z e , ( â0}XOQ\ + , e x ( â0£Èo\ H + x e Ö ( â0n¼(\ ¨ + Ö e ¨ ( â0^,E±\ v + ¨ e y ( â0O :\ V + y e à ( â0wr\ + à e ¯ ( â0 ®*(\ + ¯ e Ë ( â0Â÷\ + Ë e þ ( â0!M:\ Ø + þ e ( â0Û°?J\ Ð + e ( â0|j\ ê + e H ( â0 [Ô\ $ + H e ( â0ëð}0\ ø + e F * i get_TemperatureControlFault0 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * §i set_TemperatureControlFault0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * °i get_TemperatureControlFault1 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ¼i set_TemperatureControlFault1 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * Åi get_TemperatureControlFault2 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * Ñi set_TemperatureControlFault2 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * Úi get_TemperatureControlFault3 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * æi set_TemperatureControlFault3 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ïi get_TemperatureControlFault4 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ûi set_TemperatureControlFault4 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ¡ j get_TemperatureControlFault5 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ¢ j set_TemperatureControlFault5 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * £ j get_TemperatureControlFault6 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ¤ %j set_TemperatureControlFault6 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ¤ ¥ .j get_TemperatureControlFault7 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W F * ¦ :j set_TemperatureControlFault7 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < i 0 ò ó
|
ô 6 ò < §i 0 ÷ ø ù 7 ò < °i 0 ÿ
|
6 ò < ¼i 0 7 ò < Åi 0
|
6 ò < Ñi 0 7 ò < Úi 0
|
6 ò < æi 0 7 ò < ïi 0 & '
|
( 6 ò < ûi 0 + , - 7 ò < j 0 3 4
|
5 6 ò < j 0 8 9 : 7 ò < j 0 @ A
|
B 6 ò < %j 0 E F G 7 ò < .j 0 M N
|
O 6 ò < :j 0 R S T 7 ô Ø , D p ´ Ì ø < T Ä Ü L d ¨ Ô ì 0 \ t ¸ ä ü ( . * d ^ .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B * ¬ 1^ get_Remote_Control_Mode B * ô 8^ set_Remote_Control_Mode > * 8 @^ get_Local_Control_Mode > * | G^ set_Local_Control_Mode B * Ä ! O^ get_Thermal_Relay_Alarm B * " V^ set_Thermal_Relay_Alarm : * L # ^^ get_Open_the_door : * $ e^ set_Open_the_door : * Ì % m^ get_Setting_Alarm : * & t^ set_Setting_Alarm 6 * H ' |^ get_RPM_Alarm 6 * ( ^ set_RPM_Alarm N * Ø ) ^ get_Auto_controlling_for_Over_Current N * , * ^ set_Auto_controlling_for_Over_Current > * p + ^ get_Over_Current_Alarm > * ´ , ¡^ set_Over_Current_Alarm > * ø - ©^ get_No_Connection_LCU > * < . °^ set_No_Connection_LCU 2 * t / ¸^ get_LCU_ID 2 * ¬ 0 ¿^ set_LCU_ID 6 * è 1 Ç^ get_Data_SV 6 * $ 2 Î^ set_Data_SV 6 * ` 3 Ö^ get_Data_PV 6 * 4 Ý^ set_Data_PV 2 * Ô 5 å^ get_mmAq 2 * 6 ì^ set_mmAq 6 * H 7 ô^ get_mmAqLSV 6 * 8 û^ set_mmAqLSV 6 * À 9 _ get_mmAqHSV 6 * ü :
|
_ set_mmAqHSV 6 * Q ; _ ChangeStatus R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 $ 4ô°pÀX
P 2 * ô < c` SetData_SV . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * \ = p` SetData_PV . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * (
|
X > }` SetmmAq ` è X }` ä O ~` proc_mmAq : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò H ^ < = > ? @ %
|
"
|
ò $ 1^ C + / ò $ 8^ C 0 < ò $ @^ D * . ò $ G^ D / ; ò $ O^ E + / ò $ V^ E 0 < ò $ ^^ F % ) ò $ e^ F * 6 ò $ m^ G % ) ò $ t^ G * 6 ò $ |^ H ! % ò $ ^ H & 2 ò $ ^ I 9 = ò $ ^ I > J ò $ ^ J * . ò $ ¡^ J / ; ò $ ©^ K ) - ò $ °^ K . : ò $ ¸^ S ! ò $ ¿^ S " . ò $ Ç^ X " ò $ Î^ X # / ò $ Ö^ ] " ò $ Ý^ ] # / ò $ å^ b " ò $ ì^ b # / ò $ ô^ g # ò $ û^ g $ 0 ò $ _ l # ò $
|
_ l $ 0 ò _ Q + v x y îïþ y z & | 5 îïþ8 | B } J Y îïþ\ f n } îïþ
¢ îïþ¦
° ¸ È îïþÌ Ö Þ î îïþò ü îïþ " * 2 îïþ6 @ H K L M P
|
n o 2 l m 1 n o 2 b c x , b c x , Z [ l ( ´ @ l m 1 j k 0
|
ò < c` 0 ¡
|
)
|
ò < p` 0 ¨ © ª
|
)
|
ò }` X ² ´ µ
|
¶ · 5 ¹ O º R » S ¼ T ¾ W ¿
|
( ( V D
|
ô ´ @ T l ¬ Ô ì , T l ¬ Ô ì $ D \ | ´ Ì è 4 h ´ Ì ô 4 L p ¬ Ä à ø , H ` | ° È ä ü
|
,
|
D
|
\
|
x
|
|
¬
|
Ä
|
à
|
ø
|
, H ` | ° È à 6 * < b6 get_ScannerFOV 6 * x i6 set_ScannerFOV 6 * ´ q6 get_BitsPerMM 6 * ð x6 set_BitsPerMM > * 4
6 get_EncoderCountPerMmX > * x 6 set_EncoderCountPerMmX > * ¼ 6 get_EncoderCountPerMmY > * 6 set_EncoderCountPerMmY 6 * < 6 get_HalfPeriod 6 * x ¥6 set_HalfPeriod : * ¸ 6 get_PulseLength : * ø ´6 set_PulseLength 6 * 4 ¼6 get_TimeBase 6 * p Ã6 set_TimeBase 6 * ¬ Ë6 get_JumpDelay 6 * è Ò6 set_JumpDelay 6 * $ Ú6 get_MarkDelay 6 * ` á6 set_MarkDelay : * é6 get_PolygonDelay : * à ð6 set_PolygonDelay : * ø6 get_LaserOnDelay : * ` ÿ6 set_LaserOnDelay : * 7 get_LaserOffDelay : * à 7 set_LaserOffDelay 6 * 7 get_JumpSpeed 6 * X 7 set_JumpSpeed 6 * %7 get_MarkSpeed 6 * Ð ,7 set_MarkSpeed 2 * ð 47 Refresh Ô ¤ 47 " $ directoryInfo $ fileInfo ( £7 " $ systemParameter F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ùwE$ . * T Ì7 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ b6 ò $ i6 ò $ q6 ò $ x6 ò $ 6 ò $ 6 ò $ 6 ò $ 6 ! ò $ 6 & ò $ ¥6 ' ò $ 6 , ò $ ´6 - ò $ ¼6 2 ò $ Ã6 3 ò $ Ë6 8 ò $ Ò6 9 ò $ Ú6 > ò $ á6 ? ò $ é6 D ò $ ð6 E ò $ ø6 J ò $ ÿ6 K ò $ 7 P ò $ 7 Q ò $ 7 V ò $ 7 W ò $ %7 \ ò $ ,7 ] ò 47 f g i ! îïþ$ j % k , l - n D p N îïþQ q R r ^ t l u o w p x w z
| ~
|
d / ( R ) + 3 I ? ' +
|
ò 0 Ì7 $ ; 3 ô Ð ð ø 0 P h ¸ Ð ø 8 P x ¸ Ð ð ( @ ` x ° Ì ä 4 L h ´ Ð è @ X x ° È è 8 T l ¼ Ô ð 8 L . * ô DT .ctor ¼ DT
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading.Tasks 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * h MT get_Code : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * Ð YT set_Code . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * L bT get_Description : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * ¼ nT set_Description . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * 0 wT get_Heavy : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ¤ T set_Heavy : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ¡T get_Light : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * °T set_Light : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ËT get_Level : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * h ×T set_Level . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * Ü àT get_Use : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * D ìT set_Use . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * À ! õT get_OccurredTime : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * 0 " U set_OccurredTime . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * Ø N #
|
U Clone 4 N
|
U Ö clone : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * r $ XU op_Equality Ü H r XU
|
result : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * 8 u % ÊU op_Inequality ø u ÊU
|
result : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * ¨ & ?V Equals : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 *
|
' LV GetHashCode : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò < DT 0
|
|
ò < MT 0
|
ò < YT 0 ò < bT 0 & '
|
( % ò < nT 0 + , - & ò < wT 0 3 4 5 3 ò T
|
7 8 îïþ 9 : ; = > ? @ # / / ò < ¡T 0 F G H 3 ò °T
|
J K îïþ L M N P Q R S # / / ò < ËT 0 Y Z
|
[ ò < ×T 0 ^ _ ` ò < àT 0 f g
|
h ò < ìT 0 k l m ò < õT 0 s t
|
u & ò < U 0 x y z ' ò
|
U N x ~ ! . ;
H L
|
' $ 2 & " 4
|
ò XU r
|
( 9 J [ l p
|
2 @ 4 4 4 0
|
ò ÊU u
|
( 9 J [ ¡ l £ s ¤
|
2 @ 4 4 4 0
|
ò < ?V 0 § ¨ ©
|
%
|
ò < LV 0 ¬
|
®
|
'
|
ô V d x ¨ À Ø ð ( H ` x ¨ À Ø ð 8 P h ° È à 8 P d | ° Ì ä ü 0 2 * t [ %g get_HfSync : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * Ü \ 1g set_HfSync . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * X ] :g get_LddInterlock : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * È ^ Fg set_LddInterlock . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * H _ Og get_ShutterInterlock : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * ¼ ` [g set_ShutterInterlock . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * < a dg get_LowExtFrequency : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * ° b pg set_LowExtFrequency . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < %g 0
|
$ ò < 1g 0 % ò < :g 0
|
* ò < Fg 0 # $ % + ò < Og 0 + ,
|
- . ò < [g 0 0 1 2 / ò < dg 0 8 9
|
: - ò < pg 0 = > ? . ô Ø @ H d | ° Ð è D \ ¼ Ô ø > * è K ´_ <statusUpdate>b__16_0 ° ´_ $UEasyModbus
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Threading 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ ´_ Ø P ô > 4 6 * Ð P Ê ßj <Align>b__0 l P ßj < 4 ¼ k ß str ß str1 ß datas T ô R ïk ß errorCode T 0 R sl ß errorCode < h Ùl ß e ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ä 0 ÀÐzª5®
=
¯á ò ßj P 6 ñ ò ó îïþ õ , ô 8 îïþ; îïþ< ÷ = ø I ú V ü i îïþm ý n þ } ÿ îïþ § ¨ É ß ò îïþ ) J a b v îïþ Î å æ ÷ ú ü ý ! " îïþ $ % " & . ' ? ( A ) D îïþO * ! 1 ' + + ' ' 2 - E 0 : K G Y 1 2 K G Y 1 0 ( V , , 2 ô Ü L h 6 * 0 ² Ì /m <Again>b__0 Ø ² /m < km à str à datas < Ô n à e R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ä $ ÀЪ5Nã ò ( /m ² , 9 : ; îïþ = , < 8 îïþ; îïþ< ? = @ I B V D i îïþm E n F } G H îïþ I J § K ¨ M É O Ü Q ö îïþú R û S 0 T G U H W Y Y \ Z ^ [ _ \ q ] t îïþv _ w ` a b ¡ c £ d ¦ îïþ± e ! 1 ' + + ' ' 2 - E : K f 1 0 ( V , , 2 ô Ü 2 * à E W à_ MoveNext E à_
|
$USystem $USystem.Collections $Ulog4net $USystem.Threading > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò Ì à_ E O À îïþz Ù { Ú îïþ¡ Û À îïþÇ Ü æ îïþí Ý îïþ Þ 2 îïþ9 ß X îïþ_ à ~ îïþ
á ¤ îïþ« â Ë îïþÒ ã ò îïþù ä îïþ å @ îïþG æ g îïþn ç îïþ è µ îïþ¼ é Ü îïþã ê îïþ
|
ë * îïþ1 ì Q îïþX í x îïþ î îïþ§ ï È îïþÏ ð ð îïþ÷ ñ îïþ ò @ îïþG ó h îïþo ô îïþ õ ¶ îïþ½ ö Ý îïþä ÷ îïþ ø + îïþ2 ù R îïþY ú y îïþ û îïþ§ ü Ç îïþÎ ý î îïþõ þ îïþ ÿ < îïþC
|
' , + . * + . - + ) $ * + * * , , * , , L L L J J J , 1 ) , + * 0 3 0 4 , 0
|
ô Ø ´ Ì . * Ø <R .ctor <R
|
$USystem $USystem.IO $USystem.Reflection $USystem.Xml.Serialization 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * W PR SaveFile Ü Ø W PR = QR " Ì xmlSerializer ( + bR Ì textWriter Ô R Ì e > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Bo 6 * h Z §R TrySaveFile Z §R X è @ ¨R " Í xmlSerializer p ä + ¹R Í textWriter X èR Í e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B 2 * Ð d S ReadFile l d S L ? S Î data " Î xmlSerializer ¸ H * S Î textReader " AS Î e F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6[®® 6 * e eS TryReadFile Ô Ô e eS D fS " Ï xmlSerializer $ / wS Ï textReader Ð ªS Ï e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B 2 * Ì ÊS DeleteFile ÊS Ð fileInfo : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 K . * K æS Copy Ð X K æS T . øS " Ñ propertyInfo B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¨ . * H 1T Clone ¤ 1T Ò Tvalue : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò H <R < $
|
|
ò Ì PR W À ( / 2 îïþ= @ A B S ! V "
|
L J ? ( N
|
ò Ì §R Z À % ' ( * + , ( - / . 2 îïþ= 0 A 2 B 3 C 4 T 5 X 7
|
L J ? ( N
|
ò Ì S d À : < > @ A B ' C . D 1 îïþ< F @ H B I C J U K b M
|
L J E ( N
|
ò Ø eS e Ì P R S U V W , X 3 Y 6 îïþA [ E ] F ^ G _ X ` _ b c d
|
L J E ( N
|
ò x ÊS l g h j îïþ k l m n
|
8 #
|
ò Ì æS K À q r r îïþ r s u $ îïþ' v ( w > x ? y @ îïþD r J z
|
3 Q / 8 [ 0 2
|
ò H 1T < } ~
|
2
|
ô @ ä ø ( @ \ t ¤ À Ø ô 8 L 2 * 8 µ 7 get_Name 2 * p ¶ §7 set_Name 2 * ¨ · ¯7 get_Radius 2 * à ¸ ¶7 set_Radius N * 4 ¹ ¾7 get_DistanceFromCenterToPrimaryFlat N * º Å7 set_DistanceFromCenterToPrimaryFlat 6 * Ä » Í7 get_EdgeRound 6 * ¼ Ô7 set_EdgeRound 6 * < ½ Ü7 get_BeamWidth 6 * x ¾ ã7 set_BeamWidth 6 * ´ ¿ ë7 get_BeamHeight 6 * ð À ò7 set_BeamHeight > * 4 Á ú7 get_ProcessInfoList > * x  8 set_ProcessInfoList . * @ } à 8 .ctor | } 8 $USA_LTT.Module
|
$USystem $USystem.Collections.Generic 6 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ¬ H Ä 8 AddProcessInfo . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à . * T m Å Î8 Clone ° m Î8 ¿ clone : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à 2 * H ! Æ ;9 IsEquals X ô ! ;9 À check ð P ü9 À i N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à 2©)o ò $ 7 " ò $ §7 # ' ò $ ¯7
|
$ ò $ ¶7
|
% ) ò $ ¾7 9 = ò $ Å7 > B ò $ Í7 # ' ò $ Ô7 ( , ò $ Ü7 # ' ò $ ã7 ( , ò $ ë7 $ ( ò $ ò7 ) - ò $ ú7 4 8 ò $ 8 9 = ò 8 } , < L \ l |
|
! 7 % 2
|
ò l 8 H ` ! " # $ ( % 5 ' G (
|
) [ / / 6
|
ò Î8 m + , . / ! 0 . 1 ; 3 H 4 U 6 g 8 k 9
|
) $ ( Z . . 0 B
|
ò ø ;9 ! ( ì < = ? îïþ @ A B C . îïþ1 D 2 E 4 F : H ; I O J ` K q L N O ¤ Q ½ îïþÀ R Á S Ä îïþÆ T Ç U é W ï îïþó X õ Y ö S ü S îïþ Z \ ] ^ _ a b
|
4 c 7 ; m A A C T # o , # H K % F #
|
ô ¨ d | ¬ Ä à ø , ` x ¬ Ä à ø , H ` | ´ Ì ì ( @ d | ¨ È à ô $ 2 * h × 7o <Put>b__0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ï ò $ 7o 9 O ô < T : * p Ù Po <MappingSeq>b__0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ï ò $ Po * 9 I ô l 6 * l Ñ ìn <GetReady>b__0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ï ò $ ìn t 5 P ô ¤ Ä 2 * h Ó o <Get>b__0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ï ò $ o 9 O ô Ü ô 6 * l Õ o <PutReady>b__0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ï ò $ o Î 5 P ô , 2 * 8 Î £: get_Radius 2 * p Ï ª: set_Radius N * Ä Ð ²: get_DistanceFromCenterToPrimaryFlat N * Ñ ¹: set_DistanceFromCenterToPrimaryFlat 6 * T Ò Á: get_EdgeRound 6 * Ó È: set_EdgeRound 2 * È Ô Ð: get_StartX 2 * Õ ×: set_StartX 2 * 8 Ö ß: get_StartY 2 * p × æ: set_StartY 2 * ¨ Ø î: get_Width 2 * à Ù õ: set_Width 2 * Ú ý: get_Height 2 * P Û ; set_Height : * Ü ; get_ProcessStartX : * Ð Ý ; set_ProcessStartX : * Þ ; get_ProcessStartY : * P ß "; set_ProcessStartY : * à *; get_ProcessEndX : * Ð á 1; set_ProcessEndX : * â 9; get_ProcessEndY : * P ã @; set_ProcessEndY 6 * ä H; get_BeamWidth 6 * È å O; set_BeamWidth 6 * æ W; get_BeamHeight 6 * @ ç ^; set_BeamHeight > * è f; get_BeamHeightOverlap > * È é m; set_BeamHeightOverlap > * ê u; get_BeamWidthOverlap > * P ë |; set_BeamWidthOverlap B * Ô ì ; get_ScannerProcessSpeed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à > * í ¡; get_AttenuatorSteps > * \ î ¨; set_AttenuatorSteps > * ï °; get_IsProcessEnable > * ä ð ·; set_IsProcessEnable : * $ ñ ¿; get_ProcessLength : * d ò Æ; set_ProcessLength 6 * ó Î; get_AccTime 6 * Ü ô Õ; set_AccTime : *
|
õ Ý; get_ProcessList : * \
|
ö ä; set_ProcessList . * À
|
¼ ÷ ì; .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à 6 * , C ø ¨< SetRecipeData . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à 6 * ( Ú ù ë< SetProcessData 0 Ü Ú ë< Á beamHeight h Ø = = Á beamCount F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à SÁ ,o F * ` a ú Å= IsProcessingAreaContainWafer , ô a Å= &  isContainsEllipse  left  top  right  bottom t ð ,> "  processsRadius "  extendRectLeft "  extendRectTop "  extendRectRight &
|
 extendRectBottom f É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à 8 m²Ü ò2p²¶
§ B * È A û &? GetProcessStartEndCoords d @ A &? " à processsRadius à startX à startY à endX à endY à left à top à right à bottom ¨ < W A " à beamHeightSize à endHeight à beamCount É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à T ¼Äàæ%GqQ\Ë
OËî|N°ûS 6 * @ E ü gB IsCoordInWafer : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à B * T ý ¬B GetPointYOfContactOfEllips D À T ¬B * position : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à > * p Ü þ C CreateProcessLines1 Ü C Ä jumpY Ä markY " Ä beamHeightSize Ä oddCheck D Z YC Ä i ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à 0 ¬Ëa
C : * 8 s ÿ ÜD CreateProcessLines t s ÜD Å oddCheck Å jumpY Å markY " Å beamHeightSize " Å _accLengthCheck ° ï 7E Å i É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à h ~Âá¶H¨/ªßSèë&è rîD\ ¢¡¢ª . * ` H OL Clone < H OL Æ processInfo l 3 BM Æ coord ¤ + JM Æ copy F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à ää. 2 * T M IsEquals d M Ç check ü Ç àN Ç i N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à 2¥
-
û
ò $ £: u $ ò $ ª: u % ) ò $ ²: v 9 = ò $ ¹: v > B ò $ Á: w # ' ò $ È: w ( , ò $ Ð: y $ ò $ ×: y % ) ò $ ß: z $ ò $ æ: z % ) ò $ î: | # ò $ õ: | $ ( ò $ ý: } $ ò $ ; } % ) ò $ ; ' + ò $ ; , 0 ò $ ; ' + ò $ "; , 0 ò $ *; % ) ò $ 1; * . ò $ 9; % ) ò $ @; * . ò $ H; # ' ò $ O; ( , ò $ W;
$ ( ò $ ^;
) - ò $ f; + / ò $ m; 0 4 ò $ u; * . ò $ |; / 3 ò < ; 0 @ ò $ ¡; & * ò $ ¨; + / ò $ °; ' + ò $ ·; , 0 ò $ ¿; ' + ò $ Æ; , 0 ò $ Î; ! % ò $ Õ; & * ò $ Ý; * . ò $ ä; / 3 ò Ì ì; ¼ À $ ¡ 4 ¢ D ¤ T ¥ d ¦ t § © ª ¤ « ´ ¬ »
|
- 2
|
ò l ¨< C ` ° ± ² ³ ( µ 5 ¶ B ·
|
$ V * * ,
|
ò ë< Ú » ¼ ¾ & îïþ) ¿ * À 4 Â J îïþM Ã N Ä U Å X Ç Y È d É e Ê f Ì n îïþr Í s Î { îïþ Ï Ð Ñ Ò Ô Õ Ö ¬ × ¼ Ø Ì Ù Ø Ú Ù Û
|
@ ) < : ? 5 / / * # # ! ! %
|
ò p Å= a 2 d ß à ä
|
å æ ç $ ê ` îïþg ì h í w ð } ñ ò ó ö Ì îïþÐ ø Ñ ù Ý îïþá ú â û ä ü ç þ è ÿ ê ë î ï ñ ò õ ö
|
# îïþ' ( ; îïþ? @ B E F H I L M O P Q Y ^ !
|
+ " ! ) * + < ? = A C A @ 3 2 / 3 N 3 2 / 1 &
|
ò t &? A ] h % & îïþ ' ) & . . / 6 0 A 1 L 3 V 4 ` 5 j 6 u 9 îïþ : ; ¢ îïþ¦ < § = Õ > Ø @ Ù A ï B ð C ó E ô F G J 3 îïþ7 K 8 L ; M > N U îïþY O Z P ] Q ^ T e îïþi U j V l W o Y p Z s [ t ` îïþ a b ¡ îïþ¥ c ¦ e Ó f Ö h × i ì j í m ð o ñ p q t ' îïþ+ u , v / w 0 z A îïþE { F | I } L M X Y m îïþq r
° îïþ´ µ » ¼ Ç È ä 9 >
|
* 8 " ! ) * & b F U + 1 & ) & _ C R 9 3 ' % G H X C E ! ; : : 6 6
|
ò < gB E 0 C
|
W
|
ò ` ¬B T T £ ¤ ¦ < ¨ N ª R «
|
! T 5
|
ò C Ü @ ¯ ° îïþ ± ³ " ´ , µ : µ ; · = ¹ I » Y ½ a îïþf ¾ g À o îïþs Á t  îïþ Ã Ä Å Ç È £ É ¤ Ë ´ îïþ¸ Ì ¹ Í À Î Ã Ð Ä Ñ Ó Ò Ô Ó × Õ Ø Ö è îïþì × í Ø ô Ù ÷ Û ø Ü Ý ß îïþ à á $ â ' ä ( å 7 æ 8 ç 9 é N ê c ë í î ï ½ ½ ¬ îïþ³ ñ Ô ò Ù ó
|
* D E F ! * ' : / N 8 - L 8 - L : / N E E H 1 > Q , < A
|
ò < ÜD s à 0 ÷ ø îïþ ù û ü * þ 4 ÿ > L X [ c îïþh i îïþ
|
îïþ ® îïþ² ³ Á Ç È Þ ý îïþ % ( ) L M N ! ^ îïþb " c # j $ p & q ' ) îïþ£ * ¤ + Ç , Ê . Ë / î 0 ï 1 ð 2 ö 4 ÷ 6 îïþ 7 8 9 ; < ) > H îïþL ? M @ p A s C t D E F I ° îïþ´ J µ K Ã L É N Ê O à Q ÿ îïþ R S ' T * V + W N X O Y P Z Q \ f îïþj ] k ^ n _ ` a c d îïþ e g ª îïþ® h ¯ i ¶ j ¼ l ½ m Ì o ë îïþï p ð q r t u : v ; w < z S îïþW { X | f } l m ¢ îïþ¦ § Ê
Í Î ñ ò ó ù ú îïþ $ * + A ` îïþd e ¯ ° ± ¢ Á îïþÅ £ Æ ¤ Í ¥ Ó § Ô ¨ ã ª îïþ « ¬ * - ¯ . ° Q ± R ² S ³ T µ i îïþm ¶ n · q ¸
¹ º ¼ îïþ ½ ¾ ¿ Á ª îïþ® Â ¯ Ã ¶ Ä · Æ Ì Ç á É ÷ Ë Ì Î ! Ï " 4 C îïþJ Ó k Ô p Õ
|
* D ! ) * & + E : Y I ! u ! w < 1 P J ! u ! w < 1 P J ! u ! w E : Y J ! u ! w B 1 G + > 3 R J ! y ! { G < [ J ! y ! { G < [ J ! y ! { > 3 R J ! y ! { A 1 G ) ) ) ) E E : , 1 > a , < A
|
ò OL H Ø Ù Û Ü ! Ý . ß ; à H á U â b ä o å | æ ç é £ ê ° ì ½ í Ê î × ð ä ò å ò ñ îïþó ò û ó ü ô ö % ÷ & ò 1 îïþ@ ù E ú
|
9 ) [ / ) ) ) ' 7 7 3 3 / 1 ? = ; ; $ / J 3 ! #
|
ò p M 2 d ý þ îïþ . îïþ1 2 4 : ;
|
L ] n ¡ ² Ã Ô å ö ) B îïþH I L îïþQ ! R " # ´ $ å & ë îïþï ' ñ ( ò ø îïþ ) + , - . / 0
|
0 [ 7 i 7 7 7 5 E E A A = M K I H # a S S , # B E % @ #
|
ô ¨ D ` x ¬ à ø , D ` x ¬ È à ü ! 0! H! d! |! ! ¬! Ä! Ü! ø! " ," D" d" |" " ´" Ô" ì" # $# D# \# |# # ´# Ì# ì# $ $ 8$ T$ l$ $ ¤$ Ä$ Ü$ % % <% T% x% % ´% Ì% ô% & 0& H& l& & ¨& À& ä& ü& ' 4' T' l' ' ' ¼' Ô' ô' ( ,( D( X( p( ( ¤( Ä( Ü( ) ) H) `) ) ) Ä) Ü) * * <* T* h* * * . * d A Ê .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * Ø ¡ get_Name : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * @ ¡ set_Name . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ¸ ¡ get_Position : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * $ ,¡ set_Position . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * 5¡ get_Speed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * A¡ set_Speed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * t J¡ get_Accel : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * Ü V¡ set_Accel . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = ò l Ê A ` ¼ ½ ¾ ¿ " À 1 Á @ Â
|
|
ò < ¡ 0 Ê Ê
|
Ê & ' ( ò < ¡ 0 Ë Ë Ë ' ( ) ò < ¡ 0 Ï Ï
|
Ï $ % & ò < ,¡ 0 Ð Ð Ð % & ' ò < 5¡ 0 Ô Ô
|
Ô " # $ ò < A¡ 0 Õ Õ Õ # $ % ò < J¡ 0 Ù Ù
|
Ù " # $ ò < V¡ 0 Ú Ú Ú # $ % ô . H °* Ä* Ü* ô* + $+ <+ X+ p+ + ¤+ ¼+ Ô+ ì+ , , 4, L, 2 * t c yg get_Main : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * Ü d
g set_Main . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * P e g get_Common : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * ¸ f g set_Common . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * 4 g £g get_Temperature : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * ¤ h ¯g set_Temperature . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * i ¸g get_Sensor : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * j Äg set_Sensor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * ü k Íg get_PowerMonitor : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * l l Ùg set_PowerMonitor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * à m âg get_Pulse : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * H n îg set_Pulse . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * ¼ o ÷g get_Ldd : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * $ p h set_Ldd . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * q h get_Motor : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * r h set_Motor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < yg 0 Q R
|
S " ò <
g 0 V W X # ò < g 0 ^ _
|
` $ ò < g 0 c d e % ò < £g 0 k l
|
m ) ò < ¯g 0 p q r * ò < ¸g 0 x y
|
z $ ò < Äg 0 } ~ % ò < Íg 0
|
* ò < Ùg 0 + ò < âg 0
|
# ò < îg 0 $ ò < ÷g 0
|
¡ ! ò < h 0 ¤ ¥ ¦ " ò < h 0 ¬
|
® # ò < h 0 ± ² ³ $ ô Ø d, |, , ¬, Ä, à, ø, - ,- L- d- - - ¸- Ð- ì- . $. <. \. t. . ¤. ¼. Ô. ì. / / 4/ L/ d/ |/ 6 * l · tp <Occur>b__0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ³ ò $ tp à , : ô / °/ > * t H ©_ <statusUpdate>b__12_0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 E ò $ ©_ ´ P ô È/ ì/ 6 * ¼ _¡ get_Version x _¡
|
$USystem $USystem.Threading > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ( k¡ set_Version . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * t¡ get_PositionX : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ¡ set_PositionX . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ¡ ¡ get_PositionY : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ð ¢ ¡ set_PositionY . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * h £ ¡ get_PositionT : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * Ô ¤ ª¡ set_PositionT . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * H ¥ ³¡ get_IsHome : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ° ¦ ¿¡ set_IsHome . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * , § È¡ get_IsWaferExist : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * ¨ Ô¡ set_IsWaferExist . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * © Ý¡ get_IsVacuumOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ª é¡ set_IsVacuumOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ø « ò¡ get_IsAlignRun : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * d ¬ þ¡ set_IsAlignRun . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * à 6 ¢ get_IsRunEnable : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * D ¾ ® =¢ .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * , õ ¯ û¢ statusUpdate H Ì õ û¢ È ¿£ K e Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ²îîê
± - % . * ì H ° ð£ Align 0 H ð£ " CS$<>8__locals0 J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 .t . * ¬
|
H ± 8¤ Again ð \
|
H 8¤ " CS$<>8__locals0 J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 /t 6 * à ¶ ² ¤ ReadVersion °
|
¶ ¤ è
|
X K ¤ " receivedData datas è
|
ø¤ e J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Að0i . * ` 4 ³ 6¥ Home J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 1 t 2 * ä 4 ´ j¥ VacuumOn J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 t 2 * h ( µ ¥ VacuumOff J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 3 t . * è ( ¶ Æ¥ PinUp J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 4 t 2 * l 4 · î¥ PinDown J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 5 t 2 * Ì S ¸ "¦ ReadStatus p x S "¦ ¤ @ å O¦
str
datas ¼ < ¡ ¦
status ¤ t 6§
e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 AðÍ « 6 * è é ¹ u§ ReadAlarmCode Ð é u§ P 3 ê§ str ¨ e Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÁÁò¡m 7 t 6 * Ø º ^¨ ReadPinStatus ì ¤ Ø ^¨ $ l " Ó¨ str $ ÷¨ e Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÁÁò¡6 8 t : * $ Ø » 6© ReadWaferStatus Ä Ø 6© D " «© str D À Ï© e Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÁÁò¡: 9 t : * D Ø ¼ ª ReadVaccumStatus ( ä Ø ª d ¬ " ª str d à §ª e Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÁÁò¡= : t 6 * H ½ æª ReadParameter H æª È 1 « str ü F« e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Aðf 6 * ¼ û ¾
« ReadPosition L h û
« 0 ²« "
receivedData
datas , H æ«
positions d A¬
e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Að9rÂ` . * < 4 ¿ ¬ Center J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = t 6 * @ À ´¬ SetAlignOffset @ ø ´¬ x À , ᬠstr x ô e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Aðq . * ì . Á N Write D ¨ . N . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 M 2 * è  | WriteRead ð | " receivedData $ H Ç errorCode F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 +|Ë 2 * s à ® WriteRead ì T s ® . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 M 6 * , Ä ® SetAlarmCode : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * Å ¸° <Home>b__48_0 Ì ¸° L 1 å° str L È ± e F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÀR : * H Æ W± <VacuumOn>b__49_0 ô W± X ¼ ¡ ± str datas X ð '² e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Àë : * x Ç f² <VacuumOff>b__50_0 L $ f² ì ² str datas 2³ e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ´´í°ñ% 6 * È q³ <PinUp>b__51_0 | 4 q³ ´ ü ! ª³ str ´ 0 ͳ e F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ´´í°U : * É ´ <PinDown>b__52_0 @ ´ À ! 9´ str À < \´ e F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 À( : * ¼! ÿ Ê ´ <Center>b__60_0 h! ÿ ´ Ì 0! È´ str datas Ì d! [µ e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÀÃ÷^ ò < _¡ 0 6 7
|
8 ! ò < k¡ 0 ; < = " ò < t¡ 0 C D
|
E # ò < ¡ 0 H I J $ ò < ¡ 0 P Q
|
R # ò < ¡ 0 U V W $ ò < ¡ 0 ] ^
|
_ # ò < ª¡ 0 b c d $ ò < ³¡ 0 j k
|
l ò < ¿¡ 0 o p q ! ò < È¡ 0 w x
|
y & ò < Ô¡ 0 | } ~ ' ò < Ý¡ 0
|
$ ò < é¡ 0 % ò < ò¡ 0
|
$ ò < þ¡ 0 % ò x ¢ 6 l ' îïþ* + ¡ / ¤ 0 ¥ 4 § t ! " ò ä =¢ ¾ Ø , . 1 ª * « + ¬ < I ® V ¯ c ° t ± ² ´ ¶ · ± ¸ ½ ¹ 1 $ < /
|
* % = @ ) & $ $ 7 $
|
ò @ û¢ õ . 4 ¼ îïþ ¾ À Á Ã îïþ Ä Å & îïþ) Æ * Ç 1 È 8 É 9 Ê ? Ì @ Í u îïþx Î y Ð | Ò } Ó îïþ Ô Õ Ö ¡ Ø ¢ Ù îïþ± Ú ² Û ¹ Ü ¼ Þ ½ à ¾ á ¿ â À ã Á ä Ä å Æ æ Ç ç Ù è Ü é Ý ½ í îïþô ê
|
, ) , * 1 ! k ! < ! " % - ! " ! " ! " $ R 3
|
ò x ð£ H l îïþ í î îïþ" î $ ð »; - G .
|
& ' . (
|
ò x 8¤ H l îïþ 5 6 îïþ" 6 $ 8 ; g G h
|
& ' . (
|
ò t ¤ ¶ h k l m îïþ o " n ) îïþ, îïþ- q . r 5 t A u T w ] îïþa x b y m z r } s ~ x z { ¦ ¨ îïþ³
|
- # ' = ? + , % & $ R " ( .
|
ò l 6¥ 4 ` îïþ ' ® 3 ¯
|
& ' . (
|
ò l j¥ 4 ` ² ³ îïþ ³ µ ¡' Ø 3 Ù
|
& ' . (
|
ò ` ¥ ( T Ü Ý îïþ Ý ß ¡'
|
& ' .
|
ò ` Æ¥ ( T îïþ ' "
|
& ' .
|
ò l î¥ 4 ` % & îïþ & ( ' C 3 D
|
& ' . (
|
ò ° "¦ S " ¤ G H I îïþ K " J ) îïþ, îïþ- M . N 5 P A R T T ] îïþd U e V { X ¨ Y Ö Z [ ] ^ _ ` a ) b , îïþ. d / e 6 f B g D h G îïþR i
|
- # ' 7 6 * ? P W U , $ R ( .
|
ò u§ é l m îïþ m o = t I u [ v \ îïþ^ x j w q îïþt îïþu z v { } } ~ § ª ¬
¿ Â îïþÄ Å Ì Ø Ú Ý îïþè
|
& ' . ( - # ' ; $ , $ R ( .
|
ò ^¨ Ø t îïþ = I [ \ îïþ^ j q îïþt îïþu v } ¡ ¤ ¥ ¦ § ¨ ® © ± îïþ³ « ´ ¬ » Ç ® É ¯ Ì îïþ× °
|
& ' . ( - # ' 7 , $ R ( .
|
ò 6© Ø t ³ ´ îïþ ´ ¶ = » I ¼ [ ½ \ îïþ^ ¿ j ¾ q îïþt îïþu Á v  } Ä Ç È É Ê Ë ® Ì ± îïþ³ Î ´ Ï » Ð Ç Ñ É Ò Ì îïþ× Ó
|
& ' . ( - # ' 9 , $ R ( .
|
ò ª Ø t Ö × îïþ × Ù = Þ I ß [ à \ îïþ^ â j á q îïþt îïþu ä v å } ç ê ë ì í î ® ï ± îïþ³ ñ ´ ò » ó Ç ô É õ Ì îïþ× ö
|
& ' . ( - # ' 7 , $ R ( .
|
ò P æª D ù ú û îïþ ý " ü ) îïþ, îïþ- ÿ . 5 A Q ] ` b c
|
u x îïþz { îïþ
|
- # ' 8 # , $ R ( .
|
ò È
« û $ ¼ îïþ " ) îïþ, îïþ- . 5 A T " ] îïþa # b $ x % & ' ¨ ( « * ¬ , . ¹ / ¼ 0 ¾ 1 ¿ 2 Ñ 3 Ô îïþÖ 5 × 6 Þ 7 ê 8 ì 9 ï îïþú :
|
- # ' D ? + B @ @ @ , $ R ( .
|
ò l ¬ 4 ` = > îïþ > @ ' b 3 c
|
& ' . (
|
ò D ´¬ 8 f g h îïþ j " i ) îïþ, îïþ- l . m 5 o L q X r [ s ] t ^ u p v s îïþu x v y } z { | îïþ }
|
- # ' C , $ R ( .
|
ò N . x îïþ"
# ' ( ,
|
: &
|
ò | ü 3 îïþ6 7 ; < H îïþK L p îïþ ¢ ¤ ¦
|
0 ; @ % 2 U = -
|
ò ® s © ª ¬ - îïþ0 1 ® a ¯ e ² f ³ m ´ q ¶
|
: 8 _ -
|
ò ® , 4 | ¹ º îïþ} ½ ~ ¾ ¿ Â Ã ° Ä µ Ç ¶ È Ì É Ñ Ì Ò Í è Î í Ñ î Ò Ó Ö
|
× Ø % Û & Ü < Ý A à B á X â ] å ^ æ t ç y ê z ë ì ï ð ¬ ñ ® ô ¯ õ Å ö Ç ù È ú Þ û à þ á ÿ ÷ ù ú )
|
+
|
b d b ^ s e g k i j t b a f h c
|
ò P ¸° D îïþ " ) îïþ, îïþ- . 5 A Q ] ¡ ` ¢ b £ c ¤ u ¥ x îïþz § { ¨ © ª « îïþ ¬ ! 1 ' + 9 ( 0 ( V , 2 ò ¤ W± ! ¶ · ¸ îïþ º " ¹ ) îïþ, îïþ- ¼ . ½ 5 ¿ A À Q Â d Ä ~ îïþ Å Æ ³ Ç À È Á Ê Í Ë Ð Ì Ò Í Ó Î å Ï è îïþê Ñ ë Ò ò Ó þ Ô Õ îïþ Ö ! 1 ' + ; ' : K f 1 0 ( V , 2 ò ¤ f² ! à á â ã îïþ" å . ä 5 îïþ8 îïþ9 ç : è A ê M ì ` î z îïþ~ ï ð ¯ ñ ¼ ò ½ ô É õ Ì ö Î ÷ Ï ø á ù ä îïþæ û ç ü î ý ú þ ü ÿ ÿ îïþ
|
, ! 1 ' + < : K f 1 0 ( V , 2 ò P q³ D
|
îïþ" . 5 îïþ8 îïþ9 : A M Y \ ^ _ q t îïþv w ~ îïþ ! , ! 1 ' + ; 0 ( V , 2 ò D ´ 8 ) * + îïþ - " , ) îïþ, îïþ- / . 0 5 2 A 5 M 6 P 7 R 8 S 9 e : h îïþj < k = r > ~ ? @ îïþ A ! 1 ' + ; 0 ( V , 2 ò ´ ÿ A B C îïþ E " D ) îïþ, îïþ- G . H 5 J A L T N n îïþr O s P £ Q ° R ± T ½ U À V Â W Ã X Õ Y Ø îïþÚ [ Û \ â ] î ^ ð _ ó îïþþ ` ! 1 ' + ; : K f 1 0 ( V , 2 ô Ü p 0 0 80 T0 l0 0 0 ¼0 Ô0 ð0 1 $1 <1 X1 p1 1 ¤1 À1 Ø1 ô1 2 ,2 D2 d2 |2 2 ´2 Ô2 ì2 3 $3 D3 \3 |3 3 ¨3 À3 Ü3 ô3 4 4 44 L4 h4 4 4 ¬4 Ä4 Ü4 ô4 5 5 85 P5 h5 5 5 ¸5 Ð5 ì5 6 $6 <6 \6 t6 6 ¨6 Ä6 Ü6 ô6 7 ,7 D7 X7 p7 7 7 ¸7 Ð7 ì7 8 8 88 X8 p8 8 ¬8 Ì8 ä8 9 9 <9 > * Q Ê_ <statusUpdate>b__15_0 ä Ê_
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ Ê_ n P | ô ´ T9 x9 6 * à ¬ D5 get_Recipes D5 $USA_LTT.Base $USystem.Collections.Generic $USystem.IO B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * L P5 set_Recipes . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ . * ° 8 ® Y5 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ 6 * ð à ¯ 5 RefreshRecipes ´ à 5 " ¼ directoryInfo ì w Ï5 ¼ fileInfo ( r Ô5 ¼ recipe N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ tí ííW
Ý 6 * h q ° T6 SaveOrCreate : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ p . * Ø ? ± Å6 Delete : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ i 6 * P ² 7 ExistsRecipe : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ 2 * Ä ( ³ !7 GetRecipe : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ 6 * ´ W ´ I7 GetRecipeList È p W I7 ¾ recipeList l d7 ¾ recipe > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ !UU ò < D5 0
|
! ò < P5 0 " ò x Y5 8 l
|
! ( ) 0 7 - 4 ` 6
|
$
|
ò t 5 Ã h # $ & ! îïþ$ ' % ( , ) - + . + < îïþ> + C , D - K / \ îïþ` 0 a 1 u îïþy 2 z 3 4 6 7 ² 8 ³ 9 ´ : µ îïþ¹ + Â ;
|
a / ( + J ' 6 @ : ? B ( *
|
ò T6 q > ? % A 7 îïþ: B ; C S D V F W G o H p I
|
] 2 7 :
|
ò x Å6 ? l L M O , îïþ/ P 0 Q = R > S
|
V 1 ,
|
ò x 7 l V W îïþ X Y \ ] _
|
1
|
ò x !7 ( l b c îïþ d e ! h " i & k
|
* 4
|
ò ´ I7 W ¨ n o q q îïþ q # r $ s 1 t 2 q = îïþL v U w
|
B + 9 ' 0 ( * )
|
ô H 9 ¬9 Ä9 à9 ø9 : $: D: \: x: : ¨: À: Ü: ô: ; $; @; B * § Cj get_SystemInitialization : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W B * ü ¨ Oj set_SystemInitialization . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * p © Xj get_Setup : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * Ø ª dj set_Setup . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * P « mj get_Running : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ¼ ¬ yj set_Running . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * 4 j get_Standby : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ® j set_Standby . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ¯ j get_SoftFault : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ° £j set_SoftFault . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ü ± ¬j get_HardFault : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * h ² ¸j set_HardFault . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < Cj 0 j k
|
l 2 ò < Oj 0 o p q 3 ò < Xj 0 w x
|
y # ò < dj 0 | } ~ $ ò < mj 0
|
% ò < yj 0 & ò < j 0
|
% ò < j 0 & ò < j 0
|
' ò < £j 0 £ ¤ ¥ ( ò < ¬j 0 « ¬
|
' ò < ¸j 0 ° ± ² ( ô Ø ` X; ; ; À; Ø; ð; < < 8< T< l< < < ¼< Ô< ð< = $= <= X= p= = ¤= À= 6 * % mÍ get_ScanMode ¼ mÍ $USA_LTT.Base $USA_LTT.Module.RTC5
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.IO > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * l & yÍ set_ScanMode . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % . * Ü ' Í get_X : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % . * P A ( Í set_X > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % . * À ) ÏÍ get_Y : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % . * 4 A * ÛÍ set_Y > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % . * / + Î .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % ò < mÍ 0
|
" ò < yÍ 0 ! " # ò < Í 0 + ,
|
- ò Ì Í A À 0 1
|
îïþ 2 3 4 5 % îïþ( 6 ) 7 4 8 7 : 8 ; ? < @ = % " + # ò < ÏÍ 0 F G
|
H ò Ì ÛÍ A À K L
|
îïþ M N O P % îïþ( Q ) R 4 S 7 U 8 V ? W @ X % " + # ò x Î / l \ ] ^ _ a b & c . d
|
' !
|
ô H 8 Ø= ô= > (> @> T> l> > > ¬> Ä> Ø> ð> ? 2 * h ó E ¶^ SetData $ ó ¶^
|
$USystem $USystem.Collections $USystem.Collections.Generic $USystem.Globalization $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks Þ bit > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 F ò ¶^ ó ( ) + îïþ + - ( . 5 / B 0 O 1 \ 2 i 3 v 4 5 6 7 ¬ 8 º 9 È : Ö ; ä < ò = / % & - # 2 7 $ ) , $ $ $ 7 0 ) * 7 - 6 ô ? 4? 6 * 0 Ë µ get_PositionT ì µ $USA_LTT.Info.WaferInfo
|
$USystem $USystem.Collections $USystem.Text $USystem.Threading * $TSA_LTT.Info.WaferInfo.WaferInfoManager > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * Ì ¦µ set_PositionT . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * Í ¯µ get_PositionZ : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * Î »µ set_PositionZ . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * ø Ï Äµ get_PositionR : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * d Ре set_PositionR . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * Ü Ñ Ùµ get_PositionF : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * H Ò åµ set_PositionF . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * À Ó îµ get_AlarmCode : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * , Ô úµ set_AlarmCode . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë > * ¬ Õ ¶ get_AlarmDescription : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë > * Ö ¶ set_AlarmDescription . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * × ¶ get_IsError : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * Ø $¶ set_IsError . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * Ù -¶ get_PowerStatus : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * ð Ú 9¶ set_PowerStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * h Û B¶ get_IsVacuumOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * Ô Ü N¶ set_IsVacuumOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * H Ý W¶ get_IsRun : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * ° Þ c¶ set_IsRun . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * ,
|
ß l¶ get_IsWaferExist : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : *
|
à x¶ set_IsWaferExist . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * ( á ¶ get_IsServoOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * â ©¶ get_IsPutGetRun : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * ã µ¶ set_IsPutGetRun . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * | ä ¾¶ get_GetTactTime : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * ì å ʶ set_GetTactTime . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * h æ Ó¶ get_PutTactTime : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * Ø ç ߶ set_PutTactTime . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * T > è è¶ get_IsRunEnable : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë > * Ô é &· get_MappingTactTime : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë > * H ê 2· set_MappingTactTime . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë . * ¬ ë ;· .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * õ ì Ó· statusUpdate ° 4 õ Ó· è 0 ¸ ) e V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë ¬~{
/ H µ 2 * H ¸ í ȸ GetThread ä ¸ ȸ È ¬ ɸ tactTime dt à ¨ ¬ f¹ " sourceNumber 0 ¤ = ¹
|
waferInfo È à Zº e ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 0 =ÍEè BÝ
IO 2 * » î º PutThread L » º h º tactTime dt d ¯ » & destinationNumber è ` = R»
|
waferInfo ¼ e ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 0 =ÍEè B~Ñ
=T > * à ' ï ;¼ ReadFirmwareVersion ' ;¼ H F¼ " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë B 2 * ¨ i ð b¼ GetReady ä T i b¼ " CS$<>8__locals0 N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë L© . * l ñ ˼ Get ¬ ˼ " CS$<>8__locals0 N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë ] Mþ 6 * ñ ò S½ GetReadyThread p H ñ S½ ¨ È T½ tactTime dt ¨ D ¾ e R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë $ =ÎFé CïÀ 2 * h i ó D¾ PutReady ¤ i D¾ " CS$<>8__locals0 N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë O© 6 * ñ ô ¾ PutReadyThread l D ñ ¾ ¤ È ®¾ tactTime dt ¤ @ x¿ e R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë $ =ÎFé CïÀ . * ` õ ¿ Put ¿ " CS$<>8__locals0 N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë ] Qþ 2 * ( { ö &À MappingSeq d Ô { &À " CS$<>8__locals0 N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë V R÷ : * ¼ ÷ ¡À WaferGetInterlock , ¼ ¼ ¡À h ¸ u æÀ waferNumber ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 0 hkTí
9
§Õ^! : * ¼ ø ] WaferPutInterlock $ ´ ¼ ] ` ° r ¥Â waferNumber ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 0 p±iµ
O
½Þg( : * ù Ä MappingInterlock B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë @´ä 2 * ú ¥Ä MappingTh $ ¥Ä tactTime dt V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë ( g¶@ ÄOo. > * 4 k û ¥Å ReadPort1MappingResult Ô k ¥Å mappingData Ä d Þ ÉÅ i ü ` Å ÐÅ info Ä Ð [ ³Æ i h Ì D ¸Æ
|
info Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë , Z¡ç¤Mö¡
t
º
k > * è! p ü Ç ReadPort2MappingResult 8 ! p Ç mappingData x ! á 4Ç i ° ! È ;Ç info x ! ] !È i ! ! F &È
|
info Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë , Z¡ç¤Mö¡
t
º
k 2 * P" ý È Mapping . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * # þ È ReadMappingResult T" Ì" È " 2 receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë . * p# ÿ ®È Home . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * Ø# ¼È ServoOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * @$ ÊÈ ServoOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * ¬$ % ØÈ MoveRelative . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * % % ýÈ MoveAbsolute . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * Ô% "É ReadMappingSpeed % % "É " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * D& 2É SetMappingSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * ´& KÉ SetWaferThickness . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë B * ,' dÉ SetWaferCrossCheckStandard . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë F * ¨' }É SetWaferDoubleCheckStandard . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * d( k É ReadErrorCode ¬' ( k É " . receivedData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 4© > * $)
|
Ê ReadErrorDescription h( ä( Ê " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * ) Ê ErrorClear . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * * : 'Ê ReadPowerState ) D* : 'Ê " receivedData splitData powerState B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë nÈ 6 * d+ ^ aÊ ReadPosition * $+ ^ aÊ " receivedData splitData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë m . * È+ ¿Ê EMS . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * , ÍÊ ReadSystemSpeed Ì+ D, ÍÊ " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * ð, ÝÊ SetSystemSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * ¨- öÊ ReadJogSpeed ô, h- öÊ " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * . < Ë ReadWaferDetected ¬- \. < Ë " receivedData dec bitarray > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë l 6 * / ? BË ReadVacuumOn ¤. P/ ? BË " receivedData dec bitarray > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë x¹ 2 * 0 < Ë ReadRun / @0 < Ë " receivedData dec bitarray > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë l 6 * ð0 ½Ë SetJogSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * ¨1 ÖË ReadHomeSpeed ô0 h1 ÖË " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * 2 æË SetHomeSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * Ð2 ÿË ReadWaferOnSpeed 2 2 ÿË " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * @3 Ì SetWaferOnSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * ü3 (Ì ReadWaferOffSpeed D3 ¼3 (Ì " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë : * l4 8Ì SetWaferOffSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * 5 QÌ ReadZSpeed p4 à4 QÌ " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * 5 aÌ SetZSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 6 * ô5 Ì EmergencyStop . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë . * X6 Ì Pause . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë . * ¼6 Ì Run . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * p7 ! ªÌ ReadInput À6 07 ªÌ " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë 2 * $8 " ºÌ ReadOutput t7 ä7 ºÌ " receivedData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë . * Ð8 . # ÊÌ Write (8 8 . ÊÌ . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë P 2 * 9 u $ øÌ WriteRead Ô8 <9 u øÌ . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ë N ò < µ 0 ¤ ¥
|
¦ # ò < ¦µ 0 © ª « $ ò < ¯µ 0 ± ²
|
³ # ò < »µ 0 ¶ · ¸ $ ò < ĵ 0 ¾ ¿
|
À # ò < е 0 Ã Ä Å $ ò < Ùµ 0 Ë Ì
|
Í # ò < åµ 0 Ð Ñ Ò $ ò < îµ 0 Ø Ù
|
Ú # ò < úµ 0 Ý Þ ß $ ò < ¶ 0 å æ
|
ç * ò < ¶ 0 ê ë ì + ò < ¶ 0 ò ó
|
ô ! ò < $¶ 0 ÷ ø ù " ò < -¶ 0 ÿ
|
% ò < 9¶ 0 & ò < B¶ 0
|
$ ò < N¶ 0 % ò < W¶ 0
|
ò < c¶ 0 ò < l¶ 0 & '
|
( & ò < x¶ 0 + , - ' ò x ¶ ( l 3 4 îïþ 5 6 ! 9 " : & < ~ ! " ò < ©¶ 0 B C
|
D % ò < µ¶ 0 G H I & ò < ¾¶ 0 O P
|
Q % ò < ʶ 0 T U V & ò < Ó¶ 0 \ ]
|
^ % ò < ߶ 0 a b c & ò x è¶ > l i j / îïþ2 k 3 l 7 o 8 p < r
! " ò < &· 0 x y
|
z ) ò < 2· 0 } ~ * ò ´ ;· ¨
/ < I V b i *
|
* ) = % @ ! $ 7 $
|
ò Ó· õ * îïþ îïþ " ) 0 7 > ¡ E ¢ L £ S ¥ V § W ¨ îïþ © « ® îïþ¡ ¯ ¢ ° µ ± ¸ ³ ¹ ´ À µ Á ¶ Â · Ã ¸ Æ ¹ Ç º È » Ù ¼ Ü ½ Ý í îïþô ¾
|
& * ( ( ) ) - ( # 1 ! l ! 7 $ R 3
|
ò $ ȸ ¸ A Á Ã Ä Å Ç - É 3 îïþ5 Í 6 Î = îïþ@ Ï A Ð C Ó D Ô d îïþg Õ h Ö z × Ù Ú Ì îïþ Þ ß îïþ à ã © å ± æ ¸ è À îïþÄ é Å ê Ë îïþÏ ë Ð ì ä í ö î ï ñ ! ò $ ô % õ 5 ö 6 ø H ù J ü K ý l îïþp þ q
Ý § ª îïþ¬ µ ·
|
2 $ 3 , B C $ ( W + - 2 > ! n ! F ! c i Y ? B C $ N %
|
ò $ º » A - 3 îïþ5 6 = îïþ@ A C # D $ d îïþg % h & z ' ) * îïþ . / îïþ 0 3 © 5 ± 7 ¸ 9 Ã îïþÇ : È ; Î îïþÒ < Ó = ç > ù ? @ B $ C ' E ( F 8 G 9 I K J M M N N o îïþs O t Q R T U - V W X Y ª Z îïþ¯ \ ° ] ¸ ^ º _
|
2 $ 3 , B C $ ( \ + - 3 > ! t ! F ! i n Y ? B C $ N %
|
ò ;¼ '
|
b c îïþ d f g ! h $ j % l & m
|
4 0
|
ò b¼ i îïþ q r 7 îïþ: s ; t R u ^ v b y c z g |
|
a R *
|
ò Ø Ë¼ Ì îïþ 2 îïþ5 6 Q îïþT U l
x | }
|
9 e Q . ! "
|
ò 4 S½ ñ - ( - 3 îïþ5 ¡ 6 ¢ = îïþ@ £ A ¤ C § D ¨ d îïþg © h ª z « | } ® ~ îïþ
² ³ îïþ ´ µ ¸ ¹ º îïþ¾ º ¿ » Á ½ Â ¾ Ã ± È ¿ Ë À Í Á Î Â à Ã ã îïþå Å æ Æ î Ç ð È
|
2 $ 4 , B C $ ( B $ N %
|
ò D¾ i îïþ Ë Ì 7 îïþ: Í ; Î R Ï ^ Ð b Ó c Ô g Ö
|
a R *
|
ò 4 ¾ ñ - ( Ù Û Ü Ý ß - á 3 îïþ5 å 6 æ = îïþ@ ç A è C ë D ì d îïþg í h î z ï | ñ } ò ~ ä îïþ
ö ÷ îïþ ø ù ü ý º îïþ¾ þ ¿ ÿ Á Â Ã õ È Ë Í Î à ã îïþå æ
|
î ð
|
2 $ 4 , B C $ ( B $ N %
|
ò Ø ¿ Ì îïþ 2 îïþ5 6 Q îïþT U l x | } "
|
9 e Q . ! "
|
ò Ø &À { Ì îïþ % & % îïþ( ' ) ( D îïþG ) H * _ + k - o 0 p 1 t 5 u 6 y 8
|
2 e K . ! "
|
ò Ü ¡À ¼ ; Ð ; < îïþ = > & îïþ) ? * @ = A > C E F F G H I S îïþZ J [ K a îïþe L f M îïþ N O P ¡ R ¢ T ¨ îïþ¬ U V É îïþÍ W Î X á Y è [ é ] ö îïþú ^ û _ îïþ ` a ( b / d 0 f 6 îïþ: g ; i îïþ j l n p § îïþ« q ¬ r ° u ± v µ z ¶ { º ~
|
D ! ] < Q 2 i k ) 2 j k ) R I n ) 4 ß ) w & % !
|
ò Ü ]Â ¼ ; Ð îïþ ) îïþ,
- @ A H I K V îïþ] ^ d îïþh i
îïþ ¤ ¥ « îïþ¯ ° Ì îïþÐ Ñ ä ë ì ¢ ù îïþý £ þ ¤ îïþ ¥ ¦ ( § / © 0 « 6 îïþ: ¬ ; ® îïþ ¯ ² ´ ¶ § îïþ« · ¬ ¸ ° » ± ¼ µ À ¶ Á º Ä
|
L + a < R 2 j k ) 2 j k ) R @ j ) 4 ß ) w & % !
|
ò 8 Ä , Ç È îïþ É
|
Ê " îïþ% Ë & Ì * Ï + Ð > Ñ B Ô G îïþJ Õ K Ö d îïþh × i Ø m Û n Ü Ý
á â ä
|
X " c ! ! Y " c !
|
ò @ ¥Ä . 4 ç è é ë îïþ î ï îïþ" ð # ñ % ô & õ F îïþI ö J ÷ \ ø a ú b û c í h îïþm þ n y îïþ} ~ îïþ îïþ ¥ ¦ ¸ º » Ü îïþà á ó õ ö ÷ ý ÿ
|
. ( > C $ $ 2 ) 2 ? > C
|
ò ¥Å k 4 | îïþ# $ & îïþ+ ! , " @ # J % W îïþ[ & \ ' d ( g ) t îïþx * y + , - îïþ . / 0 ¡ 1 ® îïþ² 2 ³ 3 » 4 ¼ 6 Ú 7 ï 8 ð ô û îïþ 9 ; < = îïþ > ? * @ 3 A ? B V C W = ] = e îïþi D j E
|
G * u N / E 4 E 4 G 4 G V j ) , ! ' u A N j ) , ! '
|
ò Ç p 4 | H I K îïþ# L $ M & îïþ+ N , O A P L R Y îïþ] S ^ T f U i V v îïþz W { X Y Z îïþ [ \ ] £ ^ ° îïþ´ _ µ ` ½ a ¾ c Ü d ò e ó M ÷ M þ îïþ f h i j îïþ k l . m 7 n D o [ p \ j b j j îïþn q o r
|
G * u N / E 4 E 4 G 4 G V j ) , ! ' u A N j ) , ! '
|
ò < È 0 u v w
|
#
|
ò H È < z |
|
0 !
|
ò < ®È 0
|
|
ò < ¼È 0
|
|
ò < ÊÈ 0
|
|
ò < ØÈ % 0 $
|
'
|
ò < ýÈ % 0 $
|
'
|
ò < "É 0 ¢ ¤
|
1
|
ò < 2É 0 § ¨ ©
|
$
|
ò < KÉ 0 ° ± ²
|
(
|
ò < dÉ 0 µ ¶ ·
|
'
|
ò < }É 0 º » ¼
|
'
|
ò ð É k ä Á Ä îïþ Å Æ È ' îïþ* É + Ê A Ë I Ì P Í S Ï T Ð ` Ñ h Ò i Ó j Õ
|
4 * ) a $ , 5 %
|
ò H Ê < Ø Ú Û Ý
|
0 -
|
ò < Ê 0 à á â
|
|
ò 'Ê : x å ç é ! í , îïþ/ î 0 ï 8 ð 9 ñ
|
0 : < *
|
ò x aÊ ^ l ô ö ÷ ! ù 0 ú ? û N ü ] ý
|
1 : 4 4 4 4
|
ò < ¿Ê 0
|
|
ò < ÍÊ 0
|
1
|
ò < ÝÊ 0
|
$
|
ò < öÊ 0
|
1
|
ò ` Ë < T - " ; #
|
3 9 R (
|
ò ` BË ? T & ( * , - . > /
|
3 9 R '
|
ò ` Ë < T 2 4 6 8 - : ; ;
|
3 9 R !
|
ò < ½Ë 0 > ? @
|
$
|
ò < ÖË 0 C E G
|
1
|
ò < æË 0 J K L
|
$
|
ò < ÿË 0 O Q S
|
1
|
ò < Ì 0 V W X
|
$
|
ò < (Ì 0 [ ] _
|
1
|
ò < 8Ì 0 b c d
|
$
|
ò < QÌ 0 g i l
|
1
|
ò < aÌ 0 o p q
|
2
|
ò < Ì 0 t u v
|
|
ò < Ì 0 y z {
|
|
ò < Ì 0 ~
|
|
ò < ªÌ 0
|
1
|
ò < ºÌ 0
|
1
|
ò ÊÌ . x îïþ" # ' ¢ ( £ , ¥
|
= &
|
ò øÌ u ¨ © ª - îïþ0 « 1 ¬ c g ° h ± o ² s ´
|
= 8 f -
|
ô Ð L? h? ? ? ´? Ð? è? @ @ 8@ P@ l@ @ @ ¸@ Ô@ ì@ A A <A TA xA A ´A ÌA èA B B 4B TB lB B ¤B ÄB ÜB üB C ,C DC \C tC C ¬C ÌC äC D D 8D PD pD D ¨D ÀD àD øD E 0E PE hE E E ÄE ÜE F F ,F DF `F xF F ¨F ÀF ØF üF G ,G DG XG pG G ¨G ÀG ØG øG H $H <H XH pH H ¨H ÈH àH I I 0I HI pI I °I ÈI àI øI J 0J DJ \J tJ J ¤J ¼J ØJ ðJ K $K DK \K |K K ´K ÌK øK L <L TL pL L ¬L ÄL àL øL M 0M LM dM xM M °M ÈM èM N N 4N TN lN N N ¸N ÐN ìN O O 8O TO lO O ¤O ÄO ÜO üO P 4P LP hP P P °P ÌP äP øP Q $Q <Q TQ lQ Q Q ´Q ÌQ äQ . * ¸ E Uê .cctor | E Uê
|
$USystem " $USystem.Runtime.InteropServices 6 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò ) Uê E v ) ) = Q e y ¡ µ É ! Ý " ñ # $ % - & A ' U ( i ) } * + ¥ , ¹ - Í . á / õ 0 1 2 1 3 E 4 Y 5 m 6 7 8 © 9 ½ : Ñ ; å < ù = > ! ? 5 @ I A ] B q C
D E F Á G Õ H é I ý J K % L 9 M M N a O u P Q R ± S Å T Ù U í V W X ) Y = Z Q [ e \ y ] ^ ¡ _ µ ` É a Ý b ñ c d e - f A g U h i i } j k ¥ l ¹ m Í n á o õ p q r 1 s E t Y u m v w x © y ½ z Ñ { å | ù } ~ ! 5 I ] q
Á Õ é ý % 9 M a u ± Å Ù í
|
|
)
|
=
|
Q
|
e
|
y
|
|
¡
|
µ
|
É
|
¡ Ý
|
¢ ñ
|
£ ¤ ¥ - ¦ A § U ¨ i © } ª « ¥ ¬ ¹ Í ® á ¯ õ ° ± ² 1 ³ E ´ Y µ m ¶ · ¸ © ¹ ½ º Ñ » å ¼ ù ½ ¾ ! ¿ 5 À I Á ] Â q Ã
Ä Å Æ Á Ç Õ È é É ý Ê Ë % Ì 9 Í M Î a Ï u Ð Ñ Ò ± Ó Å Ô Ù Õ í Ö × Ø ) Ù = Ú Q Û e Ü y Ý Þ ¡ ß µ à É á Ý â ñ ã ä å - æ A ç U è i é } ê ë ¥ ì ¹ í Í î á ï õ ð ñ ò 1 ó E ô Y õ m ö ÷ ø © ù ½ ú Ñ û å ü ù ý þ ! ÿ 5 I ] q
Á Õ é ý
|
% 9 M a u ± Å Ù í ) = Q e y ¡ µ É ! Ý " ñ # $ % - & A ' U ( i ) } * + ¥ , ¹ - Í . á / õ 0 1 2 1 3 E 4 Y 5 m 6 7 8 © 9 ½ : Ñ ; å < ù = > ! ? 5 @ I A ] B q C
D E F Á G Õ H é I ý J K % L 9 M M N a O u P Q R ± S Å T Ù U í V W X ) Y = Z Q [ e \ y ] ^ ¡ _ µ ` É a Ý b ñ c d e - f A g U h i i } j k ¥ l ¹ m Í n á o õ p q r 1 s E t Y u m v w x © y ½ z Ñ { å | ù } ~ ! 5 I ] q
Á Õ é ý % 9 M a u ± Å Ù í ) = Q e y ¡ µ É ¡ Ý ¢ ñ £ ¤ ¥ - ¦ A § U ¨ i © } ª « ¥ ¬ ¹ Í ® á ¯ õ ° ± ² 1 ³ E ´ Y µ m ¶ · ¸ © ¹ ½ º Ñ » å ¼ ù ½ ! ¾ !! ¿ 5! À I! Á ]! Â q! Ã
! Ä ! Å ! Æ Á! Ç Õ! È é! É ý! Ê " Ë %" Ì 9" Í M" Î a" Ï u" Ð " Ñ " Ò ±" Ó Å" Ô Ù" Õ í" Ö # × # Ø )# Ù =# Ú Q# Û e# Ü y# Ý # Þ ¡# ß µ# à É# á Ý# â ñ# ã $ ä $ å -$ æ A$ ç U$ è i$ é }$ ê $ ë ¥$ ì ¹$ í Í$ î á$ ï õ$ ð % ñ % ò 1% ó E% ô Y% õ m% ö % ÷ % ø ©% ù ½% ú Ñ% û å% ü ù% ý & þ !& ÿ 5& I& ]& q&
& & & Á& Õ& é& ý&
|
' %' 9' M' a' u' ' ' ±' Å' Ù' í' ( ( )( =( Q( e( y( ( ¡( µ( É( ! Ý( " ñ( # ) $ ) % -) & A) ' U) ( i) ) }) * ) + ¥) , ¹) - Í) . á) / õ) 0 * 1 * 2 1* 3 E* 4 Y* 5 m* 6 * 7 * 8 ©* 9 ½* : Ñ* ; å* < ù* = + > !+ ? 5+ @ I+ A ]+ B q+ C
+ D + E + F Á+ G Õ+ H é+ I ý+ J , K %, L 9, M M, N a, O u, P , Q , R ±, S Å, T Ù, U í, V - W - X )- Y =- Z Q- [ e- \ y- ] - ^ ¡- _ µ- ` É- a Ý- b ñ- c . d . e -. f A. g U. h i. i }. j . k ¥. l ¹. m Í. n á. o õ. p / q / r 1/ s E/ t Y/ u m/ v / w / x ©/ y ½/ z Ñ/ { å/ | ù/ } 0 ~ !0 50 I0 ]0 q0
0 0
0 Á0 Õ0 é0 ý0 1 %1 91 M1 a1 u1 1 1 ±1 Å1 Ù1 í1 2 2 )2 =2 Q2 e2 y2 2 ¡2 µ2 É2 ¡ Ý2 ¢ ñ2 £ 3 ¤ 3 ¥ -3 ¦ A3 § U3 ¨ i3 © }3 ª 3 « ¥3 ¬ ¹3 Í3 ® á3 ¯ õ3 ° 4 ± 4 ² 14 ³ E4 ´ Y4 µ m4 ¶ 4 · 4 ¸ ©4 ¹ ½4 º Ñ4 » å4 ¼ ù4 ½ 5 ¾ !5 ¿ 55 À I5 Á ]5 Â q5 Ã
5 Ä 5 Å 5 Æ Á5 Ç Õ5 È é5 É ý5 Ê 6 Ë %6 Ì 96 Í M6 Î a6 Ï u6 Ð 6 Ñ 6 Ò ±6 Ó Å6 Ô Ù6 Õ í6 Ö 7 × 7 Ø )7 Ù =7 Ú Q7 Û e7 Ü y7 Ý 7 Þ ¡7 ß µ7 à É7 á Ý7 â ñ7 ã 8 ä 8 å -8 æ A8 ç U8 è i8 é }8 ê 8 ë ¥8 ì ¹8 í Í8 î á8 ï õ8 ð 9 ñ 9 ò 19 ó E9 ô Y9 õ m9 ö 9 ÷ 9 ø ©9 ù ½9 ú Ñ9 û å9 ü ù9 ý : þ !: ÿ 5: I: ]: q:
: : : Á: Õ: é: ý:
|
; %; 9; M; a; u; ; ; ±; Å; Ù; í; < < )< =< Q< e< y< < ¡< µ< É< ! Ý< " ñ< # = $ = % -= & A= ' U= ( i= ) }= * = + ¥= , ¹= - Í= . á= / õ= 0 > 1 > 2 1> 3 E> 4 Y> 5 m> 6 > 7 > 8 ©> 9 ½> : Ñ> ; å> < ù> = ? > !? ? 5? @ I? A ]? B q? C
? D ? E ? F Á? G Õ? H é? I ý? J @ K %@ L 9@ M M@ N a@ O u@ P @ Q @ R ±@ S Å@ T Ù@ U í@ V A W A X )A Y =A Z QA [ eA \ yA ] A ^ ¡A _ µA ` ÉA a ÝA b ñA c B d B e -B f AB g UB h iB i }B j B k ¥B l ¹B m ÍB n áB o õB p C q C r 1C s EC t YC u mC v C w C x ©C y ½C z ÑC { åC | ùC } D ~ !D 5D ID ]D qD
D D
D ÁD ÕD éD ýD E
|
t t t t p l t p d x l h | l l h | | | t ¬ x x ´ | l | ¤ p p ¬ t x t l l l | d d x l h l x d ` d | x p x x | p l p x x ¤ t l t p | h d h p p x l d | l h ¤ p | x h x p | x | t p p l | h h | x | p | p p | p t x h t h h | x t ¤ t ¨ t p | l x l t t | ¤ x t t x l p ¤ x l l t p l l p d h h x x t | x p t | x d ` p p l t p | x h x l t p \ | t h h d l ` \ ` x p p l l t x h h d d l d ` p h x x t x X h ` p p | l l p | x x | d h | t x x | x t t p x | x x l l h | l p h | | t p | ` t d h | ` t t l h x t t l | h x l d t | ` p | d t t | x t \ l l | t x l | l | | d t d t t l | l | p h l | d t d t x h ` ¤ | | | ¬ | ° ° ¨ ¤ ¬ ¤ t ¨ ¨ ¤ x p ¨ l l l t p | | ¤ ¤ ¬ ¸ ¤ | ¬ ¤ ¤ | t p h d d d l h t t | x ¤ ° x x t ¤ | | t l p t x t l | d h | l p x l d t \ x x x x t t h h l l ` ` x x t t h h l l ` ` | | t t | | t t ¤ | t | | t t p p d d t h h \ \ l | | x x ¬ ° ¬ x x ¤ ¨ ¤ | x p
|
ô ¨ üQ R > * è N ¿_ <statusUpdate>b__10_0 ° ¿_
|
$USystem $USystem.Globalization $USystem.Text $USystem.Threading 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ ¿_ S P ô ø ,R PR > * ( ç
get_ErrorDescription ä ç
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * ó
set_ErrorDescription . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ü
get_Flag : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * x set_Flag . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ì get_Energy : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * T set_Energy . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B * Ø & get_CurrentMeasurementMode : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B * P 2 set_CurrentMeasurementMode . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * Ð ; get_MeasurementCount : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 F * 1 L get_MeasurementAverageEnergy Ô P 1 L i energy > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : B * T 1 } get_MeasurementMaxEnergy 1 } i energy > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : B * 1 ® get_MeasurementMinEnergy X Ð 1 ® i energy > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : > * ß get_MeasurementsEnergy : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * ë set_MeasurementsEnergy . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * l § ô .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * P À statusUpdate p ô À ¨ ð , ) e V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬ $ ½ 2 * ¸
|
ò [ ReadEnergy T d
|
ò [ ,
|
Þ \ k energy k flag (
|
k energyData `
|
: k ex N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ;aõ*²s 6 * l 3 M SetPowerMode ¼
|
( 3 M . result > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Z 6 * 3 SetEnergyMode p Ü 3 . result > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 [ : * $ A ³ GetMeasurementMode $ Ø A ³ " l measurementMode l mode l modeNumber F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 u¬Ól B * ô ResetMeasurementsEnergy . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * L Q WriteRead Q m data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 S ò < ç
0 , -
|
. * ò < ó
0 1 2 3 + ò < ü
0 9 :
|
; ò < 0 > ? @ ò < 0 F G
|
H ò < 0 K L M ! ò < & 0 S T
|
U 0 ò < 2 0 X Y Z 1 ò < ; 0 ` a b 1 ò L 1 x h i k îïþ l m * n + p / q # 2 ; ò } 1 x w x z îïþ { | * } + / # 2 7 ò ® 1 x îïþ * + / # 2 7 ò < ß 0
|
, ò < ë 0 - ò À ô § ´ ¡ / ¢ < £ I ¤ V ¥ d ¦ p ¨ w ª ¬ ¦ ® /
|
* * = % @ ) ! $ 5 7 $
|
ò ¤ À ! ± îïþ ³ µ ¶ ¸ îïþ ¹ º " » ) ¼ , ¾ - ¿ b îïþe À f  i Ä j Å t îïþw Æ x Ç È É Ê Ë Ì Í Î ¤ Ï § Ð ¨ ² ¸ îïþ¿ Ñ
|
& & .
1 ! j $ R 3
|
ò ¼ [ ò # ° Ô Ö × Ù Û $ îïþ* Ü + Ý 3 Þ ? à I îïþM á N â V ä m îïþq å r æ y ç z é ë ¤ í ° î ³ ð ´ ñ ¼ ò ½ ó À õ Á ö É ÷ Ù ø Ú ú ß ü á ý â þ ï
|
# / ( ! 9 @ ) K 7 8 8 9 7 " !
|
ò M 3 x $ îïþ' ( , - 1
|
G
|
ò 3 x $ îïþ' ( , - 1
|
H
|
ò ä ³ A Ø " & îïþ ' ( * ' îïþ+ + , , 3 - 4 . 7 0 8 2 9 4 > 5
|
[ + 3 ? > % $
|
ò < ô 0 8 9 :
|
(
|
ò Q x = > @ $ îïþ' A ( B , E - F O H
|
@ A
|
ô ° hR R ¤R ÈR àR øR S (S @S \S tS S ¨S ÔS ìS T 0T TT lT T °T ØT ðT U 0U XU pU U °U ÄU ÜU øU V ,V DV `V xV V ¬V ÐV èV W (W @W . * h I d Home 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * Ð J d ReadStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 6 * < K d ReadPosition . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 6 * ¨ L d ReadVelocity . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 6 * M d MoveAbsolute . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 6 * N d MoveRelative . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I : * ð O d MovePositiveJog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I : * ` P d MoveNegativeJog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 2 * È Q d MoveStop . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 2 * 0 R d SetSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 2 * S d SetAccel . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 2 * T d ServoOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 2 * h U d ServoOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I 2 * Ð V ¢d ResetError . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 I ò 0 d $
|
|
ò 0 d $
|
|
ò 0 d $
|
|
ò 0 d $
|
|
ò 0 d $
|
|
ò 0 d $ !
|
|
ò 0 d $ $ &
|
|
ò 0 d $ ) +
|
|
ò 0 d $ . 0
|
|
ò 0 d $ 3 5
|
|
ò 0 d $ 8 :
|
|
ò 0 d $ = ?
|
|
ò 0 d $ B D
|
|
ò 0 ¢d $ G I
|
|
ô $ p XW lW W W ¸W ÔW ìW X X <X TX pX X ¨X ÀX àX øX Y (Y @Y XY pY Y Y ¸Y ÐY èY Z : * A ¥^ <.cctor>b__28_0 Ø ¥^
|
$USystem $USystem.Text $Ulog4net $Ulog4net.Appender $Ulog4net.Layout " $Ulog4net.Repository.Hierarchy 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ ¥^ l
ô
|
Z <Z . * ) R .ctor Ø ) R $USA_LTT.Info.RecipeInfo
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading.Tasks 6 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò l R ) ` ( )
|
$ ' +
|
ô ê TZ hZ F * à # ¡ 8 get_DegreePerSecondFromSpeed # 8 $USA_LTT.Base
|
$USystem $USystem.Threading > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * X ¢ ¾8 get_Position : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * Ä £ Ê8 set_Position . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 2 * 8 ¤ Ó8 get_Degree : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 2 * ¬ ¥ í8 get_Speed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 2 * ¦ ù8 set_Speed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ > * § 9 get_AccelerationValue : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ > * ¨ 9 set_AccelerationValue . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ > * © 9 get_DecelerationValue : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ > * ü ª #9 set_DecelerationValue . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ > * | « ,9 get_SteppingResolution : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ > * ð ¬ 89 set_SteppingResolution . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ : * l A9 get_MotorEnable : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ : * Ü ® M9 set_MotorEnable . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * T ¯ V9 get_MotorState : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * À ° b9 set_MotorState . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ . * $ ¢ ± k9 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * À ² : statusUpdate ( ¬ À : ` ¨ : ) e V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ ¬{ & · . * l ³ Í: Home . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ . * Ð ´ Û: Stop . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 *
|
# µ é: MoveAbsolute Ô D
|
# é: & position : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * ð
|
¶ ; MoveAbsolute . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * ¤ # · %; MoveRelative ô
|
d # %; & position : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * ¸ H; MoveRelative . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * | ¹ a; JogPositive . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 6 * è º o; JogNegative . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ B * l 4 » }; SetMicroSteppingResolution : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ J * 0 " ¼ ±; GetDegreefromSteppingResolution p ð " ±; * degree : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ F * ø ½ Ó; GetDegreePerSecondFromSpeed 4 ¸ Ó; " * degreePerSecond : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ F * ¸ 5 ¾ ó; GetSpeedFromDegreePerSecond ü x 5 ó; + speed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ : * 4 = ¿ (< SetAcceleration : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ | : * ° = À e< SetDeceleration : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ } 2 * $ = Á ¢< SetSpeed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ s 6 *  ß< SaveSetting . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 2 * ¨ u à í< ReadStatus \ u í< " , receivedData È X ^ ÿ< , status , position F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ 4I¸d 6 * 0 Ä b= ReadSettings ¬ H 0 b= ä c= " - receivedData ü þ x= - settings " - operatingMode & - motionCurrentValue & - idleCurrentValue & - stepDirCurrentvalue ä D y> - e R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ $ ;\´-×ï`' . * L < Å > Write ¤ < > . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ M 2 * ü s Æ Î> WriteRead P ¸ s Î> . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¡ M ò < 8 # 0 7 8 ! 9 T ò < ¾8 0 ? @
|
A " ò < Ê8 0 D E F # ò < Ó8 0 L M N T ò < í8 0 T U
|
V ò < ù8 0 Y Z [ ò < 9 0 a b
|
c + ò < 9 0 f g h , ò < 9 0 n o
|
p + ò < #9 0 s t u , ò < ,9 0 { |
|
} , ò < 89 0 - ò < A9 0
|
% ò < M9 0 & ò < V9 0
|
$ ò < b9 0 % ò À k9 ¢ ´ ¡ ¢ / £ < ¤ I ¥ V ¦ d § p © w « ~ ® ¡ ¯ /
|
+ ) = % @ ) ! D $ 7 $
|
ò ¤ : À ! ² îïþ ´ ¶ · ¹ îïþ º » " ¼ ) ½ , ¿ - À b îïþe Á f à i Å j Æ t îïþw Ç x È É Ê Ë Ì Í Î Ï ¤ Ð § Ñ ¨ ³ ¸ îïþ¿ Ò
|
& ( &
1 ! j $ R 3
|
ò < Í: 0 Õ Ö ×
|
|
ò < Û: 0 Ú Û Ü
|
|
ò H é: # < ß à â " ã
|
M $
|
ò < ; 0 æ ç è
|
$
|
ò H %; # < ë ì î " ï
|
M $
|
ò < H; 0 ò ó ô
|
$
|
ò < a; 0 ÷ ø ù
|
$
|
ò < o; 0 ü ý þ
|
%
|
ò }; 4
|
îïþ
|
2 3
|
K 7
|
ò H ±; " <
|
J
|
ò H Ó; <
|
b $
|
ò H ó; 5 < / 3
|
p
|
ò ´ (< = ¨ % &
|
îïþ ' ( ) * îïþ + ! , $ - % / < 0
|
# $ ' " (
|
ò ´ e< = ¨ 7 8
|
îïþ 9 : ; < îïþ = ! > $ ? % A < B
|
$ $ ' " (
|
ò ´ ¢< = ¨ E F
|
îïþ G H I J îïþ K ! L $ M % O < P
|
!
|
ò < ß< 0 S T U
|
|
ò í< u ü X [ îïþ \ ] % _ - îïþ1 _ 3 a Q c ] îïþa d b f e h f j g k o l r n s p t q
|
2 ; ' ( / Z : *
|
ò ¤ b= 0 ! t v y îïþ z { ) } 2 îïþ6 } ; O m | ¤
® ¸ Ç îïþË Ì Õ Ø Ù ÷ ø ¡ , ¢ / £
|
7 A . / 6 L ` @ @ 4 E C F , R E N
|
ò > < x ¦ § © - îïþ0 ª 1 « 5 ® 6 ¯ : ±
|
: 8
|
ò Î> s ´ µ · - îïþ0 ¸ 1 ¹ a º e ½ f ¾ m ¿ q Á
|
: 8 a -
|
ô 0 Z ¬Z ÄZ àZ øZ [ ,[ H[ `[ x[ [ ¨[ À[ ä[ ü[ \ 8\ \\ t\ \ °\ Ø\ ð\ ] 0] P] h] ] ] À] Ø] ø] ^ $^ <^ X^ p^ ^ ^ °^ È^ ä^ ü^ _ 0_ L_ d_ _ _ ´_ Ì_ è_ ` ,` D` t` ` ¸` Ð` ü` a 4a La la a a ´a Ða èa b b 8b Pb db |b b B * ¬
|
= ^ <UpdateTowerLamp>b__85_0 t
|
^ $USA_LTT.Alarm $USA_LTT.Info.FoupInfo $USA_LTT.Info.RecipeInfo $USA_LTT.Info.WaferInfo $USA_LTT.Module $USA_LTT.Parameter $USA_LTT.UserInfo
|
$USystem $USystem.Threading * $TSA_LTT.Info.WaferInfo.WaferInfoManager $TSA_LTT.Sequence 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 F * (
|
> ^ <UpdateEquipmentStatus>b__88_0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = ò $ ^
|
# E ` ò $ ^
|
³ : U ô î
|
¬b Ôb ìb c . * 8 I 0 XV .ctor I XV
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.IO $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks $USystem.Windows.Forms 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ø Ó 5 ¡V ReadAlarmFile < L Ó ¡V Ù path " Ù fileAlarmData Ù fileAlarms t X ] W Ù code ì T O W Ù alarm t À S W Ù fs \ ¼ / ¡W
|
Ù sr t Ø
|
X Ù line Ä Ô ù X Ù alarm Ù items Ù code Ù description Ù level Ù use Ù time t H u bY Ù code Ü D O Y Ù alarm ¦ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 d ¬
sL°° £& &&mB`¦ÅÊÞ*µðæD (4 6 * < 6 tZ WriteAlarmFile ü ì tZ Ú path Ú sb 4 ´ q ¾Z Ú alarm 4 è `[ Ú e J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 SDD ± . * x Ä 7 y[ Occur @ Ä y[ " Û CS$<>8__locals0 p ¨[ Û alarm ¬ j Ñ[ Û copiedAlarm R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 oÏ / . * Ü 8 =\ Clear . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 . * H Ø 9 ]\ Save à ð Ø ]\ Ü dt Ü ts ì q\ Ü alarm X è V \ Ü oldAlarm " Ü differenceInfo R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 $
#99yÈ9opT 2 * l
|
\ : 5^ GetAlarms L $
|
\ 5^ Ý list
|
P^ Ý alarm ´
|
X^ Ý data B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 -ggµ ò XV I x ! ( ) 5 A H 0 [ ?
|
$
|
ò L ¡V Ó o @ ( ) , îïþ# - $ . / / 0 2 ; îïþB 3 C 4 O 6 P 6 f îïþh 6 v 7 w 8 ~ 9 : ; < § = ´ ? Ä @ Å 6 Ð îïþæ B í C î E ô H ÿ I J K L M N " îïþ/ P 7 Q : îïþG S ] V ^ V d îïþi V p W q X x Z \ îïþ ] ^ g ¯ îïþ³ h ´ i ¹ l ¿ n Ï îïþÓ o Ô p × q Ø s è îïþì t í u ð v ñ x îïþ y z { } ~ " , 6 @ R îïþV W
g h i îïþo V z îïþ§ ¨ © ¿ îïþÁ Ï Ð â îïþæ ç î ø $ 4 5 6 A îïþW Ê Ë ¡ Ò ¢
|
@ F F , ! , M ( / ' 4 & 0 7 . ) + " 1 p P 4 w " , + 2 & @ ( A . A D ) # 1 % ! + 7 . ! K , M ( < 3 + 4 8 * ; 2 ) + ^
|
ò P tZ D ¨ © « îïþ# ¬ $ / ® 0 ° 6 ² 7 ² H îïþJ ² S ³ T ´ º µ » ² Æ îïþÕ îïþÖ ¸ × ¹ é º ì » î ¼ ï ½ ¾ ¿
|
@ F F 4 % 3 ! " $ J N
|
ò ä y[ Ä Ø îïþ Â Ã ) îïþ/ Ä 0 Å B Ç N É U îïþX Ê Y Ë a Ì o Í Î Á Ï Â Ð Ã Ñ
|
E - 3 ' 7 5 3
|
ò H =\ < Ô Õ × Ø
|
$
|
ò ¤ ]\ Ø ! Û Ü Ý Ý îïþ Ý Þ ß 6 îïþ= à > á Q å X ç l îïþp è ê « ì ¿ îïþÃ í ï ï ñ ! îïþ% ò Q ô o ÷ ø ú ¦ û § Ý µ îïþÄ ý Ð ÿ ×
|
( % + ! 1 : : B ] C 7 Q = 3 L : l - " $ -
|
ò À 5^ \ ´ îïþ # $ + 9
|
: E îïþT Y
|
T % 3 ! , + " $
|
ô 8 4c Hc `c |c c ´c Ìc àc øc d $d 8d Pd hd > * t T Õ_ <statusUpdate>b__16_0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Q ò $ Õ_ ` P ~ ô l d ¤d 6 * à ·O get_Recipes ·O $USA_LTT.Base $USystem.Collections.Generic $USystem.IO B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * L ÃO set_Recipes . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * ° 8 ÌO .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ð à P RefreshRecipes ´ à P " É directoryInfo ì w BP É fileInfo ( r GP É recipe N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 tí ííS}Õ 6 * h q ÇP SaveOrCreate : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 p . * Ø ? 8Q Delete : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 i 6 * P wQ ExistsRecipe : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * Ä ( Q GetRecipe : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ´ W
|
¼Q GetRecipeList È p W ¼Q Ë recipeList l ×Q Ë recipe > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 MM ò < ·O 0
|
! ò < ÃO 0 " ò x ÌO 8 l
|
! ( ) 0 7 - 0 X 2
|
$
|
ò t P Ã h # $ & ! îïþ$ ' % ( , ) - + . + < îïþ> + C , D - K / \ îïþ` 0 a 1 u îïþy 2 z 3 4 6 7 ² 8 ³ 9 ´ : µ îïþ¹ + Â ;
|
a / ( + J ' . @ : ? B ( *
|
ò ÇP q > ? % A 7 îïþ: B ; C S D V F W G o H p I
|
] 2 7 :
|
ò x 8Q ? l L M O , îïþ/ P 0 Q = R > S
|
V 1 ,
|
ò x wQ l V W îïþ X Y \ ] _
|
1
|
ò x Q ( l b c îïþ d e ! h " i & k
|
* 4
|
ò ´ ¼Q W ¨ n o q q îïþ q # r $ s 1 t 2 q = îïþL v U w
|
: ' 5 # 0 $ & )
|
ô > H ¼d Ød ðd e $e 8e Pe pe e ¤e ¼e Ôe ìe f f 8f Pf lf 6 * < g/ get_IsStatus 6 * x n/ set_IsStatus 2 * ° v/ get_IsFlip 2 * è }/ set_IsFlip 6 * $
/ get_CarrierID 6 * ` / set_CarrierID 2 * / get_LotID 2 * Ð / set_LotID 6 * £/ get_RecipeName 6 * H ª/ set_RecipeName : * ²/ get_SourceNumber : * È ¹/ set_SourceNumber . * = Á/ .ctor Ì T = Á/ $USA_LTT.Base * $TSA_LTT.Info.WaferInfo.WaferInfoManager 6 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * 8 [ þ/ Clone ø [ þ/ µ info : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ g/ ' + ò $ n/ , 0 ò $ v/ " ò $ }/ # ' ò $
/ # ' ò $ / ( , ò $ / # ò $ / $ ( ò $ £/ $ ( ò $ ª/ ) - ò $ ²/ " , 0 ò $ ¹/ " 1 5 ò x Á/ = l $ % & ' ) $ * 0 , < -
|
* " & '
|
ò þ/ [
|
0 1 3 4 ! 5 . 6 ; 7 H 8 U : Y ;
|
. + ' - % / 3
|
ô H p f f ¸f Ôf ìf g g <g Tg pg g ¤g ¼g Ôg ìg h h <h Th th h ¬h Äh äh üh i (i <i 2 * t ´h get_Memory : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * Ü Àh set_Memory . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * P Éh get_SdCard : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * ¸ Õh set_SdCard . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * 8
Þh get_BoardCommunication : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * ¬ êh set_BoardCommunication . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * $ óh get_BoardState : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ÿh set_BoardState . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < ´h 0 H I
|
J $ ò < Àh 0 M N O % ò < Éh 0 U V
|
W $ ò < Õh 0 Z [ \ % ò < Þh 0 b c
|
d 0 ò < êh 0 g h i 1 ò < óh 0 o p
|
q ( ò < ÿh 0 t u v ) ô Ø @ Ti pi i ¤i ¼i Øi ði j $j Lj dj j ¤j Äj Üj üj 2 * x h ù1 get_Name > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * à i 2 set_Name . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 h 6 * X j 2 get_Password : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 h 6 * Ä k 2 set_Password . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 h 2 * 8 l #2 get_Level : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 h 2 * m /2 set_Level . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 h . * ) n 82 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 h . * ¬ 4 o a2 Clone l 4 a2 user : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 h ò < ù1 0
|
ò < 2 0 ò < 2 0 !
|
" " ò < 2 0 % & ' # ò < #2 0 - .
|
/ ò < /2 0 2 3 4 ò ` 82 ) T 7 8 9 : ; ( <
|
! % (
|
ò l a2 4 ` ? @ B C ! D . F 2 G
|
$ # + %
|
ô ü @ k ,k Dk \k tk k ¨k Äk Ük ôk l $l <l Pl hl |l . * Ø ù AM .ctor ù AM $UEasyModbus
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Threading 4 Ô ÉM 6 input 4 N 6 output 4 D ' lN 6 inputs 4 | ' ÊN 6 output R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 << àà(( 6 * È " :O statusUpdate Ü ` " :O \ +P 7 e b É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 $ ¬ëp2=
4M t 2 * & \P Connect Ì L & \P H iP 8 e > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * Ü P ReadDigitalInputs P Ð T M P 9 readValue è P & ¸P 9 i Ð ãP 9 e J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 sòéØ : * ( Q ReadDigitalOutputs à Ø Q M Q 9 readValue 4 & AQ 9 i Ô lQ 9 e J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 sôëÜ : * Ñ Q ReadAnalogInputs , D Ñ Q h ¨Q " : serverResponse : i 6 áQ : input h @ =R : e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 rå 8 : * Ñ eR ReadAnalogOutputs ´ Ñ eR Ø | yR " ; serverResponse ; i ð x 6 ²R ; output Ø ° S ; e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 rç > 6 * ? 6S WriteOutput > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ 6 *
|
X
|
uS WriteAnalog > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ ò AM ù 4 | % 0 ; F Q \ c d p q îïþ £ ¤ ® îïþÀ ¢ Á ¢ Ö îïþØ ¢ å £ æ ¤ õ ¥ ö ¢ îïþ § § ) îïþ+ § 9 ¨ : © Q ª R § ] îïþp ¬ q ¬ îïþ ¬ ® ¯ ¯ ° ¬ » îïþÎ ± Õ ³ ì ´ ø µ 8 9 7 8 d g e h ( +
|
) , P ( 1 ) + . S * 3 + - , O ( - ) + - Q ) . * , $ 7 $
|
ò | :O " 3 p ¸ îïþ º ¼ ½ ¿ îïþ À Á % îïþ( Â ) Ã 0 Ä 5 Æ ? îïþB Ç C È J É O Ë Y îïþ\ Ì ] Í d Î i Ð t îïþx Ñ y Ò Ó
Õ × Ø ¿ îïþÃ Ù Ä Û Ç Ý È Þ Ó îïþ× ß Ø à ë á ì â í ã î ä ñ å ó æ ô ç è é
|
¹ îïþ! ê
|
& # 9 * & : * & 9 * & : * & 4 ! f $ R 3
|
ò \P & x í ï ð ñ ó ô õ ö $ ø
|
N
|
ò P ü û ü ý ÿ 6 8 îïþ: ; K L P X îïþ\ a c
|
d v { îïþ
|
z # G ; > % 9 ! $ R "
|
ò Q ü 6 8 îïþ: ; K L P X îïþ\ a c ! d " v # { îïþ &
|
| # I ; > % 9 ! $ R "
|
ò , Q Ñ ) * + - . 2 0 4 1 5 1 K îïþM 1 [ 2 \ 3 ~ 4 5 1 îïþ¤ 7 © 9 « : ¬ ; ¾ < Ã îïþÎ ?
|
r 3 V / Y 0 2 ! $ R "
|
ò , eR Ñ B C D F G 2 I 4 J 5 J K îïþM J [ K \ L ~ M N J îïþ¤ P © R « S ¬ T ¾ U Ã îïþÎ X
|
t 5 Y 1 Z 2 4 ! $ R "
|
ò 6S ? [ \ ] ^ îïþ _ ` / a 0 b 3 îïþ> d
|
]
|
ò uS X g h i j îïþ k l H m I n L îïþW o
|
~
|
ô > H l ¨l Àl Ül ôl m $m Dm \m m m ¸m Ðm ðm n $n <n Xn 6 * x s !h get_PowerOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ä t -h set_PowerOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * ` u 6h get_ShutterEnabled : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * Ð v Bh set_ShutterEnabled . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * H w Kh get_KeySwitch : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * ´ x Wh set_KeySwitch . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * ( y `h get_LddOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * z lh set_LddOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * { uh get_QswOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * l | h set_QswOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * ì } h get_ShutterInterlock : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W > * ` ~ h set_ShutterInterlock . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * Ü h get_LddInterlock : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * L «h set_LddInterlock . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < !h 0 Ì Í
|
Î % ò < -h 0 Ñ Ò Ó & ò < 6h 0 Ü Ý
|
Þ , ò < Bh 0 á â ã - ò < Kh 0 ì í
|
î ' ò < Wh 0 ñ ò ó ( ò < `h 0 ü ý
|
þ # ò < lh 0 $ ò < uh 0
|
# ò < h 0 $ ò < h 0
|
. ò < h 0 ! " # / ò < h 0 , -
|
. * ò < «h 0 1 2 3 + ô Ø p pn n ¤n Àn Øn ün o 8o Po lo o o ¸o Ðo èo p p 0p Hp `p xp p ´p Øp ðp q (q Hq 2 * \ ê7 Refresh ê7 $USA_LTT.Base $USystem.IO $USystem.Reflection " % directoryInfo % fileInfo 8 ( T8 % parameter J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 wQ' . * À }8 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò ê7 ! îïþ$ % , - D N îïþQ R Y g j k r ! # % & '
|
d / ( R * # 3 ? 9 ! %
|
ò 0 }8 $
|
9 3 ô r `q xq q ¤q 2 * t i get_Ldd1 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * Ü i set_Ldd1 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * P i get_Ldd2 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * ¸ )i set_Ldd2 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * , 2i get_Qsw : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * >i set_Qsw . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * Gi get_Flow : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * p Si set_Flow . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * ä \i get_Wet : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * L hi set_Wet . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * Ä qi get_Humidity : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * 0 }i set_Humidity . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * ¤ i get_HfSync : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 2 * i set_HfSync . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < i 0
|
" ò < i 0 # ò < i 0
|
" ò < )i 0 # ò < 2i 0 ¢ £
|
¤ ! ò < >i 0 § ¨ © " ò < Gi 0 ¯ °
|
± " ò < Si 0 ´ µ ¶ # ò < \i 0 ¼ ½
|
¾ ! ò < hi 0 Á Â Ã " ò < qi 0 É Ê
|
Ë & ò < }i 0 Î Ï Ð ' ò < i 0 Ö ×
|
Ø $ ò < i 0 Û Ü Ý % ô Ø p ¼q Ôq ìq r r 4r Lr dr |r r ¬r Är Ür ôr s $s <s Ts ls s s ¸s Ðs ìs t t 8t Tt 2 * D ±5 Refresh ô ±5 $USA_LTT.Base $USystem.IO " # directoryInfo # fileInfo 8 ð ( 6 # parameter J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ùwE . * ¨ D6 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò ±5 ! îïþ$ % , - D N îïþQ R Y g j k r " $ % &
|
d / ( R * # 3 I 9 ! %
|
ò 0 D6 $ > 3 ô 2 lt t t °t 6 * 8 W À get_PmcStep ô À $USA_LTT.Info.RecipeInfo $USA_LTT.Module
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading.Tasks > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ¤ X Ì set_PmcStep . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * Y Õ get_TmcStep : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * Z á set_TmcStep . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W B * [ ê get_ProcessTactTimeSeconds : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W B * \ û get_IsTmcStepPauseEnable : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W B * ] get_IsPmcStepPauseEnable : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W . * x b / .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * c D TmcSequence Ö É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ¨ ÉÛ$ðpÙD btÜ98u Æ¡ £#¤¥Ò¦,§¿¨©á«"«|¬â®=®°²6³s´Âµ ··i¸£º ºy¼¼T½V 6 * ` ´ d Ü$ PmcSequence x ´ Ü$ È ¼ I( recipeName È |) " middlePosition @ Ø) coord Á J* i R* coordMark coordJump È ¸ ÿ Ó+ CenterDataY CenterDataX ! processTime " check È , w é- * % isMotorXProcessPosition * & isMotorYProcessPosition È t H </ * * isMotorXProcessPosition â É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ´ í5QeLÚMìõ¬úYY 4 ¼¡ +£¥ã¦d¨©©®ªÅ°°÷±
²²ê··í¸vº&ºÌ½]¾¤¿À AÀ BÃÀ DÀ DýÀ G 6 * Ø - e 1 ProcessStart : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W : * T
|
# f ½1 ManualProcessStart : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W 6 * Ì
|
g à1 ProcessStop : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < À 0 £ ¤
|
¥ ! ò < Ì 0 ¨ © ª " ò < Õ 0 ° ±
|
² ! ò < á 0 µ ¶ · " ò < ê 0 ¾ ¿ À . ò < û 0 Æ Ç È I ò < 0 Î Ï Ð I ò P / D
! ( / 6 = Ù D Ú E Û L Ý W Þ b à o á | â ã ä ¥ å ³ æ Á ç Ï é Ü ê ê ë ø ì í î C G G 3 6 3 6 -
|
$ : : B B N J A M I B I E A K H
|
ò ° D b ¤ ñ ò îïþ ó ô 6 õ B ö N ÷ O ù V îïþÙ ü Ú ý ß à îïþ F îïþJ K ` îïþd e v y
|
z § ª « ´ µ ¸ ¹ Â Ã È É æ îïþê ë ! ó " ô # ù & ú ' îïþ ( ) # îïþ' * ( + 0 , 3 . 4 / < 0 = 1 > 2 C 5 D îïþI 7 J 8 f îïþj 9 k : { îïþ ; < ¢ îïþ¦ = § > © @ ¬ B C Ð îïþÔ D Õ E × G Ø H Ù I Ú 6 è 6 ô îïþû K îïþ L M N " O % Q & R 2 îïþ6 S 7 T C U K V N X O Y W Z _ [ ` \ a ] f ` g a w îïþ{ b | c îïþ d e ¤ f ¥ g ¨ i © j Ä îïþÈ k É l Ñ m Ò n Ó p Ø s Ù t ë îïþï u ð v îïþ w x y z { ~ + îïþ/ 0 8 9 > ? Q îïþU V k îïþo p y z { îïþ £ ¤ © ª Ä Í Ò Ó ¡ å îïþé ¢ ê £ ó ¤ ô ¥ ù ¨ ú © îïþ ª « ¬ " ° # ± 5 îïþ9 ² : ³ L îïþP ´ Q µ Z ¶ ] ¸ ^ ¹ g º h » i ¼ n ¿ o À ¨ îïþ¬ Á Â ¶ Ã · Ä ¼ Ç ½ È Ñ îïþÕ É Ö Ê ß Ë à Ì å Ï æ Ð ø îïþü Ñ ý Ò îïþ Ó Ô Õ ' Ö ( × ) Ø . Û / Ü 7 îïþ; Ý < Þ u îïþy ß z à á â ã ä ç è ¦ îïþª é « ê ´ ë µ ì º ï » ð Í îïþÑ ñ Ò ò ä îïþè ó é ô ò õ ó ö ô ÷ ù ú ú û îïþ ü ý þ ÿ " # 5 îïþ9 : O îïþS T ] ^ _
|
d e y îïþ} ~ ¨ ± ¶ · É îïþÍ Î × Ø " Ý % Þ & ò îïþö ' ÷ ( ) * - . îïþ / 0 0 îïþ4 1 5 2 > 3 A 5 B 6 K 7 L 8 M 9 R < S = c îïþg > h ? îïþ @ A B C E F ± îïþµ G ¶ H ¿ I À J Á K Æ N Ç O Ù îïþÝ P Þ Q ó îïþ÷ R ø S T U V W Z [ # îïþ' \ ( ] = îïþA ^ B _ S ` T b i îïþm c n d e g h j k l n q
|
( V ' - ¨ ! c ! " % H ! " ! " % H ! " ! 4 ! W ! D ! 8 4 Q A : : ! D ! E \ ! A ! " % Ë % & ) / ! " ! " % Ë % & ) / ! " 5 E 3 1 T 4 6 ! X ! @ ! @ ! @ 9 a ! E a ! E : ? ! L M M : H ! L N < : < ? D I I : ? ! G ! D ; K @ : H ! 9 ! @ 4 ! 8 ! ? K @ : ? ! K M L : H ! K N ; : ; ? C I H : ? ! @ ! C 9 a ! E a ! E : H ! 2 ! E 2 b ! ^ b ! ^ < 5
|
ò Ü$ ´ j t u îïþ v w 6 x B y N z O | V îïþá â ç è ï
÷ ü ý îïþ ! 3 îïþ7 8 J îïþN O W Z [ c d e j k ¡ } îïþ ¢ £ ¤ ¦ § ¨ ª ¥ ¦ ® ¸ îïþ¼ ¯ ½ ° Å ± È ³ É ´ Ú µ Û · à º á » é îïþí ¼ î ½ îïþ! ¾ " ¿ ) À 1 Á 2 Â 3 Ã 8 Æ 9 Ç K îïþO È P É X Ê [ Ì \ Í m Î n Ï s Ò t Ó îïþ Ô Õ Ö Ø Ù © Ú ª Û ¯ Þ ° ß Â îïþÆ à Ç á Ð â Ó ä Ô å å æ æ ç ë ê ì ë õ ì ú ï û ð îïþ ñ ò ó ô ! ÷ " ø 4 îïþ8 ù 9 ú K îïþO û P ü Y ý \ ÿ ] f g h m n îïþ
|
¸ Ò ç îïþë ì ó ÿ # $ ) * ! F " R # r % îïþ & ' ( * + , - 0 ¡ 1 ² 3 Õ 5 â îïþæ 6 ç 7 è 7 ú îïþü 7 8 9 ; : < 7 G îïþV ; \ = ] > n @ q îïþv A w B C ¡ E Ö F G @ @ ( îïþ/ I 0 K 9 L > O ? P ^ îïþb Q c R l S o U p V W X Y \ ] ± îïþµ ^ ¶ _ Õ îïþÙ ` Ú a ã b æ d ç e ð f ñ g ò h ÷ k ø l m o 9 q r îïþ s t É u ó v w # y $ z N { x | ¢ } £ ¦ Ç è ñ ö ÷ îïþ ) D K îïþO P Y \ t îïþx y ¾ Ï ö
|
¢ ;
|
¤ D
|
¥ I
|
¨ J
|
© \
|
îïþ`
|
ª a
|
« |
|
|
îïþ
|
®
|
¯ ¦
|
° §
|
± ¨
|
²
|
µ ®
|
¶ ¼
|
¸ Ö
|
îïþÚ
|
¹ Û
|
º ç
|
¼ ò
|
îïþö
|
½ ÷
|
¾ ¿ Á Â Ã Ä Æ Ç È Ê ! Í " Î 4 îïþ8 Ï 9 Ð B Ñ C Ò H Õ I Ö [ îïþ_ × ` Ø r îïþv Ù w Ú Û Ý Þ ß à á ä å § îïþ« æ ¬ ç µ è ¸ ê ¹ ë Ê ì Ë í Ð ð Ñ ñ æ îïþê ò ë ó ô ô ÷ ö ø ÷ ø
|
ù ü ý ( îïþ, þ - ÿ ? îïþC D K T W X i j k m n îïþ
© ± ³
|
' V ' - 0 C B H < B ! C ! K ; < ; < = < 5 ! : ! C @ > @ > @ > ; 8 < ? D D = E ! B ! G O ] T J ! 1 ! 9 ! G ! 8 4 S 6 _ 9 ? ; < k 1 $ E \ & A ! B D ? " + ! ] ! b ! ! P V - N : [ I ] @ a _ ! M ! B l » 2 y u w w + F = T ! A " D ! M 9 > = = A ; = _ ! ? ' Q 2 9 ! 8 ! J C C G = C ! B ! J ; ? ; I ; A : @ ! 7 ! 8 ! @ 6 7 H 1
|
ò 1 - x îïþ " & " ' # + %
|
F 9
|
ò ½1 # x ( ) îïþ * + , / 0 ! 2
|
* @
|
ò T à1 H 5 6
|
7 8 9
|
$ $
|
ô P
|
h Èt ät üt u 0u Lu du u u Äu Üu v v Dv \v pv v ¤v ¼v Øv ðv w $w Hw `w |w 6 * ° get_Seconds l $USystem.Diagnostics > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * $ get_Minute : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * 2 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * ø " F Start : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ` h ReStart . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * Ð v Stop : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * 4 Reset . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò < 0 8 ò < 0 8 ò H 2 < !
|
*
|
ò l F " ` & ' îïþ ( ) * ! +
|
/ $
|
ò < h 0 . / 0
|
"
|
ò l v ` 3 4 îïþ 5 6 7 8
|
. #
|
ò < 0 ; < =
|
|
ô 0 8 w °w Èw äw üw x (x <x Tx lx x x °x Äx B * ð X ¤d get_CurrentPiLaserStatus ¬ ¤d
|
$USystem $USystem.Collections $Ulog4net $USystem.Threading > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B * h Y °d set_CurrentPiLaserStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X . * Ì ¾ Z ¹d .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * Ü ¯ [ we statusUpdate Ð ¯ we T ¿e K value õe K e J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ¬èN¦d : * % \ &f WriteEnableShutter à T % &f L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < : * ] Kf WriteSystemReset : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * Ì & ^ Zf WriteEnableLdd & Zf L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < : * ´ _ f WriteSetCurrent Ð h f " M ushortAmpere M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ·þR> : * ` g WriteMaxCurrent ¸ P g " M ushortAmpere M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ·þR> 2 * d a g WritePrf @ d g N bytesData 2 N bytesPulseRepetitionFrequency F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ÁínM 6 * D ) b èg WritePrfSource ) èg L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < : * ) c h WriteGateSource H ¼ ) h L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < 6 * ¸ ) d :h WritePecSource t ) :h L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < 6 * p
|
& e ch WriteFpkEnable ¼ ,
|
& ch L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < : * X l f h WriteFpkRampTime t
|
l h " M ushortRampTime M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Ê]c : * @ l g õh WriteFpkRampRate \ ô l õh " M ushortRampRate M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Ì_Y 6 * ø & h ai WriteLpkEnable D ´ & ai L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ? : * à i i WriteLpkRampTime ü i " M ushortRampTime M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ÅXR : * È l j j WriteLpkRampRate ä | l j " M ushortRampRate M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Ì_Y B * ¼ k uj WriteTemperatureSetPoint Ì p uj & M ushortTemperature M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Ô%[j : * x & l ÷j WriteDutyControl À 4 & ÷j L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < > * m k WriteDutyControlWidth | H k & O intDutyControlWidth O bytesData * O bytesDutyControlWidth J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ùNzf¶Í 6 * n ºk WritePecLevel @ ºk 2 M ushortPulseEnergyControlLevel M bytesData F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X sÉÔ : * H & o <l WriteBurstStatus & <l L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < : * I p bl WriteBurstCount L À I bl P bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X
Nà 6 * Ä I q «l WriteBurstRate | I «l P bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ¨7så : * I r ôl WriteBurstCycles È < I ôl P bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X PÈ > * D ) s =m WriteBurstFiringMode ) =m L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < B * ) t fm WriteBurstTriggerSource H Ä ) fm L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < > * È ) u m WriteDutyControlMode ) m L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X < : * 0 v ¸m ReadEnableShutter Ì @ 0 ¸m L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X T 6 * < . w èm ReadSoftFaults ø . èm L bytesdata > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X U : * ø . x n ReadBoardFaults @ ´ . n L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X V 2 * ¬ j y Dn ReadStatus ü h j Dn L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Q 6 * d 1 z ®n ReadEnableLdd ° 1 ®n L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X P 6 * I { ßn ReadSetCurrent h Ø I ßn Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Q× : * à I | (o ReadActualCurrent $ I (o Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X XÞ : * I } qo ReadDiodeVoltage ä X I qo Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X WÝ 6 * \ I ~ ºo ReadMaxCurrent ¤ I ºo Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Q× 6 * I p ReadLddHours ` Ð I p Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X OÕ 2 * a Lp ReadPrf Ø a Lp R bytesData P Ô G dp 2 R bytesPulseRepetitionFrequency B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X JÔ 6 * Ø 5 p ReadPRFSource $ 5 p L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X P 6 * ! 5 âp ReadGateSource Ü L! 5 âp L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Q 6 * H" 5 q ReadPecSource ! " 5 q L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X P 6 * # 1 Lq ReadFPKEnable L" ¼" 1 Lq L data_bytes > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Q : * À# E
}q ReadFpkRampTime # x# E }q Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X RØ : * $ E Âq ReadFpkRampRate Ä# 8$ E Âq Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X RØ 6 * 8% 1 r ReadLpkEnable $ ô$ 1 r L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X P : * ø% E 8r ReadLpkRampTime <% °% E 8r Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X RØ : * ¸& E }r ReadLpkRampRate ü% p& E }r Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X RØ B * ' Âr ReadTemperatureSetPoint ¼& 8' Âr S bytesData J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X røFø« > * T( as ReadActualTemperature ' ( as S bytesData J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X pöT¶ : * ) 1 t ReadDutyControl X( Ì( 1 t L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X R > * * h 1t ReadDutyControlWidth ) Ô) h 1t R bytesData T) Ð) N It * R bytesDutyControlWidth B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Wáø 6 * Ø* [ t ReadPecLevel * * [ t P bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X OÕ# : * + 1 ôt ReadBurstStatus Ü* P+ 1 ôt L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X R 6 * P, B %u ReadBurstCount + , B %u Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Q× 6 * - B gu ReadBurstRate T, Ä, B gu Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X PÖ : * Ì- B ©u ReadBurstCycles - - B ©u Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X RØ > * . 5 ëu ReadBurstFiringMode Ð- H. 5 ëu L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X V > * L/ 5 v ReadBurstTriggerSource . / 5 v L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Y > * 0 5 Uv ReadDutyControlMode P/ È/ 5 Uv L bytesData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X V B * Ô0 I v ReadPowerMonitorReading 0 0 I v Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X Zà : * 1 I Óv ReadFlowReading Ø0 L1 I Óv Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X RØ > * X2 B w ReadHumidityReading 1 2 B w Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X VÜ : * 3 ^w ReadNetworkAddress \2 Ð2 ^w Q bytesData B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X UÛ 6 * P4 i nx AddChecksum 3 4 i nx " T bytesChecksum T checksum T sum T3 ü3 x T value J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X «Ã Ãà 6 * à5 ×x AddChecksum T4 5 ×x U strChecksum U byteLength U bytes " U checksum_bytes 4 T5 . îx U i 4 5 4 $y U i N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X FwC¬¤w 6 * ´6 K `y CheckCommand ä5 l6 K `y 6 h6 ky V value B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X O 6 * ì7 z «y CheckChecksum ¸6 7 z «y W dataSum W checksumSum " W bytesChecksum ð6 7 # ëy W i J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 2V:ÕÍJ 2 * $: ÿ %z ReadData ð7 ¬9 ÿ %z $8 t9 Nz " X strReceivedData X sendData & X bytesReceivedData * X bytesReceivedFormatData X bytesData <8 <9 3 3{ X i <8 p9 ' ±{ X i $8 ¨9 Ý{ X e r É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X D ààÅÁÎ? æ
.%!ZQN 2 * ; ¬ $| WriteData (: ; ¬ $| \: ä: < M| Y write_data t: à: # 6} Y data \: ; } Y e b É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 4 áá@ «ò"
2
2
2U 6 * < Ð} PiLaserReads R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 < P i L a s e r R e a d s > d _ _ 8 3 ò < ¤d 0
|
. ò < °d 0 / ò Ø ¹d ¾ Ì ' ( 9 J W d ¡ q ¢ } ¤ ¦ § © ± ª ½ « G + ,
|
+ * = % @ $ ( 9 7 $
|
ò È we ¯ $ ¼ ° îïþ ² ´ µ · îïþ ¸ ¹ 5 îïþ8 º 9 » E ¼ H ¾ I ¿ Z Á _ îïþb  c Ä d Å e Æ h È i Ê t îïþx Ë y Í z Î { Ï ~ Ð Ñ Ò Ó Ô ± § îïþ® Õ
|
& ^ C M 0 % $ R 3
|
ò x &f % l Þ ß á
|
îïþ â ä æ # ç
|
) % % E
|
ò < Kf 0 î ï ð
|
8
|
ò x Zf & l ø ù û
|
îïþ ü þ $
|
) % % A
|
ò Ì f À
|
îïþ + 8 îïþ; F X _ f îïþj q
|
# ! 0 ! " - D A - . G B
|
ò Ì g À ! îïþ ! + " 8 îïþ; " F $ X & _ ( f îïþj ( q * +
|
# ! 0 ! " - D A - . G B
|
ò ä g d Ø 2 3
|
îïþ 3 4 îïþ 4 ! 6 ( 8 / : 6 îïþ: : A < G = M > S @ a A
|
4 5 X 3 4 Q ) a - . [ = = = ;
|
ò x èg ) l I J L îïþ M O Q ' R
|
) + % % A
|
ò x h ) l Z [ ] îïþ ^ ` b ' c
|
) + % % B
|
ò x :h ) l k l n îïþ o q s ' t
|
) + % % A
|
ò x ch & l | }
|
îïþ $
|
) % % A
|
ò Ì h l À îïþ % * îïþ- 0 B I P îïþT [ i
|
. " # 4 # $ 1 H C - . G C
|
ò Ì õh l À ¡ £ ¥ îïþ ¥ % ¦ * îïþ- ¦ 0 ¨ B ª I ¬ P îïþT ¬ [ ® i ¯
|
/ " # 4 # $ 1 H C - . G C
|
ò x ai & l · ¸ º
|
îïþ » ½ ¿ $ À
|
, % % A
|
ò Ì i À Ç É Ë îïþ Ë + Ì 8 îïþ; Ì F Î X Ð _ Ò f îïþj Ò q Ô Õ
|
( " # 4 # $ 1 H C - . G C
|
ò Ì j l À Ü Þ à îïþ à % á * îïþ- á 0 ã B å I ç P îïþT ç [ é i ê
|
/ " # 4 # $ 1 H C - . G C
|
ò Ì uj À ó õ ö îïþ ö + ÷ 8 îïþ; ÷ F ù X û _ ý f îïþj ý q ÿ
|
- % & : & ' 7 N F - . G b
|
ò x ÷j & l
|
îïþ $
|
) % % C
|
ò ü k ð îïþ + 9 îïþ= H Z ! a # h % o îïþs % z ' ( ) + ,
|
6 - . J + , A R ) T - . S 5 5 5 H
|
ò Ì ºk À 4 6 8 îïþ 8 + 9 8 îïþ; 9 F ; X = _ ? f îïþj ? q A B
|
D 0 1 P 2 3 O f R - . G @
|
ò x <l & l J K M
|
îïþ N P R $ S
|
) % % C
|
ò ´ bl I ¨ Z [
|
îïþ [ \ îïþ \ ! ^ ( ` . îïþ1 ` 8 b F c
|
$ % 8 % & 5 ? - . G B
|
ò ´ «l I ¨ j l
|
îïþ l m îïþ m ! o ( q . îïþ1 q 8 s F t
|
# $ 6 $ % 3 > - . G A
|
ò ´ ôl I ¨ { |
|
îïþ | } îïþ } ! ( . îïþ1 8 F
|
% & : & ' 7 @ - . G C
|
ò x =m ) l îïþ '
|
) C % % G
|
ò x fm ) l îïþ ¡ £ ¥ ' ¦
|
) C % % J
|
ò x m ) l ® ¯ ± îïþ ² ´ ¶ ' ·
|
) > % % G
|
ò ¸m 0
|
¿ À
|
 îïþ Ã Ä Ç È * É . Ë
|
A # L
|
ò èm .
|
Ò Ó Õ îïþ Ö × Ú Û ( Ü , Þ
|
B # F
|
ò n .
|
å æ è îïþ é ê í î ( ï , ñ
|
C # G
|
ò À Dn j ´ ø ù û îïþ ü ý ( 7 F U d h
|
> # H H I T G
|
ò ®n 1
|
îïþ + /
|
= # H
|
ò ´ ßn I ¨ " # % îïþ & ' * + îïþ" , ) . C / G 1
|
> # 1 . _
|
ò ´ (o I ¨ 8 9 ; îïþ < = @ A îïþ" A ) C C D G F
|
E # 1 2 K b
|
ò ´ qo I ¨ M N P îïþ Q R U V îïþ" V ) X C Y G [
|
D # 1 2 K a
|
ò ´ ºo I ¨ b c e îïþ f g j k îïþ" k ) m C n G p
|
> # 1 2 K _
|
ò ´ p I ¨ w x z îïþ { | îïþ" ) C G
|
< # 1 2 K \
|
ò ð Lp a ä îïþ $ * 0 6 = îïþA H [ _ ¡
|
7 # A 6 A A A 1 2 _ d
|
ò p 5
|
¨ © « îïþ ¬ ° ± / ² 3 ´
|
= # l
|
ò âp 5
|
» ¼ ¾ îïþ ¿ À Ã Ä / Å 3 Ç
|
> # m
|
ò q 5
|
Î Ï Ñ îïþ Ò Ó Ö × / Ø 3 Ú
|
= # l
|
ò Lq 1
|
á â ä îïþ å æ é ê + ë / í
|
> $ I
|
ò ´ }q E ¨ ô õ ÷ îïþ ø ù ü ý îïþ" ý ) ÿ ? C
|
? # 1 2 K ^
|
ò ´ Âq E ¨
|
îïþ îïþ" ) ? C
|
? # 1 2 K _
|
ò r 1
|
! îïþ " # & ' + ( / *
|
= # H
|
ò ´ 8r E ¨ 1 2 4 îïþ 5 6 9 : îïþ" : ) < ? = C ?
|
? # 1 2 K ^
|
ò ´ }r E ¨ F G I îïþ J K N O îïþ" O ) Q ? R C T
|
? # 1 2 K _
|
ò Âr \ ] _ îïþ ` a d e # îïþ& e - g 3 îïþ7 h Q i W îïþ[ j u k { îïþ l m o
|
_ # 1 2 K A o B o B n
|
ò as w x z îïþ { | # îïþ& - 3 îïþ7 Q W îïþ[
u { îïþ
|
] # 1 2 K B m B m B l
|
ò t 1
|
îïþ + /
|
? # J
|
ò ð 1t h ä ¤ ¥ § îïþ ¨ © ¬ ¯ $ ° * ± 0 ² 6 ´ = îïþA ´ H ¶ b · f ¹
|
D # 9 . 9 9 9 1 2 W p
|
ò ü t [ ð À Á Ã îïþ Ä Å È É îïþ" É ) Ë 1 îïþ5 Ì 6 Î 9 Ð : Ñ T Ò U Ó Y Õ
|
< # 1 2 K * `
|
ò ôt 1
|
Ü Ý ß îïþ à á ä å + æ / è
|
? # J
|
ò ´ %u B ¨ ï ð ò îïþ ó ô ÷ ø îïþ" ø ) ú < û @ ý
|
> # 1 2 K X
|
ò ´ gu B ¨ îïþ îïþ" ) < @
|
= # 1 2 K W
|
ò ´ ©u B ¨ îïþ ! " îïþ" " ) $ < % @ '
|
? # 1 2 K Y
|
ò ëu 5
|
. / 1 îïþ 2 3 6 7 / 8 3 :
|
C #
|
ò v 5
|
A B D îïþ E F I J / K 3 M
|
F #
|
ò Uv 5
|
T U W îïþ X Y \ ] / ^ 3 `
|
C #
|
ò ´ v I ¨ g h j îïþ k l o p îïþ" p ) r C s G u
|
G # 1 2 K h
|
ò ´ Óv I ¨ | } îïþ
îïþ"
) C G
|
? # 1 2 K `
|
ò ´ w B ¨ îïþ îïþ" ) < @
|
C # 1 2 K ]
|
ò Ì ^w À ¦ § © îïþ ª « ® ¯ % îïþ( ¯ / ± w ² ¿ ³
|
´ ¶
|
B # 1 2 K ~ ~
|
ò ü nx i ð ¿ À Â Ä Æ È È $ îïþ& È , É - Ê 2 Ë 3 îïþ9 È @ Í K Î V Ð a Ò f Ó
|
; + ( # ' # " - - 9 "
|
ò , ×x Û Ü Þ à â îïþ ã ä 3 å 4 â : â A îïþE ç M é P îïþR ê S ë m ì n é t é } îïþ î ï
|
/ . . I , / * 5 : 7 : 5
|
ò Ì `y K À ø ù ù îïþ ù ú û îïþ ü ! ý % ÿ & ù 0 îïþE I
|
" * ' ! !
|
ò D «y z 8
|
( . îïþ1 8 @ C îïþE F M N T _ îïþc i îïþm r w !
|
! - " " 8 8 - . K B % 2 5 0 '
|
ò x %z ÿ H l * + îïþ , . 1 ( 2 ) 4 * îïþ, 6 - 7 9 8 : 5 B îïþF : M îïþO = P ? Q < w îïþ{ A E îïþ F H ¸ J Ì O Ö Q Ý îïþá R â T é W ê X ý Y þ ] _ îïþ ` a , b - _ 3 _ = îïþA d _ îïþc e d g k j x îïþ| k } m p r îïþ s t u r ¥ r ¯ îïþ³ w ¸ y º z » { Í | Ñ Ò Ý ä ð ò îïþý
|
3 $ $ J ; + ? M = A 3 % O X # n I L % G h % A % J # G E H % C & # R ! . % 0
|
ò Ä $| ¬ 9 ¸ îïþ ( ) * îïþ, - 9 : B îïþF ¢ M îïþO ¥ P § Q ¤ w îïþ{ « îïþ
¬ îïþ ® ¤ ° ¼ ± Â ³ Ã ´ É îïþÍ µ é · ¹
|
¹ îïþ ¹ º » 4 ¼ 5 îïþ; ¹ C ½ D ¿ X Ã a Ä e Æ g Ç h È z É ~ Ì Í Î Ï Ð îïþª Ò
|
3 $ $ J + / E S / X f / 8 " + 8 , . A ' ! $ R " . % 0
|
ô Ø H Üx y y Dy \y py y ¤y ¼y ày øy z 0z Pz hz z z Àz Øz ðz { ({ @{ `{ x{ { °{ Ð{ è{ | | @| X| x| | °| È| è| } (} @} `} x} } ´} Ð} è} ~ ~ @~ X~ x~ ~ °~ È~ ì~ , D h ¸ Ø ð ( D \ x ° È è 8 X p ¤ ¼ Ô ð ( @ \ t ¨ È à 4 L l ¤ ¼ ä ü 8 X p ¬ È à
8
P
l
¤
¼
à
ø
8 \ t ´ Ô ì ( L d ´ Ì è 4 L d | ° 6 * $ Ç A? get_IsGateOpen à A? $USA_LTT.Info.WaferInfo
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading.Tasks > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * È ^? get_IsGateClose : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * É {? get_IsGateOpenValve : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * Ê ? get_IsGateCloseValve : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * Ë µ? get_IsLiftPinUp : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * Ì Ò? get_IsLiftPinDown : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * Í ï? get_IsChuckVacuumOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç B * Î @ get_IsChuckVacuumSensorOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * Ï )@ get_IsN2ChamberValveOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * Ø K Ð F@ get_IsInposition K F@ "
|
isInposition : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * T Ñ @ get_IsN2MFCValveOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * Ô Ò ®@ get_IsByPassValveOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * P Ó Ë@ get_IsAirBlowOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * È Ô è@ get_MFCFlow : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * D Õ A get_MFCSetPoint : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * Ä Ö A get_MainCDAPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * D × 6A get_MainVacuumPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * À Ø LA get_N2PTPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * <
|
Ù bA get_MainCDAFlow : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç B * À
|
Ú xA get_ChamberVacuumPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * < Û A get_IsLoadPosition : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç > * ¼ Ü ¤A get_IsCenterPosition : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç B * @ Ý ºA get_IsPowerMeterPosition : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç B * Ä Þ ÐA get_IsBeamProfilePosition : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * < ß æA get_WaferInfo : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç . * à þA .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 2 * * á B GateOpen . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 2 * p * â 8B GateClose . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 2 * Ø * ã bB LiftPinUp . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * D * ä B LiftPinDown . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * ° å ¶B ChuckVacuumOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * æ ÌB ChuckVacuumOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 2 * ç âB SetMFCFlow . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * ô è ÷B N2ChamberValveOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * d é C N2ChamberValveOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * Ð ê #C N2MFCValveOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * < ë 9C N2MFCValveOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * ¨ ì OC ByPassValveOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 6 * í eC ByPassValveOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 2 * | î {C AirBlowOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç 2 * ä ï C AirBlowOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç : * È » ð §C MoveLoadPosition è l » §C " 1 loadPositionX " 1 loadPositionY " 1 loadPositionT 1 speedX 1 speedY 1 speedT 1 accX 1 accY 1 accT 1 result V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç ( £/½?ÁQÑQÑ : * ¬ » ñ bE MoveCenterPosition Ì P » bE " 1 loadPositionX " 1 loadPositionY " 1 loadPositionT 1 speedX 1 speedY 1 speedT 1 accX 1 accY 1 accT 1 result V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç ( ¥3ÃGËQÓU× > * » ò G MovePowerMeterPosition ° D » G & 1 powerMeterPositionX & 1 powerMeterPositionY & 1 powerMeterPositionT 1 speedX 1 speedY 1 speedT 1 accX 1 accY 1 accT 1 result V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç ( ¬AØ]âiìoò B * ¤ » ó ØH MoveBeamProfilePosition ¤ H » ØH * 1 beamProfilePositionX * 1 beamProfilePositionY * 1 beamProfilePositionT 1 speedX 1 speedY 1 speedT 1 accX 1 accY 1 accT 1 result V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ç ( ®EÞdêrözþ ò < A? 0 [ ò < ^? 0 \ ò < {? 0 ! " c ò < ? 0 ( ) * d ò < µ? 0 0 1 2 _ ò < Ò? 0 8 9 : a ò < ï? 0 @ A B \ ò < @ 0 H I J a ò < )@ 0 P Q R g ò l F@ K ` X Y [ \ / ] E _ I ` * g g g % ò < @ 0 f g h c ò < ®@ 0 n o p a ò < Ë@ 0 v w x [ ò < è@ 0 ~ X ò < A 0 [ ò < A 0 9 ò < 6A 0 < ò < LA 0 6 ò < bA 0 ¦ § ¨ 5 ò < xA 0 ® ¯ ° ? ò < A 0 ¶ · ¸ > ò < ¤A 0 ¾ ¿ À @ ò < ºA 0 Æ Ç È D ò < ÐA 0 Î Ï Ð E ò < æA 0 Ö × Ø h ò H þA < Û Ü Ý Þ ,
|
$
|
ò H B * < á â ã ) ä
|
] [
|
ò H 8B * < ç è é ) ê
|
\ \
|
ò H bB * < í î ï ) ð
|
W T
|
ò H B * < ó ô õ ) ö
|
U V
|
ò < ¶B 0 ù ú û
|
T
|
ò < ÌB 0 þ ÿ
|
U
|
ò < âB 0
|
T
|
ò < ÷B 0
|
|
_
|
ò < C 0
|
`
|
ò < #C 0
|
[
|
ò < 9C 0
|
\
|
ò < OC 0
|
Y
|
ò < eC 0 ! " #
|
Z
|
ò < {C 0 & ' (
|
S
|
ò < C 0 + , -
|
T
|
ò Ì §C » À 0 1 ( 2 O 3 v 5 6 Å 7 í 9 : = ; e = | > ? ² A ¸ B
|
f b b
|
ò Ì bE » À E F ( G O H v J K Å L í N O = P e R | S T ² V ¸ W
|
f b b
|
ò Ì G » À Z [ ( \ O ] v _ ` Å a í c d = e e g | h i ² k ¸ l
|
l h h
|
ò Ì ØH » À o p ( q O r v t u Å v í x y = z e | | } ~ ² ¸
|
m i i
|
ô Ô h È è 8 \ t ° Ð è D \ Ä Ü ü 8 P t ¬ Ä à ø 0 T l ¬ Ì ä D \ ¼ Ô ü < T p ´ Ì ä ü , D ` x ¬ Ì ä 8 P p ¤ ¼ Ø ð $ D \ t ¨ À à ø 4 \ t . * @ µ ô J .ctor µ J
|
$USystem $USystem.Collections $USystem.Collections.Generic $USystem.Globalization $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * $ ¼ õ HK statusUpdate D È ¼ HK | Ä ÕK ) e V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô ~ ½ . * è ö L Run ( ¨ L 2 command 2 data : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô N . * ¬ ÷ L Stop ì l L 2 command 2 data : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô N 2 * ¼ Ü ø $L GetStatus ° H Ü $L 3 command 3 data 3 code 3 function * 3 dischargeTemperature 3 reserved1 & 3 dischargePressure 3 information 3 statusFlag1 3 alarmFlag1
|
3 alarmFlag2 3 alarmFlag3 3 reserved2 3 statusFlag2 3 reserved3 * 3 circulatingTemperature 3 runStatus 3 dat n É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô @ J5j«á YÊ:qªá%] 6 * Ð $ ù M GetAlarmStatus À $ M 4 alarmflag1 4 alarmflag2 4 alarmflag3 4 bit B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô :_
2 * 8 ú $M CheckAlarm . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô : * ¨ û &M ChangeStringToBits . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô : * ü (M GetChillerSettings . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô 6 * ý *M SetTemperature . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô : * ô þ ,M GetTemperaturePV . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô : * d
|
ÿ .M DischargePressure . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô 6 * 0M MessageFormat h
|
Ô
|
0M command : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô . * ¸ 8M GetLRC x 8M 5 LRC : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ô ò Ì J µ À % 6 C P ] n ~ ¡ ¡ ¢ £ ´ ¤ ,
|
$ + ) = % @ * % ! 7 $
|
ò HK ¼ ¦ îïþ ¨ ª « îïþ ® ° % ± ( ³ ) ´ ^ îïþa µ b · e ¹ f º p îïþs » t ¼ ½ ¾ ¿ À Á Â Ã Ä £ Å ¤ § ´ îïþ» Æ
|
' % 1 ! g $ R 3
|
ò H L < É Ê Ì Í
|
4 .
|
ò H L < Ð Ñ Ó Ô
|
4 .
|
ò , $L Ü × Ù Û Ý ß à ' á 1 â ; ã F ä Q å \ æ g ç r è } é ê ë ì © í ´ ï ½ ñ Ì ò Û ó
|
4 . O 0 4 @ 5 > 8 8 7 7 7 6 8 6 C 6 ; @ >
|
ò ` M $ T ö ÷ ø ù û # ü
|
$ $ $ ?
|
ò 0 $M $ ÿ
|
|
ò 0 &M $
|
|
ò 0 (M $
|
|
|
ò 0 *M $
|
|
ò 0 ,M $
|
|
ò 0 .M $
|
|
ò < 0M 0 % &
|
6
|
ò H 8M < ) * , -
|
|
ô p ´ È à ü ( @ T l ¼ Ô ð , D h ¸ Ø ð ( D \ t 2 * Ð " ·â get_IsOpen " ·â
|
$USystem $USystem.IO.Ports $USystem.Threading > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * H Ùâ get_PortName : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * À êâ get_Terminator : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * , öâ set_Terminator . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * ¬ ÿâ get_ReceiveWaitSeconds : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * ã set_ReceiveWaitSeconds . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . *
ã .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * ³ã GetExistPortNames : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * Ä + ¾ã Open + ¾ã 4 | Ðã 8 e > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * + éã Close È D + éã ø @ ûã 8 e > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * Ð É ä WriteRead h É ä " ° receivedData À 0 G Gä ° check À d + å ° e b É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 4 CCs2[ _ÒsÕ
4f¹ . * Ýå Write Ô P Ýå L "æ ± e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B. 2 * ¬ _æ WriteRead ¬ ¬ _æ " ² receivedData Ð t ; æ ² check p ! Xç ² aa Ð ¨ Íç ² e b É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 4 CCs5K bÔuß
Ê . * Ü è Write è H Tè ± e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 BA . * ø
|
è Read à
|
è " ³ receivedData ³ check
|
|
Ré
|
³ e V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ( Joo86 ZL : * à » é CheckTerminator ü
|
» é 8 i Óé & ´ terminatorLocation F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Æg ò ` ·â " T îïþ ( " * ò < Ùâ 0 " # $ , ò < êâ 0 - .
|
/ $ ò < öâ 0 2 3 4 % ò < ÿâ 0 : ;
|
< , ò < ã 0 ? @ A - ò À ã ´ D E F H J + K < L I M V N c O p P Q R S 1
|
% + , ( % - 0 3 * + !
|
ò < ³ã 0 V W X
|
.
|
ò ¾ã + x [ ] ^ _ a b c % d ) f
|
# N
|
ò éã + x i k l m o p q % r ) t
|
$ N
|
ò ä É ? w x z { îïþ } ( | / îïþ2 îïþ3 4 ; F V îïþZ f
w îïþ îïþ± ² ¹ » ¼ Á îïþÆ Ç × îïþÛ Ü è ñ îïþõ ö îïþ îïþ ¡ $ ¢ & ¤ ' ¦ L îïþP § Q ¨ l ª m u ¬ z ® | ¯ } ° ± ¥ ´ ¦ µ ¶ ¹ · » îïþÆ ¹
|
0 , " & 2 4 5 O 3 / 3 V 2 # ! 8 F > ! 7 ! " % D ) 2 ! " ! > ! ' _ h ! ) $ h ) ' -
|
ò 8 Ýå , ¼ ¾ ¿ îïþ Á " À ) îïþ, îïþ- Ä . Å 5 Ç B È E É F Ê G Ë X Ì [ îïþ] Î ^ Ï e Ð q Ñ s Ò v îïþ Ó
|
, " & / $ R ' -
|
ò Ä _æ ¬ 9 ¸ Ö × Ù Ú îïþ Ü ( Û / îïþ2 îïþ3 ß 4 à ; á F â V îïþZ â f ä w æ è îïþ ë ì ± îïþµ í ¶ î ½ ï ¿ ñ À ê Å îïþÊ ô Ë õ Û îïþß ö à ÷ ì ù õ îïþù ú ú û ü ý ÿ @ îïþD E ` a ó i n p
|
q îïþ©
|
0 , " & 2 4 5 O 3 B 3 V 2 # 8 F ? ! V ! > ! ' _ h ! ) $ R ) ' -
|
ò 8 è , îïþ " ) îïþ, îïþ- . 5 " F # I $ J % K & \ ' _ îïþa ) b * i + u , w - z îïþ
.
|
, " & B $ R ' -
|
ò ( è , 1 2 3 5 6 îïþ" 8 . 7 6 îïþ: îïþ; ; < < C îïþE ? F @ V îïþZ A [ B g D p îïþt E u F | G ~ I K îïþ L M ¸ O ¹ > ¾ P Á Q Ã R Ä S Ö T Û îïþÝ W Þ X å Y ñ Z ó [ ö îïþ ] ^
|
0 + , " & 8 F ? ! > ! ' N h ! $ R ) ' - !
|
ò 8 é » , a b îïþ c d ! e ( h ) i 6 îïþ9 j : k G m ^ îïþb n c o u p x r y s t v ¢ y £ z µ { ¹ ~
|
$ / 7 O W 7 f ! 3 "
|
ô ¨ À Ü ô , L d ¤ Ì ä ø 0 H \ t ¸ Ð ä ü , @ X l ¤ > * 8 KÎ get_CorrectionFilePath : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % > * ô 9 WÎ set_CorrectionFilePath . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * p : `Î get_IsInitialized : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * à ; lÎ set_IsInitialized . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * T < uÎ get_IsBusy : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * ¼ = Î set_IsBusy . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * 4 > Î get_Encoder0 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ? Î set_Encoder0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * @ Î get_Encoder1 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * A «Î set_Encoder1 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % > * B ´Î get_EncoderCountPerMmX : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % > * x C ÀÎ set_EncoderCountPerMmX . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % > * ø D ÉÎ get_EncoderCountPerMmY : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % > * l E ÕÎ set_EncoderCountPerMmY . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ä Q F ÞÎ get_BitsPerMm : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * X G /Ï get_FOV : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * À H ;Ï set_FOV . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * 8 Q I DÏ get_KFactor : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ° J Ï get_HalfPeriod : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ( & K ¡Ï set_HalfPeriod : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * ¤ L ÇÏ get_PulseLength1 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : *
|
& M ÓÏ set_PulseLength1 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : *
|
N ùÏ get_PulseLength2 : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * O Ð get_TimeBase : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * P Ð set_TimeBase . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ø Q Ð get_JumpDelay : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * d R &Ð set_JumpDelay . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * Ü S /Ð get_MarkDelay : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * H T ;Ð set_MarkDelay . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * Ä U DÐ get_PolygonDelay : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * 4 V PÐ set_PolygonDelay . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * ° W YÐ get_LaserOnDelay : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * X eÐ set_LaserOnDelay . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * Y nÐ get_LaserOffDelay : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * Z zÐ set_LaserOffDelay . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * [ Ð get_IsPosition : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ð \ Ð set_IsPosition . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * d ] Ð get_XGain : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * Ø ( ^ ¤Ð set_XGain : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * L _ ÌÐ get_YGain : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * À ( ` ØÐ set_YGain : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * 8 a Ñ get_IsLaserOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ¤ b Ñ set_IsLaserOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % . * K c Ñ .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % . * l 5 d `Ñ .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * e Ñ Refresh p 8 Ñ " directoryInfo fileInfo ¤ 4 Ò scanner F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % ùwE 2 * À 5 f %Ò ErrorExist L 5 %Ò ¡ errorCode ¡ errorBytes ¡ errorBits ¡ str n É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % @ ~Ö%FHÈGÎVÙhï
"½J B * D g ZÔ LoadProgramFileErrorExist : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % F * Ì ¨ h zÖ LoadCorrectionFileErrorExist : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * H " i "Ø InitializeRTC5Dll : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % q : * $ j DØ LoadProgramFiles L À $ DØ £ errorCode > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % R > * Ä + k hØ LoadCorrectionFiles + hØ £ errorCode > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * H Ì l Ø Initialize J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % =ç 2 * t
m _Ù GetBusy L $
_Ù ì % ~Ù ¥ ubusy ¥ position ÇÙ ¥ e J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 4oo±¸3 2 * @ t n äÙ GetLaserOn x ø t äÙ ¬ ô =Ú ¦ e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 4oo· 6 * ¼ ] o XÚ SetLaserTiming > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * < W p µÚ SetScannerDelay > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % å 6 * Ù q Û CtlFrequency @ È Ù Û § num1 § num2 B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % öKh 6 * Q r åÛ SetLaserDelays > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % Ð 2 * ô s 6Ü LaserOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 2 * \ t CÜ LaserOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : * 8 ³ u PÜ SetJumpMarkSpeed ` ì ³ PÜ ¨ jump ¨ mark F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % ÚTã 2 * ! 6 v Ý GetEncoder < È 6 Ý © encoder0 © encoder1 B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % ¾ 6 * ! w 9Ý GetScanList : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * " x JÝ ClearScanList : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * x" ' y iÝ AddScanList : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * (# z Ý AddScanList |" è" Ý « coord : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 6 * ´$ | { Þ ExcuteScanList ,# T$ | Þ d# Ì# 0Þ ¬ ScaleX ¬ ScaleY d# P$ c ÁÞ ¬ coord Ð# L$ Z ÊÞ ¬ x ¬ y Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % , ;p»Ý<<³â
[p . * $% " | ß Stop : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % : . * ü% } ¹ß Save (% ´% ¹ß " directoryInfo fileInfo B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % ùwE 6 * ( v ~ Aà AddScanField & ¬' v Aà " ® intervalLength 8& ¤& W _à ® i 8& Ø& ` ¶à ® i 8& ' _ á ® i 8& @' ` uá ® i 8& t' i ãá
|
® i 8& ¨' i Lâ ® i ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 % 0 :çÞýô0'F=
ÿ
öJA ò < KÎ 0
|
, ò < WÎ 0 ¡ ¢ £ - ò < `Î 0 ¬
|
® ' ò < lÎ 0 ± ² ³ ( ò < uÎ 0 ¼ ½
|
¾ ò < Î 0 Á Â Ã ! ò < Î 0 Ì Í
|
Î " ò < Î 0 Ñ Ò Ó # ò < Î 0 Ü Ý
|
Þ " ò < «Î 0 á â ã # ò < ´Î 0 ì í
|
î , ò < ÀÎ 0 ñ ò ó - ò < ÉÎ 0 ü ý
|
þ , ò < ÕÎ 0 - ò x ÞÎ Q l îïþ # $ O < ò < /Ï 0
|
% ò < ;Ï 0 # $ % & ò x DÏ Q l . / îïþ 0 1 # 4 $ 5 O 7 8 ò < Ï 0 A B
|
C $ ò ¡Ï &
|
F G
|
îïþ H I J L M $ N % O ( . ) ò < ÇÏ 0 Y Z
|
[ & ò ÓÏ &
|
^ _
|
îïþ ` a b d e $ f % g ( 0 + ò < ùÏ 0 q r
|
s & ò < Ð 0 ~
|
" ò < Ð 0
# ò < Ð 0
|
# ò < &Ð 0 $ ò < /Ð 0
|
# ò < ;Ð 0 £ ¤ ¥ $ ò < DÐ 0 ® ¯
|
° & ò < PÐ 0 ³ ´ µ ' ò < YÐ 0 ¾ ¿
|
À & ò < eÐ 0 Ã Ä Å ' ò < nÐ 0 Î Ï
|
Ð ' ò < zÐ 0 Ó Ô Õ ( ò < Ð 0 Û Ü
|
Ý $ ò < Ð 0 à á â % ò < Ð 0 è é
|
ê ò ` ¤Ð ( T í î îïþ ï ñ ' ò ò < ÌÐ 0 ø ù
|
ú ò ` ØÐ ( T ý þ îïþ ÿ ' ò < Ñ 0
|
|
# ò < Ñ 0 $ ò Ñ K
|
n s t ! , 3 4 ; C J - 3 1 : ,
|
$
|
ò l `Ñ 5 ` n s t ! , 3 4 - 3 1 :
|
|
ò Ñ ü ! # ! îïþ$ $ % % , & - ( D * N îïþQ + R , ^ . l / o 1 p 2 w 4
6 7 8
|
d / ( R * + 3 1 7
|
ò %Ò 5 5 ? @ B îïþ B D % E , G 2 I ; îïþ? J U L ^ îïþb M x O îïþ
P R ¤ îïþ¨ S ¾ U Ç îïþË V á X ê îïþî Y [ îïþ \ ' ^ 0 îïþ4 _ J a S îïþW b m d w îïþ{ e g îïþ h µ j ¿ îïþÃ k Ù m ã îïþç n ý p îïþ q ! s - t 2 u
|
3 ! . B a ' & V & U & ] & ^ & Y & e & ] & f & f & e ' Y ' p ' b ' p -
|
ò à ZÔ & Ô } ~ îïþR Y o v © ° Æ Í ã ê $ : A W ^ t { ¡ ¢ ¤ ® ¥ ² § È ¨ Ì ª â « æ ü ® ° ± ³ µ
|
" W ! Y ! V ! X ! X ! X ! Y ! c ! ] ! _ ! _ ! ^ ! V ! \ ! X ! U ! !
|
ò zÖ ¨ t ½ ¾ îïþN Á U Ã k Ä r Æ Ç É ¥ Ê ¬ Ì Â Í É Ï ß Ð æ Ò ü Ó Õ Ö Ø 6 Ù : Û P Ü T Þ j ß n á â ä å ¢ ç ¦ é
|
" V ! X ! [ ! \ ! ^ ! c ! [ ! X ! g ! V ! \ ! X ! !
|
ò "Ø " x ð ò ô îïþ õ ö ù ú ü
|
&
|
ò DØ $ x îïþ "
|
? 6
|
ò hØ + x îïþ $ % ! ) #
|
9
|
ò Ø Ì + , - . îïþ! / " 0 * 1 1 4 < îïþ@ 5 A 6 I 7 M : Y îïþ] ; ^ < f = j ? m îïþx A
C îïþ¤ D ¥ E F ° H ± I ¹ J º L Æ N Ê O
|
2 + " 1 + " F + " * J & ' +
|
ò _Ù
V X Y îïþ Z [ \ ^ / _ : ` C a F îïþQ b T d U e ] f ^ g h i j j k k } l n
|
# ! F - / $ N
|
ò äÙ t ü q s t îïþ u v w x 5 y 8 îïþC z F | G } O ~ P Y [ \ n
r
|
# ! O ' " N
|
ò ¨ XÚ ] 0 ; G N îïþQ R V W [
|
( Y ( &
|
ò ¨ µÚ W ¤ ¥ ¦ * § 5 ¨ A ª H îïþK « L ¬ P ¯ Q ° U ²
|
( M ( &
|
ò ä Û Ù Ø ¹ º îïþ » ¼ ¿ 5 îïþ9 À : Á A Ä h Å q Æ } Ç ¼ È Ç É Ó Ë × Ì
|
G T = ( ( &
|
ò ¨ åÛ Q Ó Ô Õ $ Ö / × ; Ù B îïþE Ú F Û J Þ K ß O á
|
( D ( &
|
ò < 6Ü 0 ä å æ
|
(
|
ò < CÜ 0 é ê ë
|
)
|
ò PÜ ³ ô õ îïþ ö ø ) îïþ, ù 7 û J ü ] þ i ÿ u îïþ¤ ¥ ª «
|
°
|
: : ( + + ( &
|
ò Ý 6 ' îïþ* + / 0 ! 4 #
|
> ! !
|
ò < 9Ý 0 * + ,
|
'
|
ò T JÝ H 3 4 6 7 8
|
&
|
ò T iÝ ' H @ A B ! C % D
|
! *
|
ò Ý
|
N O P Q ( R > T e U r V
X Y
|
' ' 6 6 U ! *
|
ò è Þ | < Ü ` a c îïþ d h îïþ# i $ j . k 1 m 2 n A o M p N r Y îïþ] s ^ t h u k w l x { y z | } ¤ îïþ¦ ¯ ° Â Ô à îïþä
å ô ÷ ø îïþ# & îïþ* + 8 ; < I J U a i îïþm n s ¢ t £ y ¥
|
( - = 0 - = 0 / % - ! 0 0 5 - - " $ + ) ( &
|
ò ß " x ¨ © « îïþ ¬ ° ± ³
|
'
|
ò ð ¹ß ä ¶ · ¹ ! îïþ$ º % » , ¼ - ¾ D À N îïþQ Á R  ^ à _ Å f Æ m Ç t É
Ê
|
d / ( R * + 9
|
ò $ Aà v A Í Î Ð îïþ Ñ Ò Õ " îïþ$ Ö % × G Ø h Ù i Õ m Õ r îïþu Û { îïþ} Ü ~ Ý ¡ Þ Ã ß Ä Û Ê Û Ñ îïþÕ â Ú îïþÜ ã Ý ä å " æ # â ) â 0 îïþ4 è : îïþ< é = ê ` ë ì è è îïþ í ï ð ¢ ó ª îïþ¬ ô õ Ð ö ò ÷ ó ó ù ó îïþ ú îïþ û ü 9 ý [ þ \ ú b ú p îïþt ÿ u
|
' $ 8 + Z Y 4 7 - 2 . Z Y 7 : 0 5 + Z Y 4 7 - 2 . Z Y 7 : 0 5 > 2 Z Y N Q 4 L 2 Z Y N Q 4 L
|
ô H 8 ¼ ä ü $ < \ t ¬ È à ü 0 H d | ° Ì ä $ L d ¤ Ì ä 0 H ` x ¬ Ì ä < T t ¬ Ä à ø , H ` | ° È ä ü 4 T l ¤ Ä Ü ü 4 L l ¤ ¼ Ô ì ¡ ¡ 4¡ L¡ d¡ |¡ ¡ °¡ Ì¡ ä¡ ø¡ ¢ $¢ <¢ T¢ l¢ ¢ ¢ È¢ ࢠ£ $£ D£ \£ |£ £ ¸£ У ì£ ¤ ¤ 4¤ P¤ h¤ ¤ ¤ À¤ ؤ ô¤ ¥ ,¥ D¥ \¥ t¥ ¥ ¤¥ Ä¥ Ü¥ ø¥ ¦ ,¦ D¦ `¦ x¦ ¦ ¬¦ Ȧ ঠ§ § ,§ D§ X§ p§ § . * ¸ Ý co .ctor | co
|
$USystem " $USystem.Runtime.InteropServices 6 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * , + Þ wo Finalize : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ý . * ³ ß ¢o Import 0 Ð ³ ¢o " á functionAddress ` Ì ( +p á ex F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ý ¹õ½ô . * à Up .cctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ý ò H co < + , - . 7 0 ò l wo + ` 1 1 2 îïþ 3 " 4 * 4 , * ò ¢o ³ ü 7 8
|
îïþ 9 : 1 ; @ = P îïþS > h @ i A u C v D G H I ¤ îïþ¨ J ¯ K ± M & a > 0 Q M S % T M ò $ Up ) 5 ô ¨ ¤§ ¸§ Ч è§ ¨ ¨ 0¨ H¨ 6 * < bX get_FFU_Status . * H iX .ctor @ iX
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * d ö kY statusUpdate L ö kY Ì Y B key 0Z B e Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬èèú = 6 * Ô Ò aZ ReadFFUStatus h Ò aZ L ´ bZ " C Start_LCU_ID C End_LCU_ID C datas C rcvData [ C e J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÒÕ4
9 6 * ø 3[ WritemmAqSV Ø 3[ P ê A[ D a D data D daH D daL D datas D recvData ( L M Ù\ D bytesData à H " ò\ D bb +] D e j É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 < ªÕ
|
¿&P"mIC æ ææ4Û 6 * $ S H] GetCheckSum ü Ø S H] E sum E proc_data E value 4 Ô S] E data F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 , ,, 2 * Ô s ] WriteRead ( s ] . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 M 2 * ^ WriteRead Ø @ ^ F data : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ bX G 8 < ò , iX ( % 3 * > 0 I 6 T @ [ K g L h M y N O P ¤ Q ± R ¹ T Ä U × W Þ X õ Y Z ) / 2 + $ , ) ' ) (
|
* ( = % @ ; 1 $ 7 $
|
ò ø kY ö ( ì ] îïþ _ a b d îïþ e f f - îïþ/ f 7 g 8 i @ j A f L îïþ[ k ^ m _ n îïþ o q s t § îïþ« u ¬ v ¿ w À x Á y  z Å { Ç | È } Ú ~ Ý Þ ^ î îïþõ
|
& , ; ! ( 0 ) + ~ 1 ! c $ R 3
|
ò 8 aZ Ò ,
îïþ ( 1 7 > K X e r z £ ° § µ © · ª ¸ « Ê ¬ Ï ®
|
6 " < : 5 ) " $ # ) ' 9 & N
|
ò 0 3[ B $ ± ² µ ¶ îïþ$ · , ¹ / » < ¿ G îïþK À S  ^ îïþb à c Ä s Å Æ Ç îïþ È É ¦ Ê ¶ Ë ¹ Í º Î ¼ Ï Å Ð Æ Ò Í Ó Õ Õ ã Ö ñ × ÿ Ø Ù Ú ) Û 2 Ü ; Ý D Þ M ß V à _ á t â ã ç ¢ îïþ¦ è § é µ ê ¶ ê ½ îïþ¿ ê Ë ë Ì ì × îïþÛ í à î á îïþç ê ò ï ó ñ ø ó ú ô û õ ö ø
|
0 " % / % " & D D + D D 4 5 ) " $ # ) ' 9 & > L ) 1 % ( ) & ( N
|
ò Ø H] S Ì îïþ îïþ % 2
|
B K P
|
# ( " 2 F 8
|
ò ] s - îïþ0 1 a e f m q
|
: 8 a -
|
ò T ^ H " # % ' (
|
3 !
|
ô ´ @ `¨ ¨ ¨ ¬¨ Ĩ ਠø¨ © ,© H© `© |© © ¬© Ä© Ü© > * ¸ Ä Ìj <statusUpdate>b__44_0 Ìj
|
$USystem $USystem.Threading 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * , Å ×j <ReadAlarmCode>b__54_0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ä > * Æ Ùj <ReadPinStatus>b__55_0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ä B * Ç Ûj <ReadWaferStatus>b__56_0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ä B * È Ýj <ReadVaccumStatus>b__57_0 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Ä ò $ Ìj Í P ò 0 ×j $ p r ò 0 Ùj $ ò 0 Ûj $ · ¹ ò 0 Ýj $ Ú Ü ô Ü ( ô© ª 0ª Xª pª ª °ª ت 𪠫 : * ð ÍS get_Temperature ¬ ÍS
|
$USystem $USystem.Globalization $USystem.Text $USystem.Threading > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * ` ÙS set_Temperature . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * Ä Ï âS .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ¨ ¼ ±T statusUpdate È L ¼ ±T H >U ) e V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 É B * \ ½ mU GetCyclicRedundancyCheck ¬ ½ mU " = commandBytes & = formmatedCommand = BCC_HexData & = blockCheckCharacter ð Ì R U = i ð + òU = i R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 $ ^Ñ 2) : * *V ReadVariableArea ` 8 *V > command & > blockCheckCharacter > bytes " > variableArea F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 C¿Fg : * ó ÅV GetVariableArea ´ ó ÅV ? node " ? slaveAddress " ? functionCode ? mrc ? src " ? responseCode ? readData J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Iq¡Ñø O > * è F ¸W ReadCurrentTemperature ¤ F ¸W @ temperature " @ receivedData > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ;X 2 * ä d þW WriteRead ì d þW A data @ X & A blockCheckCharacter F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ;£âD ò < ÍS 0 ) *
|
+ % ò < ÙS 0 . / 0 & ò ä âS Ï Ø 3 $ 4 % 5 6 6 G 7 T 8 a 9 n : { ; < = ¤ ? « @ Â A Î B . . )
|
* ( = % @ L + & $ 7 $
|
ò ±T ¼ E îïþ G I J L îïþ M O % P ( R ) S ^ îïþa T b V e X f Y p îïþs Z t [ \ ] ^ _ ` a b c £ d ¤ F ´ îïþ» e
|
' 2 1 ! m $ R 3
|
ò P mU ½ D h i j l îïþ m n 3 p A îïþE q Q r R l X l a îïþe t w v
x îïþ y z { x £ x ¬ îïþ° } º ~
|
F 4 = 2 - 6 9 4 @ Y Z 5 8 3 8
|
ò Ì *V À L T b j u îïþy z
|
) p J , < / : 6
|
ò 8 ÅV ó , $ , 4 ¡ A £ L ¤ W ¥ b ¦ m § z ¨ © « § ¬ ³ ¿ ® Ë ¯ Ø ° å ± ò ²
|
/ ' / / & & / B 5 = = 4 4 > U 2 B B 0 0 B :
|
ò ¸W F
|
µ ¶ º ' îïþ* » + ¼ 7 ½ 8 ¾ @ ¿ D À
|
! P O '
|
ò ä þW d Ø Ã Ä Æ É îïþ Ê Ë 2 Ì D îïþG Í H Î P Ð U Ó V Ô [ Ø \ Ù a Ü
|
! . & f @ 7 ! "
|
ô ø H 0« P« h« « « ´« Ì« è« ¬ (¬ @¬ `¬ x¬ ¬ °¬ ج ð¬ 6 * @ ~ get_Instance Ô ~
|
$USystem $USystem.Text $Ulog4net $Ulog4net.Appender $Ulog4net.Layout " $Ulog4net.Repository.Hierarchy > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * | A .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ > * ´ ý B ! CreateExceptionLogger h ý ! hierarchy " rollingAppender layout log l F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ n¸Ü
B * ð ý C CreateAlarmOccurredLogger ¸ ¤ ý hierarchy " rollingAppender layout log l F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ n¸ì
- B * , ý D CreateAlarmChangedLogger ô à ý hierarchy " rollingAppender layout log l F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ n¸è
( B * h ý E CreateTmcSequenceLogger 0 ý hierarchy " rollingAppender layout log l F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ n¸á
B * ¤ ý F CreatePmcSequenceLogger l X ý hierarchy " rollingAppender layout log l F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ n¸á
: * Ø ý G CreateButtonLogger ¨ ý hierarchy " rollingAppender layout log l F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ n¸Í
: * H H WriteExceptionLog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ > * ¼ I WriteAlarmOccurredLog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ > * 0
|
J - WriteAlarmChangedLog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ > * ¤
|
K < WriteTmcSequenceLog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ > * L K WritePmcSequenceLog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ 6 * M Z WriteButtonLog . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ . * ø W N i .cctor > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ ¬ ò < ~ 0 ) ò Ì À $ % & 0 ' @ ( P ) ` g h o v } ! " H P M L L B &
|
% ) ( ' ' "
|
ò \ ! ý P 3 4 5 7 8 : , ; 8 < D = L > X ? ` @ i A u B } C D E F £ G « H ² J ¾ K É L Ö M ã N ì P ü Q
|
I M 8 ) < R : 1 P V 5 7 7 6 A M & - / . : + 0 , ?
|
ò \ ý P T U V X Y [ , \ 8 ] D ^ L _ X ` ` a i b u c } d e f g £ h « i ² k ¾ l É m Ö n ã o ì q ü r
|
I M 8 ) @ R > 1 T V 5 7 7 6 A M & - / 2 > + 0 , G
|
ò \ ý P u v w y z | , } 8 ~ D L X ` i u }
£ « ² ¾ É Ö ã ì ü
|
I M 8 ) ? R = 1 S V 5 7 7 6 A M & - / 1 = + 0 , D
|
ò \ ý P , 8 D L ¡ X ¢ ` £ i ¤ u ¥ } ¦ § ¨ © £ ª « « ² ¾ ® É ¯ Ö ° ã ± ì ³ ü ´
|
I M 8 ) > R 9 1 R V 5 7 7 6 A M & - / 0 < + 0 , C
|
ò \ ý P · ¸ ¹ » ¼ ¾ , ¿ 8 À D Á L Â X Ã ` Ä i Å u Æ } Ç È É Ê £ Ë « Ì ² Î ¾ Ï É Ð Ö Ñ ã Ò ì Ô ü Õ
|
I M 8 ) > R 9 1 R V 5 7 7 6 A M & - / 0 < + 0 , C
|
ò \ ý P Ø Ù Ú Ü Ý ß , à 8 á D â L ã X ä ` å i æ u ç } è é ê ë £ ì « í ² ï ¾ ð É ñ Ö ò ã ó ì õ ü ö
|
I M 8 ) 9 R 4 1 M V 5 7 7 6 A M & - / + 7 + 0 , 9
|
ò < 0 ù ú û
|
*
|
ò < 0 þ ÿ
|
.
|
ò < - 0
|
,
|
ò < < 0
|
|
,
|
ò < K 0
|
,
|
ò < Z 0
|
'
|
ò l i W ` + $ , . - 8 . B / L 0 R Z X V V L ô
|
x < T h ¤ ¼ ä ü $® <® d® |® ¤® ¼® à® ø® ¯ 0¯ T¯ l¯ ¯ ¨¯ ̯ ä¯ ° ° @° X° p° > * , Ï án <statusUpdate>b__71_0 ô án $USA_LTT.Info.WaferInfo
|
$USystem $USystem.Collections $USystem.Text $USystem.Threading * $TSA_LTT.Info.WaferInfo.WaferInfoManager 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ án ¨ P
ô ° ¬° > * µ Áj <statusUpdate>b__35_0 ä Áj
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ Áj ¿ P ô Ä° è° . * d Y0 .ctor Y0 $USA_LTT.Base
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.IO $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading.Tasks 4 0 ¶ info F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * Û0 RefreshWaferInfo h 4 Û0 " · directoryInfo · waferinfo ¤ 0 ö 1 · i R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 $ ÷tT*Kìbå 6 * < ? ¡ ø2 MoveWaferInfo ü ? ø2 0 info : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ´ ¢ 73 GetWaferInfo : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ? £ N3 SetWaferInfo . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * è Æ ¤ 3 TryParse $ Æ 3 ¸ waferNum R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 $ Ir¿Ä@F¥ç ò Ø Y0 Ì I M N O Q & S ' S < îïþ> S J T K U ] V ^ S h îïþz X Y / 6
|
% E * N & 8 ' )
|
ò ô Û0 = è \ ] _ ! îïþ$ ` % a , b - d 3 g 5 îïþ: h ; i b îïþf j g k w l z n { o p ¦ q § s Ï îïþÓ t Ô u å v è x é y ï z { | g g " îïþ) C îïþG H W Z [
a y z îïþ ¨ « ¬ ² Ê Ë å îïþé ê ù ü ý
|
a / ( 3 g B 1 ` g B 1 ` % ( # S = - L X B - Q U ? - N
|
ò T ø2 ? H ¡ ¢ ¤ , ¦ > §
|
7 D 3
|
ò < 73 0 ª « ¬
|
5
|
ò H N3 ? < ¯ ° ² > ³
|
2 g
|
ò p 3 Æ 2 d ¶ · ¸ ¹ îïþ º ¼ îïþ" ½ # ¾ * ¿ - Á . Â 5 Ä ; Å A îïþE Æ F È I Ê Z îïþ^ Ë _ Ì f Í i Ï j Ð n Ò q Ó ~ îïþ Ô Ö îïþ × Ø Ù Û Ü Þ ß £ îïþ§ à ¨ â ® îïþ² ã ³ ä · å º ç » è ¿ ê À ì Ä í
|
+ 5 2 < " $ , 3 < " 5 " ; " $ " 8 "
|
ô Ú 0 ± ± ,± L± d± ± ± ´± ̱ è± ² ² : * @ £ get_SequencePause : * ª set_SequencePause 6 * ¼ ² get_IsDisposed 6 * ø ¹ set_IsDisposed 6 * ¤ Á get_PmcStep ü ` Á $USA_LTT.Alarm $USA_LTT.Info.FoupInfo $USA_LTT.Info.RecipeInfo $USA_LTT.Info.WaferInfo $USA_LTT.Module $USA_LTT.Parameter $USA_LTT.UserInfo
|
$USystem $USystem.Threading * $TSA_LTT.Info.WaferInfo.WaferInfoManager $TSA_LTT.Sequence > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * Ò get_TmcStep : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B * ã get_ProcessTactTimeSeconds : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * ô get_EquipmentStatus : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * set_EquipmentStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * get_ProcessStatus : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * set_ProcessStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * ü get_EquipmentMode : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * l * set_EquipmentMode . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ä 2 3 get_IsLampOn : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * X e get_User : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * À q set_User . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * 8 z get_IsRunStop : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ¤ set_IsRunStop . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * get_IsAutoRun : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ! set_IsAutoRun . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * ø ¿ " ¤ .ctor : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2  > * l
|
G # c InitializeParameter . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * Ø
|
Á $ ª InitializeData . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * L % k AlarmManager_Cleared . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * À & m AlarmManager_Occurred . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * 0 « ' o InitializeModule . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ü n ( ModuleUpdate 4 ¸ n l ´ c e > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 e 2 * Ü ö ) CheckAlarm h ö check n É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 @ 3úÁO*
Õ³uU$üÌl< : * Ü ý * ~ UpdateTowerLamp à h ý ~ d O e n É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 0 Û6¸
̹pN§l1 V b 6 * @ + { IsInterlock à L @ { check B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Y 6 * p , » SequenceRun » Ð
|
e N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 hçߣ > * - Ä
|
UpdateEquipmentStatus N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Z Y > * µ . O UpdateProcessStatus B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ï" 6 * / ScannerUpdate B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 Æüâ : * ô B 0 UpdateWaferInfo t B L ð K Á waferInfo waferNumber d ì : Ê i L R @ waferInfo waferNumber ô | > L
|
i L ¼ < Ì waferInfo L ø <
|
waferInfo L 4 < W waferInfo L p < waferInfo z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 L BúKÉÀ=öGż!§ñGÑ'®ýXçB 6 * t 1 Ó UpdateFoupInfo B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ÝQ 2 * Ü
|
2 k Dispose . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * P M 3 u ChangeUser : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * ø M 4  LogOut T ¸ M  user : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ` : 5 BuzzerStop . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * Ä 6 I LampOn . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * , 7 Y LampOff . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * ¤ C 8 i ChangeMode > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 · > * < á 9 ¬ ChangeEquipementStatus R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 $ òlÅoÇ
5 6 * ´ 9 : ProcessStart : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 / : * 4 K ; Æ ManualProcessStart > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 /ø 6 * ¬ < ProcessPause : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 6 * ( 6 = * ProcessStop > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * > ` AddRecipeExcutedEvent . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B * ? o AddProcessInfoExcutedEvent . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ £ § ò $ ª ¨ ò $ ² ò $ ¹ ® ò < Á 0 ´ µ ¶ * ò < Ò 0 ¼ ½ ¾ * ò < ã 0 Ä Å Æ 9 ò < ô 0 Ì Í
|
Î ) ò < 0 Ñ Ò Ó * ò < 0 Ù Ú
|
Û ' ò < 0 Þ ß à ( ò < 0 æ ç
|
è ' ò < * 0 ë ì í ( ò x 3 2 l ó ô îïþ õ ö + ù , ú 0 ü % l " ò < e 0
|
ò < q 0 ò < z 0
|
# ò < 0 $ ò < 0
|
! # ò < 0 $ % & $ ò ¤ ¿ w x y ) + # , $ - + . 2 / 9 1 E 3 \ 4 h 6 7 9 ¢ : ® îïþ° < ± < » îïþ¾ = J C D )
|
# , 7 $ 2 = ' ) * (
|
ò x c G l @ A B C " E . F : G F H
|
5 1 ; ' % *
|
ò ä ª Á Ø K L M N P % R 0 S H T ` U l V x W X Z [ ¨ ] ´ ^ À _
|
0 5 0 / < : 1 ; 5 = ( & ( &
|
ò 0 k $ b d
|
|
ò 0 m $ g j
|
|
ò Ø o « Ì m n o p & r 2 s > t J u V v b w n x z y z { | ª }
|
' ) " / % / * ! % 1 ) ) / )
|
ò 8 n , îïþ " ) 0 : îïþ= > E F I J K \ _ ` j îïþm
|
" % ' & " - - + # R (
|
ò L ö o @ îïþ & ( ¡ ) £ ; îïþ> ¤ ? ¥ L ¦ N § O © a îïþd ª e « r ¬ t u ¯ îïþ ° ± ² ³ µ ± îïþµ ¶ ¶ · Ã ¸ Å ¹ Æ » Ý îïþá ¼ â ½ ð ¾ ò ¿ ó Á îïþ Â Ã Ä Å Ç 4 îïþ8 È 9 É G Ê I Ë J Í a îïþe Î f Ï t Ð v Ñ w Ó îïþ Ô Õ ¡ Ö £ × ¤ Ù » îïþ¿ Ú À Û Î Ü Ð Ý Ñ ß å îïþé à ê á ø â ú ã û å îïþ æ ç " è $ é % ë 8 îïþ< ì = í K î M ï N ñ b îïþf ò g ó u ô w õ x ÷ îïþ ø ù ú ¡ û ¢ ý ¶ îïþº þ » ÿ É Ë Ì ß îïþã ä ò ô õ
|
D B D B D B D B Q I T D L E U H W J V I V I I E O H L C L C L C L C G D
|
ò ~ ý > ô îïþ ! ' îïþ- " . # ^ îïþa $ b % w îïþz & ' ) * + ® , ± . ² / Ä îïþÇ 0 Õ 1 Ö 4 á îïþå 5 æ 6 ù îïþý 7 8 : ; % îïþ) < 7 = 8 @ C îïþG A H B ^ îïþb C p D s E ~ îïþ F G îïþ H ¨ I « K ¬ L Í M Î N Ñ O Ó P Ô Q æ R é S ê õ îïþü T
|
# ? b g ! a Z ^ = ] a f ` @ e _ B \ ` $ R (
|
ò ü { @ ð W X [ îïþ \ ] ^ h îïþ# i $ j & k ' m 1 îïþ4 n 5 o 7 p 8 r = s
|
6 :
|
ò p » 2 d v îïþ x y | îïþ
" 1 îïþ4 5 A B Q îïþT U a b e f m îïþp q îïþ
£ îïþ§ ¨ ´ µ ¸ ¹ ¡ Å ¢ Ñ £ Ò ¤ Ó ¦ Ú § Ý ¨ ß © à ª ò « õ ¬ ö w îïþ
|
" ' ( E 5 E 5 * I ! 9 H ! 9 5 5 + # R (
|
ò 8 Ä
|
, ° ± îïþ ² ³ I îïþL ´ M µ U ¶ X ¸ Y ¹ a º b » e ½ f ¾ p îïþs ¿ t À | Á Ã Ä Å Æ Ç
|
6 W = ? : : =
|
ò t O µ h Ê Ë ( îïþ+ Ì , Í 4 Î 7 Ï > îïþA Ð B Ñ ^ îïþa Ò b Ó îïþ Ô
Õ Ö Ø Ù Ú Û Ý Þ ¦ ß § à ª â « ã ³ ä ´ å
|
4 $ V t < = = 7
|
ò ü è é îïþ ê ë ì ) í * ð 6 îïþ9 ñ : ò P îïþS ó b ô e ö f ÷ y îïþ| ø ù ú
|
& # & " ] W \ X
|
ò h B \ \ ý ÿ îïþ " # - îïþ0 1 7 9
|
< îïþ> ? J ` a
|
g
|
o îïþs z { | îïþ « îïþ¯ ° · » ¾ îïþÀ ! Á " Î # æ $ ç í õ îïþù & ' ( + " îïþ) , * / 7 îïþ; 0 < 1 K 3 W îïþ[ 4 \ 6 e 7 u 8 v 9 y ; z < > îïþ ? A £ B ³ C ´ D µ G Â îïþÆ H Ç I Ö K â îïþæ L ç N ð O P Q S T V îïþ$ W % Y . Z > [ ? \ @ ^ A _
|
I * / ; @ # B [ - 0 % + - J * / ; @ # B [ - 0 % + - @ ( ] K J V ] K J V - b K J [ b K J [
|
ò P Ó D b c îïþ d e ' f * h + i : îïþ= j > k J l K m L o b îïþe p f q r r u t v u
îïþ v w x y z
|
S 5 9 9 S 5 : 9
|
ò < k
|
0 } ~
|
|
ò u M
|
îïþ
% B F G K
|
2 6 3
|
ò x  M l ' / L
|
$ & - $ /
|
ò ` : T + 9 ¡
|
F F F F
|
ò < I 0 ¤ ¥ ¦
|
R
|
ò < Y 0 © ª «
|
Q
|
ò À i C ´ ® ¯ îïþ ° ± ´ ¶ , îïþ/ · 0 ¸ 8 ¹ < ¼ = ½ A À
|
& d * ! "
|
ò X ¬ á 0 L Ã Ä îïþ Å Æ É Ê ! îïþ$ Ë % Ì 1 îïþ4 Í 5 Î J îïþN Ï O Ð W Ñ ^ Ô _ Ö ` × a Ø d Ù o îïþs Ú t Û z îïþ~ Ü Ý îïþ Þ ß ¡ à ¥ ã ¦ å § æ ¨ ç « è ¶ îïþº é » ë ¾ ì É îïþÍ í Î î Ö ï Ú ñ Û ó ß ô
|
* > ^ D 6 ) C 8 C 6 ) E @ . !
|
ò 9 x ÷ ù îïþ ú û þ + ÿ 3 7
|
b & #
|
ò ´ Æ K ¨ îïþ# $ ( 4 îïþ7 8 @ D E I
|
0 '
|
ò l ` îïþ
|
' &
|
ò ´ * 6 ¨ îïþ ! " % îïþ" & # ' + ( / + 0 , 4 .
|
7 ( '
|
ò < ` 0 2 3 4
|
:
|
ò < o 0 8 9 :
|
D
|
ô î
|
0² P² h² ² ² À² ز ø² ³ ,³ D³ `³ x³ ¤³ ¼³ à³ ø³ ´ 4´ T´ l´ ´ ¤´ Ä´ Ü´ ü´ µ 0µ Hµ `µ xµ µ ¨µ ĵ ܵ øµ ¶ ,¶ D¶ `¶ x¶ ¶ ¤¶ ȶ ච· · <· T· x· · °· È· ä· ü· ¸ 0¸ P¸ h¸ ¸ ¸ ¸¸ и ô¸ ¹ 0¹ H¹ d¹ |¹ ¹ ´¹ Ô¹ ì¹ º º 8º Pº hº º º ´º ̺ äº üº » 0» H» p» » ¤» ¼» à» ø» ¼ ,¼ H¼ `¼ ¼ ¼ ȼ . * d x .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = . * È y ) .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * @ z ¹ get_EnumAxisNo : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ¬ { Å set_EnumAxisNo . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * | Î get_AxisNo : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * } Ú set_AxisNo . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ~ ã get_AxisType : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * l ï set_AxisType . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * à ø get_Name : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * H set_Name . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * À get_HommingCmd : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * , set_HommingCmd . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ¤ " get_HomeEndCmd : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 *
. set_HomeEndCmd . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * 7 get_Scale : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * ì C set_Scale . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * h L get_SWPlusLimit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * Ø X set_SWPlusLimit . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * T a get_SWMinusLimit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * Ä m set_SWMinusLimit . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * < v get_Timeout : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ¨ set_Timeout . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * $
|
get_HommingTimeout : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : *
|
set_HommingTimeout . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * get_HommingSpeed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * ¬ set_HommingSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ø µ get_TeachList : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * d Á set_TeachList . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = ò H < j I J K F
|
|
ò Ø ) Ì j L M N O ! P ( Q / R : S E T P U W V f W u X Y Z F +
|
% ) ( $
|
ò < ¹ 0 n n
|
n & ' ( ò < Å 0 o o o ' ( ) ò < Î 0 t t
|
t " # $ ò < Ú 0 u u u # $ % ò < ã 0
|
$ % & ò < ï 0 % & ' ò < ø 0
|
! " ò < 0
! " # ò < 0
|
& ' ( ò < 0 ' ( ) ò < " 0
|
& ' ( ò < . 0 ' ( ) ò < 7 0
|
" # $ ò < C 0 # $ % ò < L 0
|
( ) * ò < X 0 ) * + ò < a 0
|
) * + ò < m 0 * + , ò < v 0 ¢ ¢
|
¢ $ % & ò < 0 £ £ £ % & ' ò < 0 ¨ ¨
|
¨ + , - ò < 0 © © © , - . ò < 0 ® ®
|
® ) * + ò < ¬ 0 ¯ ¯ ¯ * + , ò < µ 0 ´ ´
|
´ % & ' ò < Á 0 µ µ µ & ' ( ô . à ༠ô¼ ½ ½ 8½ X½ p½ ½ ¨½ Ľ ܽ ø½ ¾ ,¾ D¾ `¾ x¾ ¾ ¨¾ À¾ ؾ ø¾ ¿ 0¿ H¿ h¿ ¿ ¿ ¸¿ п è¿ À À 8À PÀ pÀ À ¨À ÀÀ àÀ øÀ Á ,Á HÁ `Á Á Á ÀÁ ØÁ øÁ  0 H d |  2 * ( v 2 get_Users ä 2 $USA_LTT.Base
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.IO $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading.Tasks > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * w ¡2 set_Users . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v . * ô 8 x ª2 .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v 6 * ° _ y â2 RefreshUsers ø P _ â2 " directoryInfo 0 Ü w 3 fileInfo l Ø r %3 user 0 5 ½3 user 0 L 5 4 user Z É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v , tì ììPvË+wq 6 * ( z A4 SaveOrCreate : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v l . * Q { Ä4 Delete : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v g 2 * | 5 ExistsUser : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v 2 * ( } 25 GetUser : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v 6 * p W ~ Z5 GetUserList , W Z5 " userList ¼ ( u5 " user > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 v GG ò < 2 0
|
ò < ¡2 0 ò x ª2 8 l ! # ( $ ) % 0 & 7 ' - . R 0
|
$
|
ò L â2 _ / @ * + - ! îïþ$ . % / , 0 - 2 . 2 < îïþ> 2 C 3 D 4 K 6 \ îïþ` 7 a 8 u îïþy 9 z : ; = > ² ? ³ @ ´ A µ îïþ¹ 2 Â D × îïþÛ E Ü F ã G ð H ý I K L O % îïþ) P * Q 1 R > S K T T V ] W ^ X
|
a . ( + J ' ( = 6 9 < ( * 3 ( # ( / $ 8 ( ( ( 1 $
|
ò ¨ A4 [ \ % ^ 7 îïþ: _ ; ` S a V c W d o e p g h
|
Y . 1 4
|
ò Ä4 Q x k l n , îïþ/ o 0 p = q > s P t
|
T - (
|
ò x 5 l w x îïþ y z } ~
|
-
|
ò x 25 ( l îïþ
! " &
|
% 1
|
ò ´ Z5 W ¨ îïþ # $ 1 2 = îïþL U
|
4 " . , ! '
|
ô H °Â È à ø à $à <à Xà pà à ¤Ã ¼Ã Ôà ðÃ Ä Ä 8Ä TÄ . * 0 | = S .ctor ø | S
|
$USystem $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.IO " $USystem.Runtime.InteropServices $USystem.Collections.Generic $USystem.Xml.Serialization 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 2 * > Ï ThreadInit . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ? è ThreadStart . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * , { @ ö GetDeviceID ä { ö @ ¬ a ÷ n strIP n deviceID @ à X n e B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = X0¯ 2 * A q Connect 0 ¸ q o deviceID o result N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = Oä&(¸l 2 * Ä e B DisConnect x e p result F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = wÚ»G . * 4 C f Open : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = . * ¤ D x IsOpen : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * 8 E PMACSendData ¨ È q bResult à ü " q commandBytes " q receivedBytes q result à Ä
q ee j É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = < .w,;J
Wk£¶ÀA 6 * ¤ F SetAxisHomePos . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * G © GetAxisHomePos : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * H · SetAxisActualPos . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * I  GetAxisActualPos : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * x J Ð SetAxisActualSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * ô K Û GetAxisActualSpeed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * `
|
L é SetAxisStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * Ø
|
M ù GetAxisStatus : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * T N GetAxisTargetPos : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * Ð O GetAxisTargetSpeed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * P P ( GetMotorScaleFactor : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ¼ Q 6 SetAxisName . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * 4 R A GetAxisName : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * S O SetAxisPMacNum . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * T Z GetAxisPMacNum : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * U h SetAxisEnumNum . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ü V s GetAxisEnumNum : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * p W SetMotorScaleFactor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * ð X GetAxisTimeOutSecond : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * d Y SetAxisTimeOutSecond . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = F * ì Z ¥ GetAxisHommingTimeOutSecond : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = F * h [ ³ SetAxisHommingTimeOutSecond . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * è \ ¾ GetAxisHommingSpeed : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * \ ] Ì SetAxisHommingSpeed . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * Ø ^ × GetAxisSWPlusLimit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * H _ å SetAxisSWPlusLimit . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * È ` ð GetAxisSWMinusLimit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = > * < a þ SetAxisSWMinusLimit . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = : * ô b GetAxisTeachData @ ° r dTeach > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = @ : * p c SetAxisTeachData : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * Ü m d LoadMotorData t x m t strRtn t dTemp ¬ @ = ) t sIO_path t strDir t strFilePath ü Ô F n t fs p Ð - x t xs ü < ± ´ t i Ø 8 ° t j ¬ t h t ex ^ É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 0 :ǪûücP~Ga 6 * Ô · e SaveMotorData à | · u bRtn u strRtn D u sIO_path u strDir u strFilePath h @ D Ö u fs Ü < + à u xs x u ex R É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = $ 7|ºîïXP : * 4 ð f ? ParsingAxisData Ø Ì ð ? " v strParsingData " v strParsingData2 v strStatus v nStatus v nBit v nBitResult v nCnt v dActPos v dHomePos v dPos
|
v dVel v bStatus È S t v i b É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 4 ?dÁâ '-Eh¯_ 2 * | ª g / DataUpdate 8 ( ª / l ð 6 w dataCheck ì & D w i l $ º w ee N É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = ¯ ùí 2 * Þ h Ù AlarmCheck J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = ÏOÏ 6 * L i · GetCtrlData · < È ¸ y bResult y strMsg " y strReturnMsg < ü N y ee F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 9» 2 * T o j W ServoOnOff P o W z strCmd z sReceive ¹ z ee B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = %1 6 * `! > k Æ StartHomming X ! > Æ { strCmd { sReceive ! ù { ee B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = z^ 2 * h" > l ClearError d! " > { strCmd { sReceive ! " 7 { ee B É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = ~b 6 * Ô" m B ClearErrorAll . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 2 * $ n \ MoveAbs Ø" Ô# \ | dPosToCnt | dSpeedToCnt | strCmd | sReceive # Ð# Ù | ee F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = R³ÔrV 2 * % o ç MoveRel $$ <% ç } dAddPos } dPosToCnt } dSpeedToCnt } strCmd } sReceive X$ 8% o } ee J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = TÙsX 2 * ¤& p } MoveJog % T& } ~ axis ~ dSpeedToCnt ~ sReceive ~ strCmd J É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = <¹7 2 * t' * q MoveStop ¨& 0' * sReceive strCmd > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = \ 6 * ì' r ; MoveXYTStop : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = 6 * ,) ¬ s Z IsLoadPosition ð' à( ¬ Z (( Ü( | * isMotorXLoadPosition * isMotorYLoadPosition * isMotorTLoadPosition F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = Óx : * p* ¬ t IsCenterPosition 0) $* ¬ l) * | - * isMotorXCenterPosition * isMotorYCenterPosition * isMotorTCenterPosition F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = Ò{$ > * Ä+ ¬ u ² IsPowerMeterPosition t* x+ ¬ ² ´* t+ | Ù . isMotorXPowerMeterPosition . isMotorYPowerMeterPosition . isMotorTPowerMeterPosition F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = Ó/ > * - ¬ v ^ IsBeamProfilePosition È+ Ì, ¬ ^ , È, |
. isMotorXBeamProfilePosition . isMotorYBeamProfilePosition . isMotorTBeamProfilePosition F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = Ó3 . * |- w
|
.cctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 = ò È S | $ ¼ ¼ ½ ú û * ü 6 ý D þ P ÿ \ h t ¤ ° ¼ È Ô
|
à ì ø ( 4 @ L â W " ^ # _ $ f & m ( t ) { * ' + M K M ^ E D D F K E L P J O P I K M M M M M M M M M D 2
|
$
|
ò < Ï 0 / 0 2
|
1
|
ò < è 0 5 7 :
|
$
|
ò ¨ ö { = ? @ A C Q D ^ F b H c I d J u K y M
|
1 § J & N
|
ò ° q " ¤ P Q îïþ R T V îïþ" W # X ' [ . ] 4 îïþ8 ^ 9 ` @ a G b K e L f R îïþV g W i Z j ` îïþd k e m l n o o v îïþz p { r s u v x
|
2 D 7 , % B E * L * A
|
ò , e { | îïþ } ~ # * / îïþ2
3 ? C D J îïþN O R Y îïþ] ^ _ c
|
" B " 8 . @ L
|
ò < f 0
|
-
|
ò < x 0 ¡
|
¢
|
!
|
ò K ¥ ¦ © ª îïþ ® ¯ * ° 2 ³ > ´ I µ ^ · d îïþh ¸ i ¹ º » ½ ¾ îïþ ¿ Á « Â ± Ã ¸ îïþ¼ Ä ½ Æ Ó Ç Ù È à îïþä É å Ë û Ì Í îïþ Î Ð # Ñ ) Ò 0 îïþ4 Ó 5 Õ K Ö Q × X îïþ\ Ø ] Ú s Û v Ü } îïþ Ý ß à á ¢ îïþ¦ â § ä ½ å À æ Í îïþÑ ç Ò é è ê é ì ð í ò î ó ð þ ñ ò ó ô õ ÷ ø
|
" ) ' , " H 7 < Y $ J c P d Q e R f N b S h S h R f - [ . % ( ! (
|
ò < 0
|
|
.
|
ò < © 0
|
.
|
ò < · 0 ! "
|
#
|
0
|
ò < Â 0 & ' (
|
0
|
ò < Ð 0 , -
|
.
|
0
|
ò < Û 0 1 2 3
|
0
|
ò < é 0 7 8 9
|
F
|
ò < ù 0 < = >
|
>
|
ò < 0 A B C
|
,
|
ò < 0 F G H
|
.
|
ò < ( 0 K L M
|
.
|
ò < 6 0 P Q
|
R
|
0
|
ò < A 0 T U V
|
-
|
ò < O 0 Y Z
|
[
|
/
|
ò < Z 0 ] ^ _
|
-
|
ò < h 0 b c
|
d
|
/
|
ò < s 0 f g h
|
-
|
ò < 0 s t
|
u
|
0
|
ò < 0 x y z
|
.
|
ò < 0 | }
|
~
|
6
|
ò < ¥ 0
|
5
|
ò < ³ 0
|
|
=
|
ò < ¾ 0
|
3
|
ò < Ì 0
|
|
5
|
ò < × 0
|
2
|
ò < å 0
|
|
5
|
ò < ð 0
|
3
|
ò < þ 0 £ ¤
|
¥
|
6
|
ò ü ð ¨ © «
|
îïþ ® ) ¯ 4 ° ? ± A ´ L µ W ¶ b · d º o » z ¼
½ À Ã Ä
|
- : : : : : : : : :
|
ò ä Ø Ç È îïþ Ë " Ì - Í 8 Î : Ñ E Ò P Ó [ Ô ] × h Ø s Ù ~ Ú Ý à
|
9 9 9 9 9 9 9 9 9
|
ò m 5 å æ ç é ê ë ! ì 9 îïþ= í > î E ï F ð S ò ] ó ^ ô o õ ö ÷ îïþ ù îïþ¡ ú ¢ û ½ ü Ø ý ó þ ÿ ) D _ z îïþ ¼ Ý þ
|
|
. îïþ5 6 ù < ù C îïþJ M O P b e j
|
, = : I 7 D R R J B J N E N Q _ U S U # K H H N K N % I : = ! 8 ( N
|
ò h · \
|
4 îïþ8 9 @ ! A " N $ X % Y & j ' z ( | ) *
îïþ + , - . ª / ¬ 0 ¯ 2 ´ 3
|
= : I 7 D T R 5 ! : ( N
|
ò | ? ð 3 p 6 ; < = @ B # F 8 G B H H J ] K g L q M w O ~ P Q R V ³ W ½ X Ó Y Ý Z ç [ í ^ _ ` & a / b 5 d 8 îïþ: e ; f K îïþO g Q i W j c k o l u m v d | d îïþ p q ª r ¶ s ¼ v Ñ w Þ x é y ï z
|
$ ! " 2 ? < ? = , ' 5 ( * ? 9 > ( , ? = 5 7 ^ - = = ! 8 ; 6 ? @ C ? @ E
|
ò / ª * } îïþ
|
îïþ
îïþ & . /
3
8 îïþ; A îïþE F M P Q X Y [ \ c n îïþr s ¡ ¢ ¤ ¥ ~ ¢ îïþ© ¦
|
+ H ' K . B E ) @ 0 * * " . , f % 3
|
ò Ù Þ © ª
|
îïþ « ¬ $ % ® . îïþ1 ¯ 2 ° H ± I ³ R îïþU ´ V µ l ¶ m · v îïþy ¸ z ¹ º ¼ îïþ ½ ¾ ¶ ¿ · À Á îïþÅ Á Æ Â Ü Ã Ý Ä
|
F Y F Y F Y F Y F Y F Y
|
ò ¨ · Ç É Ê Ì z Í Ï Ð Ñ Ó Ô Ö Ø
|
& % * B 5 !
|
ò Ì W o À Û Ü Ý îïþ Þ 0 à R â T è U é _ ê b ë c ì d î g ð l ñ
|
` a $ 4 !
|
ò Æ > # % & 0 3 4 5 8 <
|
` $ 4 !
|
ò > ! # # % ) & * 0 + 3 , 4 - 5 / 8 1 < 2
|
d $ 4 !
|
ò T B H 5 6 7 8 9
|
) ) )
|
ò Ì \ À < > ? A ( B 1 O m Q o W p X z Y } Z [ ] d e
|
` N . 0 $ 4 !
|
ò Ø ç Ì j m n o ) q 2 r ; { w } z {
|
= F M 1 / $ 4 !
|
ò À } ´ « 6 ¬ @ ¯ F îïþJ ° c ± i îïþm ² ´ µ
|
$ M $ k 0 - J 3 J 7
|
ò ` * T ¸ ¹ ¼ ½ $ ¿ ( À
|
$ c 0
|
ò ` ; T Â Ã Ä Å Ç È
|
' ' '
|
ò Z ¬ Ë Ì $ îïþ' Í ( Î N Ï t Ð Ò £ Õ ¤ Ö © Ø
|
ª ¤ ¤ ¤ ]
|
ò ¬ Û Ü $ îïþ' Ý ( Þ N ß t à â £ å ¤ æ © è
|
© ¨ ¨ ¨ c
|
ò ² ¬ ë ì $ îïþ' í ( î N ï t ð ò £ õ ¤ ö © ø
|
ª o
|
ò ^ ¬ û ü $ îïþ' ý ( þ N ÿ t £ ¤ ©
|
ª ¯ ¯ ¯ r
|
ò $
|
¿ 7 ô . Ø lÄ Ä Ä ´Ä ÌÄ èÄ Å Å 4Å LÅ dÅ Å Å ¬Å ÄÅ ÜÅ ôÅ Æ (Æ HÆ `Æ Æ Æ ¸Æ ÐÆ ðÆ Ç ,Ç DÇ hÇ Ç Ç ´Ç ÐÇ èÇ È È DÈ \È È È ´È ÌÈ èÈ É É 8É XÉ pÉ É ¨É ÈÉ àÉ Ê Ê @Ê XÊ |Ê Ê ÀÊ ØÊ Ë Ë @Ë XË |Ë Ë ¸Ë ÐË ôË Ì 0Ì HÌ lÌ Ì ¤Ì ¼Ì ÜÌ ôÌ Í (Í DÍ \Í |Í Í °Í ÈÍ äÍ üÍ Î 0Î LÎ dÎ Î Î ´Î ÌÎ èÎ Ï Ï 0Ï HÏ `Ï xÏ Ï ¨Ï ÀÏ ÜÏ ôÏ Ð ,Ð LÐ dÐ Ð Ð ÄÐ ÜÐ ôÐ > * ? Õ` get_MainCDAPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * @ ç` get_MainVacuumPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * | A ù` get_N2PTPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * ø B a get_MainCDAFlow : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 B * | C a get_ChamberVacuumPressure : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * @ á D /a .ctor ü á /a ° ø ( ½a H i > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ú 6 * $ º E b statusUpdate D È º b | Ä b ) e V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ¬_Uj 2 * " F Êb GetCommand : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 : * L " G ìb ReadMeasuredValue ð " ìb I command " I receivedData Ø ì þ c I datas I register 0 è | Nc I i ä d Sc I fl V É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ( R~Ð)îm 2 * ü z H d WriteRead P ¸ z d . data > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 W ò < Õ` 0 + ò < ç` 0 + ò < ù` 0 # $ % + ò < a 0 + , - + ò < a 0 3 4 5 + ò 8 /a á , ; < ! = 2 > C ? P @ ] A j B w C E G îïþ H I ¥ J ¦ G ª G ³ îïþ¶ L ½ N Ô O à P . ! *
|
* ) = % @ L ! < , & ) $ $ 7 $
|
ò b º S îïþ U W X Z îïþ [ \ # ] & _ ' ` \ îïþ_ a ` c c e d f n îïþq g r h
i j k l m n o p ¡ q ¢ T ² îïþ¹ r
|
& . 1 ! e $ R 3
|
ò < Êb " 0 u v w
|
L
|
ò ¼ ìb " # ° z { | ~ îïþ# $ 6 9 Z îïþa
b e îïþg h îïþ ¯ ² ³ Ã Ä Ê Ë Ñ Ú îïþÞ á ð îïþô
|
!
|
: 0 5 : " J # C < ? $ 7 @ % 5 2 j e
|
ò d z ) ¡ E îïþH ¢ I £ h ¤ l § m ¨ t © x «
|
D + K -
|
ô l P Ñ 0Ñ HÑ pÑ Ñ ¨Ñ ÀÑ àÑ øÑ Ò 8Ò LÒ dÒ Ò Ò ´Ò ÌÒ ìÒ Ó Ó 2 * 8 ¥ S4 get_Name 2 * p ¦ Z4 set_Name : * ° § b4 get_RecipeNames : * ð ¨ i4 set_RecipeNames . * \ © q4 .ctor 6 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 . * < = ª 4 Clone ` ø = 4 ¹ clone ô # 4 ¹ i > É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 © sk 2 * ( « Å4 IsEquals @ Ü Å4 º check t Ø - 5 º i F É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 © 2©®¥ ò $ S4 " ò $ Z4 # ' ò $ b4 ' + ò $ i4 , 0 ò H q4 <
|
|
*
|
ò ´ 4 = ¨ îïþ ) * . 4 îïþ7 ;
|
1 $ < " %
|
ò D Å4 8 îïþ ! " # $ + îïþ. % / & 1 ' 4 ) 5 * I , K îïþM - N . f / g , k , r îïþv 0 w 2 | 3
|
4 c 7 O ) , ! '
|
ô v 8 4Ó LÓ dÓ |Ó Ó ´Ó ÌÓ ìÓ Ô Ô 0Ô DÔ \Ô tÔ 6 * < Ç \: get_ScanMode 6 * x È c: set_ScanMode . * ¬ É k: get_X . * à Ê r: set_X . * Ë z: get_Y . * H Ì : set_Y . * ¬ Í : .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 à ò $ \: g $ ( ò $ c: g ) - ò $ k: h ò $ r: h $ ò $ z: i ò $ : i $ ò T : H l m n o p
|
&
|
ô ¨ 8 Ô ¨Ô ÀÔ ÜÔ ôÔ Õ Õ 4Õ LÕ `Õ xÕ Õ ¤Õ ¸Õ > * Ì D «^ <statusUpdate>b__37_0 «^ $USA_LTT.Base
|
$USystem $USystem.Threading 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ò $ «^ À P ô ÐÕ ôÕ > * ¡ Þ} get_CurrentSoftFaults : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * ô ¢ ê} set_CurrentSoftFaults . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * t £ ó} get_CurrentBoardFaults : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * è ¤ ÿ} set_CurrentBoardFaults . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * l ¥ ~ get_CurrentSystemStatus : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ä ¦ ~ set_CurrentSystemStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * h § ~ get_CurrentSystemFaults : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * à ¨ )~ set_CurrentSystemFaults . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * d © 2~ get_CurrentGeneralAlarms : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * Ü ª >~ set_CurrentGeneralAlarms . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X N * l « G~ get_CurrentTemperatureControlFaults : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X N * ð ¬ S~ set_CurrentTemperatureControlFaults . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * p \~ get_CurrentSystemState : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * ä ® h~ set_CurrentSystemState . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * ` ¯ q~ get_EnableShutter : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * Ð ° }~ set_EnableShutter . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * H ± ~ get_EnableLdd : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ´ ² ~ set_EnableLdd . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * , ³ ~ get_SetCurrent : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ´ §~ set_SetCurrent . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : *
|
µ °~ get_ActualCurrent : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : *
|
¶ ¼~ set_ActualCurrent . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * · Å~ get_DiodeVoltage : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * p ¸ Ñ~ set_DiodeVoltage . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * è ¹ Ú~ get_MaxCurrent : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * T º æ~ set_MaxCurrent . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * Ì » ï~ get_LddHours : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * 8 ¼ û~ set_LddHours . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 2 * ¬ ½ get_Prf : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 2 * ¾ set_Prf . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ¿ get_PrfSource : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ø À % set_PrfSource . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * p Á . get_GateSource : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * Ü Â : set_GateSource . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * T à C get_PecSource : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * À Ä O set_PecSource . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * 8 Å X get_FpkEnable : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ¤ Æ d set_FpkEnable . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * Ç m get_FpkRampTime : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * È y set_FpkRampTime . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * É get_FpkRampRate : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * | Ê set_FpkRampRate . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ô Ë get_LpkEnable : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ` Ì £ set_LpkEnable . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * Ü Í ¬ get_LpkRampTime : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * L Î ¸ set_LpkRampTime . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * È Ï Á get_LpkRampRate : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * 8 Ð Í set_LpkRampRate . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ¼ Ñ Ö get_ShgTemperatureSetPoint : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * 4 Ò â set_ShgTemperatureSetPoint . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ¸ Ó ë get_ThgTemperatureSetPoint : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * 0 Ô ÷ set_ThgTemperatureSetPoint . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ´ Õ get_LdTemperatureSetPoint : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * , Ö set_LdTemperatureSetPoint . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ° × get_ShgActualTemperature : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ( Ø ! set_ShgActualTemperature . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ¬ Ù * get_ThgActualTemperature : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * $ Ú 6 set_ThgActualTemperature . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ¨ Û ? get_LdActualTemperature : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * Ü K set_LdActualTemperature . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * Ý T get_DutyControl : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * Þ ` set_DutyControl . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * ß i get_DutyControlWidth : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * à u set_DutyControlWidth . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * x á ~ get_PecLevel : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ä â set_PecLevel . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * ` ã get_BurstStatus : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * Ð ä set_BurstStatus . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * H å ¨ get_BurstCount : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ´ æ ´ set_BurstCount . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ,! ç ½ get_BurstRate : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ! è É set_BurstRate . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * " é Ò get_BurstCycles : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * " ê Þ set_BurstCycles . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * # ë ç get_BurstFiringMode : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * x# ì ó set_BurstFiringMode . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * ø# í ü get_BurstTriggerSource : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * l$ î set_BurstTriggerSource . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * ì$ ï get_DutyControlMode : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * `% ð set_DutyControlMode . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * ä% ñ & get_PowerMonitorReading : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X B * \& ò 2 set_PowerMonitorReading . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * Ø& ó ; get_FlowReading : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * H' ô G set_FlowReading . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * È' õ P get_HumidityReading : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * <( ö \ set_HumidityReading . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ´( ÷ e get_IpAddress : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ) ø q set_IpAddress . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * ) ù z get_SubnetMask : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * * ú set_SubnetMask . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * |* û get_Gateway : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X 6 * è* ü set_Gateway . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X . * L+ ý ¤ .ctor . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * ü+ ^ þ % ChangeSoftFaults P+ ¼+ ^ % f bit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * ¬, ª ÿ ChangeBoardFaults , l, ª f bit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * \- - ChangeSystemStatus °, - - f bit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * . ^ Ä ChangeSystemFaults `- Ì- ^ Ä f bit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X > * À. " ChangeGeneralAlarms . . " f bit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X F * |/ ª ¹ ChangeTemperatureControlFaults Ä. </ ª ¹ f bit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X : * ,0 c
ChangeSystemState / ì/ c
f bit : É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 X ò < Þ} 0 È É
|
Ê + ò < ê} 0 Í Î Ï , ò < ó} 0 Ø Ù
|
Ú , ò < ÿ} 0 Ý Þ ß - ò < ~ 0 è é
|
ê - ò < ~ 0 í î ï . ò < ~ 0 ø ù
|
ú - ò < )~ 0 ý þ ÿ . ò < 2~ 0
|
|
|
|
|
. ò < >~ 0
|
|
|
/ ò < G~ 0
|
|
|
|
9 ò < S~ 0
|
|
|
: ò < \~ 0 (
|
)
|
|
*
|
, ò < h~ 0 -
|
.
|
/
|
- ò < q~ 0 8
|
9
|
|
:
|
' ò < }~ 0 =
|
>
|
?
|
( ò < ~ 0 H
|
I
|
|
J
|
# ò < ~ 0 M
|
N
|
O
|
$ ò < ~ 0 X
|
Y
|
|
Z
|
$ ò < §~ 0 ]
|
^
|
_
|
% ò < °~ 0 h
|
i
|
|
j
|
' ò < ¼~ 0 m
|
n
|
o
|
( ò < Å~ 0 x
|
y
|
|
z
|
& ò < Ñ~ 0 }
|
~
|
|
' ò < Ú~ 0
|
|
|
|
$ ò < æ~ 0
|
|
|
% ò < ï~ 0
|
|
|
|
" ò < û~ 0
|
|
|
# ò < 0 ¨
|
©
|
|
ª
|
ò < 0
|
®
|
¯
|
ò < 0 ¸
|
¹
|
|
º
|
# ò < % 0 ½
|
¾
|
¿
|
$ ò < . 0 È
|
É
|
|
Ê
|
$ ò < : 0 Í
|
Î
|
Ï
|
% ò < C 0 Ø
|
Ù
|
|
Ú
|
# ò < O 0 Ý
|
Þ
|
ß
|
$ ò < X 0 è
|
é
|
|
ê
|
# ò < d 0 í
|
î
|
ï
|
$ ò < m 0 ø
|
ù
|
|
ú
|
% ò < y 0 ý
|
þ
|
ÿ
|
& ò < 0
|
|
% ò < 0 & ò < 0
|
# ò < £ 0 $ ò < ¬ 0 ( )
|
* % ò < ¸ 0 - . / & ò < Á 0 8 9
|
: % ò < Í 0 = > ? & ò < Ö 0 H I
|
J 0 ò < â 0 M N O 1 ò < ë 0 X Y
|
Z 0 ò < ÷ 0 ] ^ _ 1 ò < 0 h i
|
j / ò < 0 m n o 0 ò < 0 y z
|
{ . ò < ! 0 ~ / ò < * 0
|
. ò < 6 0 / ò < ? 0
|
- ò < K 0 . ò < T 0 © ª
|
« % ò < ` 0 ® ¯ ° & ò < i 0 ¹ º
|
» * ò < u 0 ¾ ¿ À + ò < ~ 0 É Ê
|
Ë " ò < 0 Î Ï Ð # ò < 0 Ù Ú
|
Û % ò < 0 Þ ß à & ò < ¨ 0 é ê
|
ë $ ò < ´ 0 î ï ð % ò < ½ 0 ù ú
|
û # ò < É 0 þ ÿ $ ò < Ò 0
|
|
% ò < Þ 0 & ò < ç 0
|
) ò < ó 0 * ò < ü 0 ) *
|
+ , ò < 0 . / 0 - ò < 0 9 :
|
; ) ò < 0 > ? @ * ò < & 0 I J
|
K - ò < 2 0 N O P . ò < ; 0 Y Z
|
[ % ò < G 0 ^ _ ` & ò < P 0 i j
|
k ) ò < \ 0 n o p * ò < e 0 y z
|
{ # ò < q 0 ~ $ ò < z 0
|
$ ò < 0 % ò < 0
|
! ò < 0 " ò ´ ¤ ¨ × Ø Ù Ú Û , Ü 8 Ý D Þ P ß \ á h â t ã ä
|
3 5 7 7 9 O 5 + , )
|
ò l % ^ ` í î ð $ ñ 7 ò J ó ] ô
|
? 0 6 : 9
|
ò ª û ü þ $ ÿ 7 J ] p ©
|
@ / 1 6 1 7 0 . 0
|
ò -
|
$ 7 J ] p
|
A 3 9 5 1 1 < 8
|
ò l Ä ^ ` ! $ " 7 # J $ ] %
|
A 2 2 > 6
|
ò "
|
, - / $ 0 7 1 J 2 ] 3 p 4 5 6
|
B 1 1 0 1 0 5 3
|
ò ¹ ª = > @ $ A 7 B J C ] D p E F G © H
|
M P P P P P P P P
|
ò c
x O P R $ S 7 T J U ] V p W X
|
@ ? 0 2 2 4 4
|
ô Ø Ö 0Ö HÖ lÖ Ö ¬Ö ÄÖ ìÖ × ,× D× l× × ¬× Ä× ì× Ø ,Ø DØ lØ Ø ¸Ø ÐØ Ù Ù DÙ \Ù Ù Ù ¼Ù ÔÙ ôÙ Ú (Ú @Ú \Ú tÚ Ú ¬Ú ÌÚ äÚ Û Û <Û TÛ tÛ Û ¬Û ÄÛ äÛ üÛ Ü 4Ü PÜ hÜ Ü Ü ´Ü ÌÜ äÜ üÜ Ý 0Ý LÝ dÝ Ý Ý ¼Ý ÔÝ ðÝ Þ $Þ <Þ XÞ pÞ Þ ¤Þ ÄÞ ÜÞ üÞ ß 4ß Lß lß ß ß ¸ß Ôß ìß à $à Dà \à |à à ´à Ìà øà á <á Tá á á Äá Üá â â Dâ \â â â Äâ Üâ ã ã Dã \ã ã ã Äã Üã üã ä 4ä Lä pä ä ¬ä Ää àä øä å ,å Lå då å å ¼å Ôå ôå æ (æ @æ \æ tæ æ ¬æ Ìæ äæ ç ç Dç \ç ç ç Äç Üç è è <è Tè |è è ¼è Ôè ôè é ,é Dé hé é ¤é ¼é Øé ðé ê $ê Dê \ê |ê ê °ê Èê äê üê ë (ë Hë `ë ë ë ¼ë Ôë øë ì 4ì Lì |ì ì ´ì > * H ³ \p <ReadAlarmFile>b__10_0 \p
|
$USystem $USystem.Collections.Generic $USystem.IO $USystem.Linq $USystem.Text $USystem.Threading $USystem.Threading.Tasks $USystem.Windows.Forms 2 É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 > * ¼ ´ dp <ReadAlarmFile>b__10_1 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ³ > * 0 µ lp <ReadAlarmFile>b__10_2 . É?êƳYÖI¼% »«´` M D 2 ³ ò $ \p 0 5 ò $ dp I N ò $ lp U \ ô Ìì ôì í 4í Lí tí ÿÿÿÿ /ñðE $ åw Ýl ½ë ¥J ¥e ! ©À L m¢
) Á¾ Ý Åj « L E ùL ù³ É| _ åÛ ½³ ¥¶ -³ S N Ù ñ µ í+ ]ê ¥
1Â - 1µ U ýO ! 5ß %ê Ñ5 ¶ AW UQ ý
¸ 5 Ù> 9½ q½ ² º ± µc íS ÁÀ i¸ N á» } ] !\ -Ø 5¤ À ÍÒ ©S õÅ / ¥ !Ò Å Í Í¯ X Í Õ.
Eê ] = qY È I ÅÅ E¾ ÝB µ2 -
|
Åu áy 5 E == ¾ ¥B }2 ý qv a{ 1Ì ¡ - ]ç Åk a} }£ í. Í_ Í ã ¡¤ Ó ñ¬ Å© © ý ¡ }b )W ÍQ ¡7 q7 V i¤ ç q8 Í% í~ yÏ õ¤ 9o ñ Ñ 1 ½Ã é ɦ q 9 æ I ¥ II ) x ©l ùë uJ Õe a Y å õr Ú Q ] ¾ j Q« eÎ H É~ Mí µ_ Û Q uÚ ÉI ùy EG - a³ Ù¬ ÕS éM í2 ½ é uh M 1ª Ñ á
ùÁ ¡f Ut aµ Ý© ùU é{
a )Y ] ýÞ ù y %3 ½ ɶ Õ %Q 1 C E2 ¹¸ õ }! ½é 1Ý Õè uC 2 Mì 9 ¥O é ! ýÜ ñé ©H éY 9º } ác ¼ I $ - ù, . ]\ í× u Å, =. ÍK 9$ a X © å áÑ MÅ 5 ° ÕW -Ç ms 9\ ½ ê =s u\ AY µÈ Í v ¥y ÁÊ ¥v ){ mÌ e¡ M- 1Ï õk )} MÎ ] Åâ íß ±~ ©Ï Á¤ mo ¥Þ ñà ± Y½ á q ]æ ÁX %à ùc ÝÞ u 5ì K 9e ) Á År Ñm ½ 1¿ M Mj Yn R M ) í
5 a )ë ñª E Á² ¬ T N y B M, h 9
 Õf !t Íà © -V iP 9 Ý Uá Ip Í8 Õ ÍA áH á p ¥( Ý¥ á -¶ µQ Åh µ Y ]J h 1T Í ¹ I e Q É Õb ¥ Ý) !4 Ý( e2 Ô ¥ y{ e * A} = ©Ñ Å M õÕ ýê ¥Õ Ô 9Ò mÄ Ã ½ á¼ y¶ ± U ¡« ¨ ¥§ ¢ å¡ å µ ]y ýw ]v t q l =l ýh %e 5c ^ UZ ±U F ñ> ù9 3 ±* E( } å e 9 A 4 ¡W iÇ = ÉH Å( ѧ , Y éÈ ± ¥d Å I u t I qy Ë ¥ Ñ m e, 9t } I ]£ ñz ¥Ì ù¡ , é| Î í£ . 1Î B Å! µº ½ y~ ÝÏ ]¥ Án ¡ IÑ m á y ½ -§ p í M¡ E =% w eÅ ±w E }ì ÙJ qe å áÀ A r ýÍ ©É ±t ñ ù¾ j ` ÉR áL ] !g Íì qÉ ¹5 I¹ íf ù² a¬ UT UN © , åh Å i m
e g ís I» ý´ aV 5P i Ô Ù= aÁ }¹ 9 ÝÔ ÁÔ > Á a¶ U Q Í Q¸ ? 1¸ ~ e b Õ¹ }c å Ñ O ¥» c Õå ÙÁ 2 íÓ %  ý· Õ m å i qÑ Å 5? Z ¯ Ç QR I ( á áX !É } ` } Å
|
u AË m ]
|
½
-±
|
± ù
|
Ù] Áz ÝÌ Í¡ á, 9É )q é k µÎ ¹£ ½. ¡] ©¯ UB ! É ñp ± ¹¿ A~ Ð -¥ ýn I! Šà Ž § Ùp !) é¿ ÅE % Ñ£ !f õ: ! x ¹m µì }K Ùd i« e-
Á m er # %# y ¡¿ Í Ùi ² ùR yM iZ Éw Í# ]# 1« -- ´ © T íN ! } U0 i É é õ* =g ¹s µÇ ùµ V ÍP Ù Ë Ä -Á « YË ùÀ íW Ç Í y· é õ= 9 e¹ ¹f qH u õÏ P
f ͺ y
|
ɼ Ä 1 ý ©F Á; í¹ yF ¥® íÒ ÝÅ Í ÅÛ Ñ` ÑÇ 5 ýÛ Õ< YÉ EV }Ë ¡ e ¡< Ù1 Iw A| Í U¢ ù ] õÔ A> ] MÕ > }l éÎ Q¤ %. ¥1 !Õ m> yÕ Å> º UL ý é
Ö É ٠MРť }/
t ù½ § 1p 5 ! ÅÖ ¡Ð Åx m EK e ¥ 5 IÁ ¥ 5r m 9 5 i¿ ù ¥i )¬ )S MM ù M m Y ± U´ ᨠÙT ¹N M i² yq !0 =i = ± Õ Å* qg
s ÑV P í 1² ]Ô * ±· µ åQ e L á -å ¡z Z eå ýº E
|
1Ñ µÄ ý E¥ ¼ Á ñ; MP 5N á® µÒ Æ { ©X È u ì · åt Z É å A z ¹Ë Õ ¹ 5 y Qf %; õÌ }w | EÍ %¢ }, 9 ~ Ï ¤ ]. U% m % } - ù ¡ Ð ¥ n q ½d 9 -¾ Y§ ap a¼ a M ñd Å9 =x Em ùK i* R r Á å ù À 1 qi ÅZ =+ é« ]S å i
Ì ½Ì ùZ q+ ¥³ ¨ U UO Á M ± ù y ! Y+ ¥g Us µ Õ W D QD m · } U> É ¡0 1 é? õ¸ ? q1 M è
@ Q@ m0 Õ0 µ? é} Uè @ ¹@ -Ð M? =1 M ) éa
W i5
5 iº
|
Ic Ѹ õ3 I¼ á éÄ yV Å ÉÍ s Ýr 9 ù %® Ò IÆ 1 y ù Ü ë éV A° qX EÈ E Å ÍÜ mT µp ] Aæ ÑY ÉÉ - ½® Ev Qz õË æ y V yp ! õ Ï Ùv Ñ{ }Í É¢ %l Ñ} IÏ ý ¡' ¿ Á& i ÅÐ -¦ / Ý É !Ä Y a¾ æ Þ 9 I¿
& m' mQ uæ ÕÝ ù mx m µK * )Æ Í É ÁÁ y¬ ¹ É Ñ¿ ] Iq Q² µ« ±M mf Õ aÆ á³ ¨ YU !O õ ñ ! M 0 í ùI A ] %+ Õg %s ŵ ùP © µ¹ - Åä =· E )> á éo ±\ 1¹ q
Y| y ù ñ\ ùä ¹o E Å y} º å qU
¼ ± e id Ùz 1U e® MÒ Æ =Z ÙÊ ÁÑ å r ! Á[ å8 q° =X á Ê É }r ± ý[ É· S 5 q^ YW 1J 4 ¡Y Ê U y9 ᢠz 5¡ áR )
w { ±Í ¢ ½ Ql } ¤ í- 90 Mä å¯ 95 ᦠiz 0 ä K - õÐ ù¥ M/ E³ 1u ³ Ét UÄ ! © p ýt eu qL å qÀ Ñ ù] )Ú i4 ; ì Ü %6 U ÅO ¡N ½+ h Ó )Í M ma
Ý 7 ª mß i? Õ ! ÍÓ ¨ > M ; 9< © ½g ¸ Y; íg åC m< % AÚ Uh ac ¥q 1Ö %1 é± ¡ Ú Á U mØ 3 9 ½< h ½y a) ¹Æ C í EC á }è G ' ] =à % }ê qI ) AÊ ý ¡² Qº u Ù² åÍ E£ UA 5´ ]Í =¢ mt aq ¥Ã ½e : ý ùà Õ@ A Eã ÅB e" ¹§ m´ éÇ õ¼ ¦ ùÑ eÝ µ áä 9D í# µ Ý e Íæ -F õ% Õ =L iE ]3 ©G íq µ" E" 9À ¹ - É µ Ma Õë E %^ õÙ 4 Ý: é° ½q í" õì G }" é_ ]6 á Ñ- ½ eM ÅU O Å° Ï ùX eÓ ©¾ Ek + + =h Õ % a MÝ ¹7 e Yª 5Ó y¾ k Ý* e ý^ É^ !X ñJ ? aÕ ±¬ ¡ > Ý a[ ¥+ ÑÕ å o ù
ÝÐ Y° 1¨ ýQ Qo uS Z ± Y1 µ± å Ùn Ý [ Õ+ Ò \ E3 uÔ ñ<
o AS ñÆ a -¼ aw =è ÁG U' =6 ñ ±I I) iR 8 }Ê Å ½» %w ¥R ÑØ Î £ » ñv 9 µà A a -
Ø ±T E ýB -" é§ !½ a¦ ݽ mB ͱ ÑN Í ä qD µ# ± § A
x ^ ©½ ¥ aF µ% 5B %n ¹ Mr !ç ÙG ñ m ¹ µ} ÑË ]ã Õ' !° !| Y^ Ú 4 ©: r ]m åæ -`
Ü Ë ã ( qG 1z ´ }© U ) £ Ña ñÝ -7 ) ª Ñ Õß 5Õ ° Íc å· i & Ì !È IÌ ¥¥ I& A¬ 1» á
|
)x áZ Ö ½0 ± ) E %K Ù\ Ù EÔ %= ÍÎ ¯ mW A ¤ ] õè -G ' - åê ) %m åº u Ey ½ E¶ 5, é ¶ ±P Å Qe %: , E§ %d -k ±| Ù¤ Ý4 ý qª u á m@ - 1¯ ½ Åã ù! ¨
È %à E b ý Må ÍC }# ÍÈ Ù Eç y% a ñm eÒ Í« Ũ á y Ál =^ ÝU EF Á3 ê ¹ ¥ Éê
^ ]Ú 54 y: u` QÜ í5 Å´ I© U9 E` c ! M ÍÄ ) | b ½Ý Y7 í Ùª ¡ß =9 d ¸ u. ÁÏ ¥. q»
|
qn ᶠ5 y Ñ [ mÖ ñ0 M± ; Í ¥n - Ñ Qb ¡Q E7 ] ¹Ø Õ2 = U¯ Ó -R ? Y~ ½è YG å& u Ä i ±ê 1I I Mu y s 5' u¥ y Ñs m ý& Ýx =H mN ¥$ Í É/ ]k y| g q( _ m$ =á ¡@ á U Ug aÏ ½
ã B Yà " a© Ý! - å D E# ç F 98 !A IÖ a ÕÙ ±^ Û !5 á Y= í@ v Ö ±ª ¹` åÜ õ6 Ù Ù q= %£ 9b YÞ Y8 ©Ô qà e ]: ¥= E Eà 9@ å µ aë 5Ü a¨ iÜ ù¨ ÉM = ¦ y¦ eÐ 1 º Ýj ]È 6 I[ -× õ1 µÓ u P Q]
Ù Ý3 íe Á: =Q ¥j áÉ Í u é ¹Y J Eé Ýu É ié YH Y( 9O ñ · ¡ Ië EJ Qd ¥ íb » }Â É I á â µA e! ý 5ä C - åP 7 á A{ / a ½å E Å$ I¨ Õ !~ A E Åç ýF - å^ ÍÚ Q5 = ±/ a ý` µÜ µ Iµ YY 9 ¥´ Á Y eb %Þ 8 % yµ
à i ñ Ý´ 9 ±{ á ¹ y[ íÖ -2 }Ó Õ ±Â ý ù® ] EÙ E: !< Ux åÚ y³ u mO Û ý -é H -( -© Ù ë =* ©k E¦ ° ñi ÑÆ uk I ½i u6 Æ ± U ÝO q§ Åá éA 1! Å U· = ýã # ]K qÞ ÝE
× ¹ß ¡E Å× å
å QE $ =n =Þ
ß u
ç ©& f ©µ õ© Ýk ! Õq _ uÛ Å4 } Á= l Q 5í ݵ É 5a 6 } I µ b ÅÞ í7 õ ±x Å Ñ? a -[ 8 Ù; e/ < 5/ Ñ7 d ! Ui ÙF EØ q ©[ × 1 MÓ e Á] }3 : U< M4 i Ø Ý6 ÅL í/ ¿ ) Ùé ùG õ' e± áI * Ù¾ Î Q 1 Ý$ ù % Õà 9Ä
- m¯ â µ U U
â =A ý Ýá q -C Õ" ß ¡o ]à YÊ Í )æ ©D U$ Mß © F m& à Ê 9f ýj Ç ±¡ QÀ ]Ù M_ =Û õ4 A; uí Q
Ý Å6 I }¡ À Ù EÇ y Q q }® ¥ ñ é Þ !8 É }à @ ¹Õ µa è ¡¢ ¦ %j × ù å Ýç A Å ±
ej E× UÛ 9d © â ¬ ã å[ m× Á1 ² ] í Û Ýâ ½Ù ©3 á9 < ]â n Í ùD e_ 1_ UX ½J ÁD 1E D U ¥é %H ½' ë J Å) 1Ô il )i U* á 9 Q ¹W 1M ©6 =® ½v ù v ¥ ¹- ä i] ñT 5Å õl Eâ yA É õ Ýã } 1] qä ]C " a Ño ] õå áD !$ u ù» è ÁF 1& M- J
|
A $
@ !À@8 ±1ÍH OÕ A54 6AGà @$ $8@
!
|
®$z °ÆÀb@"Æ LB à# -
|
|
A ":` È`"0À26$Ç, *>c
`` ¡ È° %Ð
|
|
¨
VA 4@ ¢ð0(À( @
|
uëÿÈZ 0p4 aI âø§ÌE%J
|
¡
|
0eP>@ TP1 G!Q
|
¤,Â0
PP!`â ÁÅ F
[È` À] PBÀ "ÑÂço 8Ä 0@`ÖD8D E1DB ¦ÅQ
|
$ì¦"H10Dd R`À (DT
0 ÀhA @±è * *@DRH 0@¹ NÌ("H%
|
X#@È ÈhBF æ O
dC
B,Ø M J æIÄ ` < ` l x ´ Ø ä ü , 8 t ¤ Ô ( 4 @ | ¬ ¸ Ä ô < l x Ø ü , 8 \ È Ô ø @ L | ¬ 0 < H T ` l ¨ À ð , 8 t ° ì ø ( @ d p | Ü è $ ` ¨ À Ø ä ð
|
8
|
t
|
|
¤
|
°
|
¼
|
È
|
Ô
|
ø
|
4 L d p | ¬ Ä Ð ô 0 < ` x ¨ Ø ü 8 h t Ô à @ L X ¸ Ä 0 < T ` l x À ð , 8 t ¤ ¼ È Ô à ì ø ( 4 @ X d p | ¸ Ü è ô < H T ` l ¨ ¬ ¸ Ü ô < T l À Ì ä ð ü 8 t ¤ à ø 4 @ L p | Ä ô T x ´ À Ì 8 t Ô à ø L d p | ¸ Ð Ü H T l x Ì Ø , P \ h t ° ¼ È Ô à ì ø ( 4 L | ¬ ¸ Ð Ü $ T ` l ¨ ´ ð 8 D P ¼ È Ô à ø 4 d p ¬ ¸ è ô ! ! $! 0! <! H! T! ! ! ! ¨! ´! Ì! Ø! ä! ü! " D" P" \" h" t" " ¼" È" ì" ø" # # (# L# X# d# # ¬# Ð# è# $ $$ <$ `$ l$ $ Ì$ ü$ % ,% t% °% ì% & (& @& L& X& & Ð& ' <' H' T' x' ¨' ´' À' Ì' Ø' ä' ð' ü' ( 8( D( P( \( h( t( ( °( ¼( à( ì( ø( () 4) d) p) |) ) ) ) ¸) Ä) * * <* H* T* `* l* x* * Ø* ð* + ,+ D+ \+ + Ô+ (, @, X, d, p, |, , , Ü, - H- l- x- - - À- Ì- Ø- ä- . . ,. 8. P. \. h. t. . . . °. ¼. Ô. à. / (/ L/ X/ d/ / / ¬/ ¸/ Ä/ Ð/ Ü/ 0 $0 00 H0 l0 0 0 0 ´0 À0 ä0 ü0 1 ,1 D1 \1 h1 t1 1 ¼1 È1 ì1 ø1 2 2 2 L2 d2 p2 2 2 ¬2 ¸2 Ä2 Ð2 Ü2 è2 ô2 3 3 $3 `3 3 3 Ì3 ü3 4 4 4 h4 4 ¤4 à4 5 5 (5 45 p5 |5 5 ¬5 ¸5 Ð5 Ü5 è5 ô5 6 6 06 <6 l6 x6 6 Ì6 ä6 ð6 7 7 D7 P7 \7 h7 7 7 ¤7 °7 à7 8 48 @8 L8 X8 8 Ð8 Ü8 è8 9 9 9 $9 09 `9 x9 9 À9 Ì9 Ø9 ä9 ü9 : ,: 8: h: t: : °: ¼: à: ì: ø: 4; d; p; |; ; ; ¬; ¸; Ä; Ð; Ü; ô; < < < $< 0< << < < < Ø< ä< ð< = = ,= \= h= t= = ¤= ¼= È= Ô= à= ì= ø= > > (> 4> d> ¸> Ä> ? ? $? <? T? ? ? ? ´? ä? ð? @ ,@ 8@ P@ \@ t@ @ @ ì@ A 4A LA pA A A ¬A èA B B B ÀB äB ðB üB C C 8C DC \C hC ¤C °C ¼C øC D (D 4D dD pD |D D ¬D ÜD èD E E $E 0E HE `E lE xE E ¨E äE ðE üE ,F DF PF \F hF tF F °F ¼F ìF øF (G @G LG XG dG G G G ¬G ¸G ÐG H $H HH TH `H lH xH H H ´H ÀH ÌH I 8I DI \I hI tI I I ¤I °I ÈI ÔI àI J (J 4J dJ pJ J J J ÐJ ôJ K K $K 0K <K HK TK `K lK xK K K ´K ÌK ØK äK ðK üK 8L DL PL L L ¼L øL M 4M @M ¸M ÄM ÐM èM ôM $N HN `N lN xN N ¨N ´N ÀN üN O 8O PO \O hO tO O O ¤O °O ¼O ÈO àO P (P 4P @P P ¬P ¸P ÐP ÜP èP ôP Q <Q HQ lQ xQ Q ¨Q ´Q ÀQ ØQ äQ ðQ üQ R ,R DR PR \R hR R ¼R ÈR øR S S (S 4S dS S S ¬S ÄS ÐS T $T <T `T lT xT T T ÀT ðT U ,U 8U DU PU \U hU tU U U ¤U °U ¼U àU ìU (V 4V @V |V V V ¬V ¸V ÄV ÜV ôV $W HW TW xW W W W ¨W ´W ÀW ÌW üW X ,X 8X DX PX \X hX tX °X ¼X ÈX ÔX øX Y @Y LY XY |Y Y Y ¬Y ¸Y ôY Z <Z HZ TZ `Z lZ Z Z ÌZ äZ ðZ [ ,[ P[ \[ h[ [ ¤[ È[ Ô[ à[ ì[ ø[ \ \ L\ X\ d\ p\ |\ ¸\ Ä\ è\ ô\ ] ] ] $] 0] <] H] x] ] ] À] Ì] Ø] ð] ^ ^ h^ t^ ^ ^ °^ ¼^ È^ ø^ _ (_ 4_ @_ L_ X_ d_ p_ |_ _ _ _ ¸_ Ä_ ` ` H` T` `` l` x` ` ` À` Ì` Ø` ü` a a ,a 8a Da Pa \a ha ta a a a ¤a °a àa ìa b b (b 4b Lb b Äb Ðb Üb èb ôb c c <c Tc xc c c c ¨c ´c Àc Ìc Øc äc ðc d Pd td d °d ¼d Èd Ôd ød e e (e 4e @e Xe e e ¬e ¸e èe ôe f f f Tf `f lf xf ¨f Ìf g Dg Pg \g hg tg g g g ¤g °g h h (h Lh Xh dh ph h ¬h ¸h Äh * % : get_TemperatureControlFault0 ) : 06000497 * % : set_TemperatureControlFault0 ) : 06000498 * % : get_TemperatureControlFault1 ) : 06000499 * % : set_TemperatureControlFault1 ) : 0600049a * % : get_TemperatureControlFault2 ) : 0600049b * % : set_TemperatureControlFault2 ) : 0600049c * % : get_TemperatureControlFault3 ) : 0600049d * % : set_TemperatureControl ÿÿÿÿ /ñ Fault3 ) : 0600049e * % : get_TemperatureControlFault4 ) : 0600049f * % : set_TemperatureControlFault4 ) : 060004a0 * % : get_TemperatureControlFault5 ) : 060004a1 * % : set_TemperatureControlFault5 ) : 060004a2 * % : get_TemperatureControlFault6 ) : 060004a3 * % ¤ : set_TemperatureControlFault6 ) ¤ : 060004a4 * % : get_TemperatureControlFault7 ) : 060004a5 * % ¨ : set_TemperatureControlFault7 ) ¨ : 060004a6 % .ctor ) 0600011c & % h get_Remote_Control_Mode ) h 0600011d & % ° set_Remote_Control_Mode ) ° 0600011e & % ø get_Local_Control_Mode ) ø 0600011f & % < set_Local_Control_Mode ) < 06000120 & % get_Thermal_Relay_Alarm ) 06000121 & % È set_Thermal_Relay_Alarm ) È 06000122 % get_Open_the_door ) 06000123 % P set_Open_the_door ) P 06000124 % get_Setting_Alarm ) 06000125 % Ð set_Setting_Alarm ) Ð 06000126 % get_RPM_Alarm ) 06000127 % L set_RPM_Alarm ) L 06000128 2 % get_Auto_controlling_for_Over_Current ) 06000129 2 % Ü set_Auto_controlling_for_Over_Current ) Ü 0600012a & % 0 get_Over_Current_Alarm ) 0 0600012b & % t set_Over_Current_Alarm ) t 0600012c " % ¸ get_No_Connection_LCU ) ¸ 0600012d " % ü set_No_Connection_LCU ) ü 0600012e % @ get_LCU_ID ) @ 0600012f % x set_LCU_ID ) x 06000130 % ° get_Data_SV ) ° 06000131 % ì set_Data_SV ) ì 06000132 % ( get_Data_PV ) ( 06000133 % d set_Data_PV ) d 06000134 % get_mmAq ) 06000135 % Ø set_mmAq ) Ø 06000136 % get_mmAqLSV ) 06000137 % L set_mmAqLSV ) L 06000138 % get_mmAqHSV ) 06000139 % Ä set_mmAqHSV ) Ä 0600013a % ChangeStatus ) 0600013b % SetData_SV ) 0600013c % ø SetData_PV ) ø 0600013d % ` SetmmAq ) ` 0600013e % get_ScannerFOV ) 06000081 % @ set_ScannerFOV ) @ 06000082 % | get_BitsPerMM ) | 06000083 % ¸ set_BitsPerMM ) ¸ 06000084 & % ô get_EncoderCountPerMmX ) ô 06000085 & % 8 set_EncoderCountPerMmX ) 8 06000086 & % | get_EncoderCountPerMmY ) | 06000087 & % À set_EncoderCountPerMmY ) À 06000088 % get_HalfPeriod ) 06000089 % @ set_HalfPeriod ) @ 0600008a % | get_PulseLength ) | 0600008b % ¼ set_PulseLength ) ¼ 0600008c % ü get_TimeBase ) ü 0600008d % 8 set_TimeBase ) 8 0600008e % t get_JumpDelay ) t 0600008f % ° set_JumpDelay ) ° 06000090 % ì get_MarkDelay ) ì 06000091 % ( set_MarkDelay ) ( 06000092 % d get_PolygonDelay ) d 06000093 % ¤ set_PolygonDelay ) ¤ 06000094 % ä get_LaserOnDelay ) ä 06000095 % $ set_LaserOnDelay ) $ 06000096 % d get_LaserOffDelay ) d 06000097 % ¤ set_LaserOffDelay ) ¤ 06000098 % ä get_JumpSpeed ) ä 06000099 % set_JumpSpeed ) 0600009a % \ get_MarkSpeed ) \ 0600009b % set_MarkSpeed ) 0600009c % Ô Refresh ) Ô 0600009d % ô .ctor ) ô 0600009e % ) .ctor ) ) 06000414 % ø ) get_Code ) ø ) 06000415 % l ) set_Code ) l ) 06000416 % Ô ) get_Description ) Ô ) 06000417 % P ) set_Description ) P ) 06000418 % À ) get_Heavy ) À ) 06000419 % 4 ) set_Heavy ) 4 ) 0600041a % ¨ ) get_Light ) ¨ ) 0600041b % ) set_Light ) ) 0600041c % ) get_Level ) ) 0600041d % ) set_Level ) ) 0600041e % l ) get_Use ) l ) 0600041f % à ) set_Use ) à ) 06000420 % H ) get_OccurredTime ) H ) 06000421 % Ä ) set_OccurredTime ) Ä ) 06000422 % 4 ) Clone ) 4 ) 06000423 % Ü ) op_Equality ) Ü ) 06000424 % ) op_Inequality ) ) 06000425 % < ) Equals ) < ) 06000426 % ¬ ) GetHashCode ) ¬ ) 06000427 % 5 get_HfSync ) 5 0600045b % x 5 set_HfSync ) x 5 0600045c % à 5 get_LddInterlock ) à 5 0600045d % \ 5 set_LddInterlock ) \ 5 0600045e " % Ì 5 get_ShutterInterlock ) Ì 5 0600045f " % L 5 set_ShutterInterlock ) L 5 06000460 " % À 5 get_LowExtFrequency ) À 5 06000461 " % @ 5 set_LowExtFrequency ) @ 5 06000462 " % 0 <statusUpdate>b__16_0 ) 0 0600044b % > <Align>b__0 ) > 060004ca % ? <Again>b__0 ) ? 060004cc % 4 MoveNext ) 4 06000457 % ( .ctor ) ( 0600040c % Ü ( SaveFile ) Ü ( 0600040d % ( TrySaveFile ) ( 0600040e % l ( ReadFile ) l ( 0600040f % Ô ( TryReadFile ) Ô ( 06000410 % ( DeleteFile ) ( 06000411 % Ð ( Copy ) Ð ( 06000412 % ¤ ( Clone ) ¤ ( 06000413 % # get_Name ) # 060003b5 % < # set_Name ) < # 060003b6 % t # get_Radius ) t # 060003b7 % ¬ # set_Radius ) ¬ # 060003b8 2 % ä # get_DistanceFromCenterToPrimaryFlat ) ä # 060003b9 2 % 8 # set_DistanceFromCenterToPrimaryFlat ) 8 # 060003ba % # get_EdgeRound ) # 060003bb % È # set_EdgeRound ) È # 060003bc % # get_BeamWidth ) # 060003bd % @ # set_BeamWidth ) @ # 060003be % | # get_BeamHeight ) | # 060003bf % ¸ # set_BeamHeight ) ¸ # 060003c0 " % ô # get_ProcessInfoList ) ô # 060003c1 " % 8 # set_ProcessInfoList ) 8 # 060003c2 % | # .ctor ) | # 060003c3 % D # AddProcessInfo ) D # 060003c4 % ° # Clone ) ° # 060003c5 % X # IsEquals ) X # 060003c6 % D <Put>b__0 ) D 060004d7 % E <MappingSeq>b__0 ) E 060004d9 % A <GetReady>b__0 ) A 060004d1 % B <Get>b__0 ) B 060004d3 % C <PutReady>b__0 ) C 060004d5 % % get_Radius ) % 060003ce % < % set_Radius ) < % 060003cf 2 % t % get_DistanceFromCenterToPrimaryFlat ) t % 060003d0 2 % È % set_DistanceFromCenterToPrimaryFlat ) È % 060003d1 % % get_EdgeRound ) % 060003d2 % X % set_EdgeRound ) X % 060003d3 % % get_StartX ) % 060003d4 % Ì % set_StartX ) Ì % 060003d5 % % get_StartY ) % 060003d6 % < % set_StartY ) < % 060003d7 % t % get_Width ) t % 060003d8 % ¬ % set_Width ) ¬ % 060003d9 % ä % get_Height ) ä % 060003da % % set_Height ) % 060003db % T % get_ProcessStartX ) T % 060003dc % % set_ProcessStartX ) % 060003dd % Ô % get_ProcessStartY ) Ô % 060003de % % set_ProcessStartY ) % 060003df % T % get_ProcessEndX ) T % 060003e0 % % set_ProcessEndX ) % 060003e1 % Ô % get_ProcessEndY ) Ô % 060003e2 % % set_ProcessEndY ) % 060003e3 % T % get_BeamWidth ) T % 060003e4 % % set_BeamWidth ) % 060003e5 % Ì % get_BeamHeight ) Ì % 060003e6 % % set_BeamHeight ) % 060003e7 " % D % get_BeamHeightOverlap ) D % 060003e8 " % % set_BeamHeightOverlap ) % 060003e9 " % Ì % get_BeamWidthOverlap ) Ì % 060003ea " % % set_BeamWidthOverlap ) % 060003eb & % T % get_ScannerProcessSpeed ) T % 060003ec " % Ø % get_AttenuatorSteps ) Ø % 060003ed " % % set_AttenuatorSteps ) % 060003ee " % ` % get_IsProcessEnable ) ` % 060003ef " % ¤ % set_IsProcessEnable ) ¤ % 060003f0 % è % get_ProcessLength ) è % 060003f1 % ( % set_ProcessLength ) ( % 060003f2 % h % get_AccTime ) h % 060003f3 % ¤ % set_AccTime ) ¤ % 060003f4 % à % get_ProcessList ) à % 060003f5 %
|
% set_ProcessList )
|
% 060003f6 % `
|
% .ctor ) `
|
% 060003f7 % Ä
|
% SetRecipeData ) Ä
|
% 060003f8 % 0 % SetProcessData ) 0 % 060003f9 * % , % IsProcessingAreaContainWafer ) , % 060003fa & % d % GetProcessStartEndCoords ) d % 060003fb % Ì % IsCoordInWafer ) Ì % 060003fc * % D % GetPointYOfContactOfEllips ) D % 060003fd " % % CreateProcessLines1 ) % 060003fe " % t % CreateProcessLines ) t % 060003ff % < % Clone ) < % 06000400 % d % IsEquals ) d % 06000401 % .ctor ) 06000294 % h get_Name ) h 06000295 % Ü set_Name ) Ü 06000296 % D get_Position ) D 06000297 % ¼ set_Position ) ¼ 06000298 % ( get_Speed ) ( 06000299 % set_Speed ) 0600029a % get_Accel ) 0600029b % x set_Accel ) x 0600029c % 6 get_Main ) 6 06000463 % x 6 set_Main ) x 6 06000464 % à 6 get_Common ) à 6 06000465 % T 6 set_Common ) T 6 06000466 % ¼ 6 get_Temperature ) ¼ 6 06000467 % 8 6 set_Temperature ) 8 6 06000468 % ¨ 6 get_Sensor ) ¨ 6 06000469 % 6 set_Sensor ) 6 0600046a % 6 get_PowerMonitor ) 6 0600046b % 6 set_PowerMonitor ) 6 0600046c % p 6 get_Pulse ) p 6 0600046d % ä 6 set_Pulse ) ä 6 0600046e % L 6 get_Ldd ) L 6 0600046f % À 6 set_Ldd ) À 6 06000470 % ( 6 get_Motor ) ( 6 06000471 % 6 set_Motor ) 6 06000472 % H <Occur>b__0 ) H 060012b7 " % / <statusUpdate>b__12_0 ) / 06000448 % get_Version ) 0600029d % À set_Version ) À 0600029e % , get_PositionX ) , 0600029f % ¤ set_PositionX ) ¤ 060002a0 % get_PositionY ) 060002a1 % set_PositionY ) 060002a2 % ô get_PositionT ) ô 060002a3 % l set_PositionT ) l 060002a4 % Ø get_IsHome ) Ø 060002a5 % L set_IsHome ) L 060002a6 % ´ get_IsWaferExist ) ´ 060002a7 % 0 set_IsWaferExist ) 0 060002a8 % get_IsVacuumOn ) 060002a9 % set_IsVacuumOn ) 060002aa % get_IsAlignRun ) 060002ab % ü set_IsAlignRun ) ü 060002ac % h get_IsRunEnable ) h 060002ad % ä .ctor ) ä 060002ae % H statusUpdate ) H 060002af % 0 Align ) 0 060002b0 % ð Again ) ð 060002b1 % °
|
ReadVersion ) °
|
060002b2 % ä Home ) ä 060002b3 % d VacuumOn ) d 060002b4 % è VacuumOff ) è 060002b5 % l PinUp ) l 060002b6 % ì PinDown ) ì 060002b7 % p ReadStatus ) p 060002b8 % Ð ReadAlarmCode ) Ð 060002b9 % ì ReadPinStatus ) ì 060002ba % ReadWaferStatus ) 060002bb % ( ReadVaccumStatus ) ( 060002bc % H ReadParameter ) H 060002bd % L ReadPosition ) L 060002be % À Center ) À 060002bf % @ SetAlignOffset ) @ 060002c0 % D Write ) D 060002c1 % ð WriteRead ) ð 060002c2 % ì WriteRead ) ì 060002c3 % SetAlarmCode ) 060002c4 % <Home>b__48_0 ) 060002c5 % <VacuumOn>b__49_0 ) 060002c6 " % L <VacuumOff>b__50_0 ) L 060002c7 % | <PinUp>b__51_0 ) | 060002c8 % <PinDown>b__52_0 ) 060002c9 % <Center>b__60_0 ) 060002ca " % 2 <statusUpdate>b__15_0 ) 2 06000451 % " get_Recipes ) " 060003ac % ä " set_Recipes ) ä " 060003ad % P " .ctor ) P " 060003ae % ´ " RefreshRecipes ) ´ " 060003af % ô " SaveOrCreate ) ô " 060003b0 % l " Delete ) l " 060003b1 % Ü " ExistsRecipe ) Ü " 060003b2 % T " GetRecipe ) T " 060003b3 % È " GetRecipeList ) È " 060003b4 & % ; get_SystemInitialization ) ; 060004a7 & % ; set_SystemInitialization ) ; 060004a8 % ; get_Setup ) ; 060004a9 % t ; set_Setup ) t ; 060004aa % Ü ; get_Running ) Ü ; 060004ab % T ; set_Running ) T ; 060004ac % À ; get_Standby ) À ; 060004ad % 8 ; set_Standby ) 8 ; 060004ae % ¤ ; get_SoftFault ) ¤ ; 060004af % ; set_SoftFault ) ; 060004b0 % ; get_HardFault ) ; 060004b1 % ; set_HardFault ) ; 060004b2 % get_ScanMode ) 06000325 % set_ScanMode ) 06000326 % p get_X ) p 06000327 % à set_X ) à 06000328 % T get_Y ) T 06000329 % Ä set_Y ) Ä 0600032a % 8 .ctor ) 8 0600032b % . SetData ) . 06000445 % get_PositionT ) 060002cb % 4 set_PositionT ) 4 060002cc % get_PositionZ ) 060002cd % set_PositionZ ) 060002ce % get_PositionR ) 060002cf % ü set_PositionR ) ü 060002d0 % h get_PositionF ) h 060002d1 % à set_PositionF ) à 060002d2 % L get_AlarmCode ) L 060002d3 % Ä set_AlarmCode ) Ä 060002d4 " % 0 get_AlarmDescription ) 0 060002d5 " % ° set_AlarmDescription ) ° 060002d6 % $ get_IsError ) $ 060002d7 % set_IsError ) 060002d8 % get_PowerStatus ) 060002d9 % set_PowerStatus ) 060002da % ô get_IsVacuumOn ) ô 060002db % l set_IsVacuumOn ) l 060002dc % Ø get_IsRun ) Ø 060002dd % L set_IsRun ) L 060002de % ´ get_IsWaferExist ) ´ 060002df % 0
|
set_IsWaferExist ) 0
|
060002e0 %
|
get_IsServoOn )
|
060002e1 % get_IsPutGetRun ) 060002e2 % set_IsPutGetRun ) 060002e3 % get_GetTactTime ) 060002e4 % set_GetTactTime ) 060002e5 % ð get_PutTactTime ) ð 060002e6 % l set_PutTactTime ) l 060002e7 % Ü get_IsRunEnable ) Ü 060002e8 " % X get_MappingTactTime ) X 060002e9 " % Ø set_MappingTactTime ) Ø 060002ea % L .ctor ) L 060002eb % ° statusUpdate ) ° 060002ec % GetThread ) 060002ed % L PutThread ) L 060002ee " % ReadFirmwareVersion ) 060002ef % ä GetReady ) ä 060002f0 % ¬ Get ) ¬ 060002f1 % p GetReadyThread ) p 060002f2 % ¤ PutReady ) ¤ 060002f3 % l PutReadyThread ) l 060002f4 % Put ) 060002f5 % d MappingSeq ) d 060002f6 % , WaferGetInterlock ) , 060002f7 % $ WaferPutInterlock ) $ 060002f8 % MappingInterlock ) 060002f9 % MappingTh ) 060002fa & % ReadPort1MappingResult ) 060002fb & % 8 ReadPort2MappingResult ) 8 060002fc % ì! Mapping ) ì! 060002fd % T" ReadMappingResult ) T" 060002fe % # Home ) # 060002ff % t# ServoOn ) t# 06000300 % Ü# ServoOff ) Ü# 06000301 % D$ MoveRelative ) D$ 06000302 % °$ MoveAbsolute ) °$ 06000303 % % ReadMappingSpeed ) % 06000304 % Ø% SetMappingSpeed ) Ø% 06000305 % H& SetWaferThickness ) H& 06000306 * % ¸& SetWaferCrossCheckStandard ) ¸& 06000307 * % 0' SetWaferDoubleCheckStandard ) 0' 06000308 % ¬' ReadErrorCode ) ¬' 06000309 " % h( ReadErrorDescription ) h( 0600030a % () ErrorClear ) () 0600030b % ) ReadPowerState ) ) 0600030c % * ReadPosition ) * 0600030d % h+ EMS ) h+ 0600030e % Ì+ ReadSystemSpeed ) Ì+ 0600030f % , SetSystemSpeed ) , 06000310 % ô, ReadJogSpeed ) ô, 06000311 % ¬- ReadWaferDetected ) ¬- 06000312 % ¤. ReadVacuumOn ) ¤. 06000313 % / ReadRun ) / 06000314 % 0 SetJogSpeed ) 0 06000315 % ô0 ReadHomeSpeed ) ô0 06000316 % ¬1 SetHomeSpeed ) ¬1 06000317 % 2 ReadWaferOnSpeed ) 2 06000318 % Ô2 SetWaferOnSpeed ) Ô2 06000319 % D3 ReadWaferOffSpeed ) D3 0600031a % 4 SetWaferOffSpeed ) 4 0600031b % p4 ReadZSpeed ) p4 0600031c % $5 SetZSpeed ) $5 0600031d % 5 EmergencyStop ) 5 0600031e % ø5 Pause ) ø5 0600031f % \6 Run ) \6 06000320 % À6 ReadInput ) À6 06000321 % t7 ReadOutput ) t7 06000322 % (8 Write ) (8 06000323 % Ô8 WriteRead ) Ô8 06000324 % .cctor ) 0600038f " % 1 <statusUpdate>b__10_0 ) 1 0600044e " % get_ErrorDescription ) 0600020b " % , set_ErrorDescription ) , 0600020c % get_Flag ) 0600020d % set_Flag ) 0600020e % | get_Energy ) | 0600020f % ð set_Energy ) ð 06000210 * % X get_CurrentMeasurementMode ) X 06000211 * % Ü set_CurrentMeasurementMode ) Ü 06000212 " % T get_MeasurementCount ) T 06000213 * % Ô get_MeasurementAverageEnergy ) Ô 06000214 & % get_MeasurementMaxEnergy ) 06000215 & % X get_MeasurementMinEnergy ) X 06000216 & % get_MeasurementsEnergy ) 06000217 & % set_MeasurementsEnergy ) 06000218 % .ctor ) 06000219 % p statusUpdate ) p 0600021a % T ReadEnergy ) T 0600021b % ¼
|
SetPowerMode ) ¼
|
0600021c % p SetEnergyMode ) p 0600021d " % $ GetMeasurementMode ) $ 0600021e & % ( ResetMeasurementsEnergy ) ( 0600021f % WriteRead ) 06000220 % Home ) 06000149 % l ReadStatus ) l 0600014a % Ô ReadPosition ) Ô 0600014b % @ ReadVelocity ) @ 0600014c % ¬ MoveAbsolute ) ¬ 0600014d % MoveRelative ) 0600014e % MovePositiveJog ) 0600014f % ô MoveNegativeJog ) ô 06000150 % d MoveStop ) d 06000151 % Ì SetSpeed ) Ì 06000152 % 4 SetAccel ) 4 06000153 % ServoOn ) 06000154 % ServoOff ) 06000155 % l ResetError ) l 06000156 % , <.cctor>b__28_0 ) , 06000441 % ' .ctor ) ' 0600040b * %
|
get_DegreePerSecondFromSpeed )
|
060000a1 % ä
|
get_Position ) ä
|
060000a2 % \
|
set_Position ) \
|
060000a3 % È
|
get_Degree ) È
|
060000a4 % <
|
get_Speed ) <
|
060000a5 % °
|
set_Speed ) °
|
060000a6 " %
|
get_AccelerationValue )
|
060000a7 " %
|
set_AccelerationValue )
|
060000a8 " %
|
get_DecelerationValue )
|
060000a9 " %
|
set_DecelerationValue )
|
060000aa & %
|
get_SteppingResolution )
|
060000ab & %
|
set_SteppingResolution )
|
060000ac % ô
|
get_MotorEnable ) ô
|
060000ad % p
|
set_MotorEnable ) p
|
060000ae % à
|
get_MotorState ) à
|
060000af % X
|
set_MotorState ) X
|
060000b0 % Ä
|
.ctor ) Ä
|
060000b1 % (
|
statusUpdate ) (
|
060000b2 %
|
Home )
|
060000b3 % p
|
Stop ) p
|
060000b4 % Ô
|
MoveAbsolute ) Ô
|
060000b5 %
|
|
MoveAbsolute )
|
|
060000b6 % ô
|
|
MoveRelative ) ô
|
|
060000b7 % ¨
|
MoveRelative ) ¨
|
060000b8 %
|
JogPositive )
|
060000b9 %
|
JogNegative )
|
060000ba * % ì
|
SetMicroSteppingResolution ) ì
|
060000bb . % p
|
GetDegreefromSteppingResolution ) p
|
060000bc * % 4
|
GetDegreePerSecondFromSpeed ) 4
|
060000bd * % ü
|
GetSpeedFromDegreePerSecond ) ü
|
060000be % ¼
|
SetAcceleration ) ¼
|
060000bf % 8
|
SetDeceleration ) 8
|
060000c0 % ´
|
SetSpeed ) ´
|
060000c1 % (
|
SaveSetting ) (
|
060000c2 %
|
ReadStatus )
|
060000c3 % ¬
|
ReadSettings ) ¬
|
060000c4 % ¤
|
Write ) ¤
|
060000c5 % P
|
WriteRead ) P
|
060000c6 & % + <UpdateTowerLamp>b__85_0 ) + 0600043d . % ° + <UpdateEquipmentStatus>b__88_0 ) ° + 0600043e % * .ctor ) * 06000430 % < * ReadAlarmFile ) < * 06000435 % ü * WriteAlarmFile ) ü * 06000436 % @ * Occur ) @ * 06000437 % | * Clear ) | * 06000438 % à * Save ) à * 06000439 % L * GetAlarms ) L * 0600043a " % 3 <statusUpdate>b__16_0 ) 3 06000454 % & get_Recipes ) & 06000402 % ä & set_Recipes ) ä & 06000403 % P & .ctor ) P & 06000404 % ´ & RefreshRecipes ) ´ & 06000405 % ô & SaveOrCreate ) ô & 06000406 % l & Delete ) l & 06000407 % Ü & ExistsRecipe ) Ü & 06000408 % T & GetRecipe ) T & 06000409 % È & GetRecipeList ) È & 0600040a % get_IsStatus ) 06000391 % @ set_IsStatus ) @ 06000392 % | get_IsFlip ) | 06000393 % ´ set_IsFlip ) ´ 06000394 % ì get_CarrierID ) ì 06000395 % ( set_CarrierID ) ( 06000396 % d get_LotID ) d 06000397 % set_LotID ) 06000398 % Ô get_RecipeName ) Ô 06000399 % set_RecipeName ) 0600039a % L get_SourceNumber ) L 0600039b % set_SourceNumber ) 0600039c % Ì .ctor ) Ì 0600039d % Clone ) 0600039e % 8 get_Memory ) 8 06000481 % x 8 set_Memory ) x 8 06000482 % à 8 get_SdCard ) à 8 06000483 % T 8 set_SdCard ) T 8 06000484 & % ¼ 8 get_BoardCommunication ) ¼ 8 06000485 & % < 8 set_BoardCommunication ) < 8 06000486 % ° 8 get_BoardState ) ° 8 06000487 % ( 8 set_BoardState ) ( 8 06000488 % get_Name ) 06000068 % | set_Name ) | 06000069 % ä get_Password ) ä 0600006a % \ set_Password ) \ 0600006b % È get_Level ) È 0600006c % < set_Level ) < 0600006d % ¤ .ctor ) ¤ 0600006e % Clone ) 0600006f % .ctor ) 06000102 % Ü statusUpdate ) Ü 06000103 % Ì Connect ) Ì 06000104 % ReadDigitalInputs ) 06000105 " % à ReadDigitalOutputs ) à 06000106 % , ReadAnalogInputs ) , 06000107 % ReadAnalogOutputs ) 06000108 % WriteOutput ) 06000109 % WriteAnalog ) 0600010a % 7 get_PowerOn ) 7 06000473 % | 7 set_PowerOn ) | 7 06000474 " % è 7 get_ShutterEnabled ) è 7 06000475 " % d 7 set_ShutterEnabled ) d 7 06000476 % Ô 7 get_KeySwitch ) Ô 7 06000477 % L 7 set_KeySwitch ) L 7 06000478 % ¸ 7 get_LddOn ) ¸ 7 06000479 % , 7 set_LddOn ) , 7 0600047a % 7 get_QswOn ) 7 0600047b % 7 set_QswOn ) 7 0600047c " % p 7 get_ShutterInterlock ) p 7 0600047d " % ð 7 set_ShutterInterlock ) ð 7 0600047e % d 7 get_LddInterlock ) d 7 0600047f % à 7 set_LddInterlock ) à 7 06000480 % Refresh ) 0600009f % ` .ctor ) ` 060000a0 % 9 get_Ldd1 ) 9 06000489 % x 9 set_Ldd1 ) x 9 0600048a % à 9 get_Ldd2 ) à 9 0600048b % T 9 set_Ldd2 ) T 9 0600048c % ¼ 9 get_Qsw ) ¼ 9 0600048d % 0 9 set_Qsw ) 0 9 0600048e % 9 get_Flow ) 9 0600048f % 9 set_Flow ) 9 06000490 % t 9 get_Wet ) t 9 06000491 % è 9 set_Wet ) è 9 06000492 % P 9 get_Humidity ) P 9 06000493 % È 9 set_Humidity ) È 9 06000494 % 4 9 get_HfSync ) 4 9 06000495 % ¨ 9 set_HfSync ) ¨ 9 06000496 % Refresh ) 0600007f % H .ctor ) H 06000080 % get_PmcStep ) 06000057 % < set_PmcStep ) < 06000058 % ¨ get_TmcStep ) ¨ 06000059 % set_TmcStep ) 0600005a * % get_ProcessTactTimeSeconds ) 0600005b & % get_IsTmcStepPauseEnable ) 0600005c & % get_IsPmcStepPauseEnable ) 0600005d % .ctor ) 06000062 % | TmcSequence ) | 06000063 % PmcSequence ) 06000064 % d ProcessStart ) d 06000065 " % Ü ManualProcessStart ) Ü 06000066 % X
|
ProcessStop ) X
|
06000067 % get_Seconds ) 06000001 % ´ get_Minute ) ´ 06000002 % ( .ctor ) ( 06000003 % Start ) 06000004 % ü ReStart ) ü 06000005 % d Stop ) d 06000006 % Ô Reset ) Ô 06000007 & % get_CurrentPiLaserStatus ) 06000158 & % ô set_CurrentPiLaserStatus ) ô 06000159 % l .ctor ) l 0600015a % Ð statusUpdate ) Ð 0600015b " % à WriteEnableShutter ) à 0600015c % WriteSystemReset ) 0600015d % WriteEnableLdd ) 0600015e % Ð WriteSetCurrent ) Ð 0600015f % ¸ WriteMaxCurrent ) ¸ 06000160 % WritePrf ) 06000161 % WritePrfSource ) 06000162 % H WriteGateSource ) H 06000163 % WritePecSource ) 06000164 % ¼ WriteFpkEnable ) ¼ 06000165 % t
|
WriteFpkRampTime ) t
|
06000166 % \ WriteFpkRampRate ) \ 06000167 % D WriteLpkEnable ) D 06000168 % ü WriteLpkRampTime ) ü 06000169 % ä WriteLpkRampRate ) ä 0600016a & % Ì WriteTemperatureSetPoint ) Ì 0600016b % À WriteDutyControl ) À 0600016c " % | WriteDutyControlWidth ) | 0600016d % WritePecLevel ) 0600016e % WriteBurstStatus ) 0600016f % L WriteBurstCount ) L 06000170 % WriteBurstRate ) 06000171 % È WriteBurstCycles ) È 06000172 " % WriteBurstFiringMode ) 06000173 & % H WriteBurstTriggerSource ) H 06000174 " % WriteDutyControlMode ) 06000175 % Ì ReadEnableShutter ) Ì 06000176 % ReadSoftFaults ) 06000177 % @ ReadBoardFaults ) @ 06000178 % ü ReadStatus ) ü 06000179 % ° ReadEnableLdd ) ° 0600017a % h ReadSetCurrent ) h 0600017b % $ ReadActualCurrent ) $ 0600017c % ä ReadDiodeVoltage ) ä 0600017d % ¤ ReadMaxCurrent ) ¤ 0600017e % ` ReadLddHours ) ` 0600017f % ReadPrf ) 06000180 % $ ReadPRFSource ) $ 06000181 % Ü ReadGateSource ) Ü 06000182 % ! ReadPecSource ) ! 06000183 % L" ReadFPKEnable ) L" 06000184 % # ReadFpkRampTime ) # 06000185 % Ä# ReadFpkRampRate ) Ä# 06000186 % $ ReadLpkEnable ) $ 06000187 % <% ReadLpkRampTime ) <% 06000188 % ü% ReadLpkRampRate ) ü% 06000189 & % ¼& ReadTemperatureSetPoint ) ¼& 0600018a " % ' ReadActualTemperature ) ' 0600018b % X( ReadDutyControl ) X( 0600018c " % ) ReadDutyControlWidth ) ) 0600018d % * ReadPecLevel ) * 0600018e % Ü* ReadBurstStatus ) Ü* 0600018f % + ReadBurstCount ) + 06000190 % T, ReadBurstRate ) T, 06000191 % - ReadBurstCycles ) - 06000192 " % Ð- ReadBurstFiringMode ) Ð- 06000193 & % . ReadBurstTriggerSource ) . 06000194 " % P/ ReadDutyControlMode ) P/ 06000195 & % 0 ReadPowerMonitorReading ) 0 06000196 % Ø0 ReadFlowReading ) Ø0 06000197 " % 1 ReadHumidityReading ) 1 06000198 " % \2 ReadNetworkAddress ) \2 06000199 % 3 AddChecksum ) 3 0600019a % T4 AddChecksum ) T4 0600019b % ä5 CheckCommand ) ä5 0600019c % ¸6 CheckChecksum ) ¸6 0600019d % ð7 ReadData ) ð7 0600019e % (: WriteData ) (: 0600019f % ; PiLaserReads ) ; 060001a0 % get_IsGateOpen ) 060000c7 % ( get_IsGateClose ) ( 060000c8 " % ¤ get_IsGateOpenValve ) ¤ 060000c9 " % $ get_IsGateCloseValve ) $ 060000ca % ¤ get_IsLiftPinUp ) ¤ 060000cb % get_IsLiftPinDown ) 060000cc " % get_IsChuckVacuumOn ) 060000cd & % get_IsChuckVacuumSensorOn ) 060000ce & % get_IsN2ChamberValveOn ) 060000cf % get_IsInposition ) 060000d0 " % Ü get_IsN2MFCValveOn ) Ü 060000d1 " % X get_IsByPassValveOn ) X 060000d2 % Ø get_IsAirBlowOn ) Ø 060000d3 % T get_MFCFlow ) T 060000d4 % Ì get_MFCSetPoint ) Ì 060000d5 " % H get_MainCDAPressure ) H 060000d6 & % È get_MainVacuumPressure ) È 060000d7 % H get_N2PTPressure ) H 060000d8 % Ä get_MainCDAFlow ) Ä 060000d9 & % @
|
get_ChamberVacuumPressure ) @
|
060000da " % Ä
|
get_IsLoadPosition ) Ä
|
060000db " % @ get_IsCenterPosition ) @ 060000dc & % À get_IsPowerMeterPosition ) À 060000dd & % D get_IsBeamProfilePosition ) D 060000de % È get_WaferInfo ) È 060000df % @ .ctor ) @ 060000e0 % ¤ GateOpen ) ¤ 060000e1 % GateClose ) 060000e2 % t LiftPinUp ) t 060000e3 % Ü LiftPinDown ) Ü 060000e4 % H ChuckVacuumOn ) H 060000e5 % ´ ChuckVacuumOff ) ´ 060000e6 % SetMFCFlow ) 060000e7 % N2ChamberValveOn ) 060000e8 % ø N2ChamberValveOff ) ø 060000e9 % h N2MFCValveOn ) h 060000ea % Ô N2MFCValveOff ) Ô 060000eb % @ ByPassValveOn ) @ 060000ec % ¬ ByPassValveOff ) ¬ 060000ed % AirBlowOn ) 060000ee % AirBlowOff ) 060000ef % è MoveLoadPosition ) è 060000f0 " % Ì MoveCenterPosition ) Ì 060000f1 & % ° MovePowerMeterPosition ) ° 060000f2 & % ¤ MoveBeamProfilePosition ) ¤ 060000f3 % .ctor ) 060000f4 % D statusUpdate ) D 060000f5 % ( Run ) ( 060000f6 % ì Stop ) ì 060000f7 % ° GetStatus ) ° 060000f8 % À GetAlarmStatus ) À 060000f9 % Ô CheckAlarm ) Ô 060000fa " % < ChangeStringToBits ) < 060000fb " % ¬ GetChillerSettings ) ¬ 060000fc % SetTemperature ) 060000fd % GetTemperaturePV ) 060000fe % ø DischargePressure ) ø 060000ff % h
|
MessageFormat ) h
|
06000100 % GetLRC ) 06000101 % get_IsOpen ) 0600037f % Ô get_PortName ) Ô 06000380 % L get_Terminator ) L 06000381 % Ä set_Terminator ) Ä 06000382 & % 0 get_ReceiveWaitSeconds ) 0 06000383 & % ° set_ReceiveWaitSeconds ) ° 06000384 % $ .ctor ) $ 06000385 % GetExistPortNames ) 06000386 % Open ) 06000387 % È Close ) È 06000388 % WriteRead ) 06000389 % Ô Write ) Ô 0600038a % WriteRead ) 0600038b % Write ) 0600038c % à Read ) à 0600038d % ü
|
CheckTerminator ) ü
|
0600038e & % get_CorrectionFilePath ) 06000338 & % set_CorrectionFilePath ) 06000339 % ø get_IsInitialized ) ø 0600033a % t set_IsInitialized ) t 0600033b % ä get_IsBusy ) ä 0600033c % X set_IsBusy ) X 0600033d % À get_Encoder0 ) À 0600033e % 8 set_Encoder0 ) 8 0600033f % ¤ get_Encoder1 ) ¤ 06000340 % set_Encoder1 ) 06000341 & % get_EncoderCountPerMmX ) 06000342 & % set_EncoderCountPerMmX ) 06000343 & % | get_EncoderCountPerMmY ) | 06000344 & % ü set_EncoderCountPerMmY ) ü 06000345 % p get_BitsPerMm ) p 06000346 % è get_FOV ) è 06000347 % \ set_FOV ) \ 06000348 % Ä get_KFactor ) Ä 06000349 % < get_HalfPeriod ) < 0600034a % ´ set_HalfPeriod ) ´ 0600034b % , get_PulseLength1 ) , 0600034c % ¨ set_PulseLength1 ) ¨ 0600034d % $
|
get_PulseLength2 ) $
|
0600034e %
|
get_TimeBase )
|
0600034f % set_TimeBase ) 06000350 % get_JumpDelay ) 06000351 % ü set_JumpDelay ) ü 06000352 % h get_MarkDelay ) h 06000353 % à set_MarkDelay ) à 06000354 % L get_PolygonDelay ) L 06000355 % È set_PolygonDelay ) È 06000356 % 8 get_LaserOnDelay ) 8 06000357 % ´ set_LaserOnDelay ) ´ 06000358 % $ get_LaserOffDelay ) $ 06000359 % set_LaserOffDelay ) 0600035a % get_IsPosition ) 0600035b % set_IsPosition ) 0600035c % ô get_XGain ) ô 0600035d % h set_XGain ) h 0600035e % Ü get_YGain ) Ü 0600035f % P set_YGain ) P 06000360 % Ä get_IsLaserOn ) Ä 06000361 % < set_IsLaserOn ) < 06000362 % ¨ .ctor ) ¨ 06000363 % .ctor ) 06000364 % p Refresh ) p 06000365 % ErrorExist ) 06000366 & % Ä LoadProgramFileErrorExist ) Ä 06000367 * % H LoadCorrectionFileErrorExist ) H 06000368 % Ð InitializeRTC5Dll ) Ð 06000369 % L LoadProgramFiles ) L 0600036a " % LoadCorrectionFiles ) 0600036b % È Initialize ) È 0600036c % L GetBusy ) L 0600036d % x GetLaserOn ) x 0600036e % D SetLaserTiming ) D 0600036f % À SetScannerDelay ) À 06000370 % @ CtlFrequency ) @ 06000371 % SetLaserDelays ) 06000372 % LaserOn ) 06000373 % ø LaserOff ) ø 06000374 % ` SetJumpMarkSpeed ) ` 06000375 % < GetEncoder ) < 06000376 % ! GetScanList ) ! 06000377 % ! ClearScanList ) ! 06000378 % " AddScanList ) " 06000379 % |" AddScanList ) |" 0600037a % ,# ExcuteScanList ) ,# 0600037b % ¸$ Stop ) ¸$ 0600037c % (% Save ) (% 0600037d % & AddScanField ) & 0600037e % F .ctor ) F 060004dd % ¼ F Finalize ) ¼ F 060004de % 0 F Import ) 0 F 060004df % F .cctor ) F 060004e0 % get_FFU_Status ) 06000114 % @ .ctor ) @ 06000115 % L statusUpdate ) L 06000116 % h ReadFFUStatus ) h 06000117 % Ø WritemmAqSV ) Ø 06000118 % ü GetCheckSum ) ü 06000119 % ( WriteRead ) ( 0600011a % Ø WriteRead ) Ø 0600011b " % = <statusUpdate>b__44_0 ) = 060004c4 & % ¼ = <ReadAlarmCode>b__54_0 ) ¼ = 060004c5 & % 0 = <ReadPinStatus>b__55_0 ) 0 = 060004c6 & % ¤ = <ReadWaferStatus>b__56_0 ) ¤ = 060004c7 & % = <ReadVaccumStatus>b__57_0 ) = 060004c8 % get_Temperature ) 0600010b % ô set_Temperature ) ô 0600010c % d .ctor ) d 0600010d % È statusUpdate ) È 0600010e & % ¬ GetCyclicRedundancyCheck ) ¬ 0600010f % ` ReadVariableArea ) ` 06000110 % GetVariableArea ) 06000111 & % ReadCurrentTemperature ) 06000112 % ì WriteRead ) ì 06000113 % get_Instance ) 06000040 % .ctor ) 06000041 " % CreateExceptionLogger ) 06000042 & % ¸ CreateAlarmOccurredLogger ) ¸ 06000043 & % ô CreateAlarmChangedLogger ) ô 06000044 & % 0 CreateTmcSequenceLogger ) 0 06000045 & % l CreatePmcSequenceLogger ) l 06000046 " % ¨ CreateButtonLogger ) ¨ 06000047 % Ü WriteExceptionLog ) Ü 06000048 " % L WriteAlarmOccurredLog ) L 06000049 " % À WriteAlarmChangedLog ) À 0600004a " % 4
|
WriteTmcSequenceLog ) 4
|
0600004b " % ¨
|
WritePmcSequenceLog ) ¨
|
0600004c % WriteButtonLog ) 0600004d % .cctor ) 0600004e " % @ <statusUpdate>b__71_0 ) @ 060004cf " % < <statusUpdate>b__35_0 ) < 060004b5 % .ctor ) 0600039f % h RefreshWaferInfo ) h 060003a0 % MoveWaferInfo ) 060003a1 % @ GetWaferInfo ) @ 060003a2 % ¸ SetWaferInfo ) ¸ 060003a3 % $ TryParse ) $ 060003a4 % get_SequencePause ) 0600000e % D set_SequencePause ) D 0600000f % get_IsDisposed ) 06000010 % À set_IsDisposed ) À 06000011 % ü get_PmcStep ) ü 06000012 % ¨ get_TmcStep ) ¨ 06000013 * % get_ProcessTactTimeSeconds ) 06000014 " % ¤ get_EquipmentStatus ) ¤ 06000015 " % $ set_EquipmentStatus ) $ 06000016 % get_ProcessStatus ) 06000017 % set_ProcessStatus ) 06000018 % get_EquipmentMode ) 06000019 % set_EquipmentMode ) 0600001a % p get_IsLampOn ) p 0600001b % è get_User ) è 0600001c % \ set_User ) \ 0600001d % Ä get_IsRunStop ) Ä 0600001e % < set_IsRunStop ) < 0600001f % ¨ get_IsAutoRun ) ¨ 06000020 % set_IsAutoRun ) 06000021 % .ctor ) 06000022 " % ü InitializeParameter ) ü 06000023 % p
|
InitializeData ) p
|
06000024 " % Ü
|
AlarmManager_Cleared ) Ü
|
06000025 " % P AlarmManager_Occurred ) P 06000026 % Ä InitializeModule ) Ä 06000027 % 4 ModuleUpdate ) 4 06000028 % CheckAlarm ) 06000029 % à UpdateTowerLamp ) à 0600002a % à IsInterlock ) à 0600002b % SequenceRun ) 0600002c " % t UpdateEquipmentStatus ) t 0600002d " % UpdateProcessStatus ) 0600002e % ScannerUpdate ) 0600002f % UpdateWaferInfo ) 06000030 % ø UpdateFoupInfo ) ø 06000031 % x Dispose ) x 06000032 % à ChangeUser ) à 06000033 % T LogOut ) T 06000034 % ü BuzzerStop ) ü 06000035 % d LampOn ) d 06000036 % È LampOff ) È 06000037 % 0 ChangeMode ) 0 06000038 & % ¨ ChangeEquipementStatus ) ¨ 06000039 % @ ProcessStart ) @ 0600003a " % ¸ ManualProcessStart ) ¸ 0600003b % 8 ProcessPause ) 8 0600003c % ° ProcessStop ) ° 0600003d " % , AddRecipeExcutedEvent ) , 0600003e * % AddProcessInfoExcutedEvent ) 0600003f % .ctor ) 06000278 % h .ctor ) h 06000279 % Ì get_EnumAxisNo ) Ì 0600027a % D set_EnumAxisNo ) D 0600027b % ° get_AxisNo ) ° 0600027c % $ set_AxisNo ) $ 0600027d % get_AxisType ) 0600027e % set_AxisType ) 0600027f % p get_Name ) p 06000280 % ä set_Name ) ä 06000281 % L get_HommingCmd ) L 06000282 % Ä set_HommingCmd ) Ä 06000283 % 0 get_HomeEndCmd ) 0 06000284 % ¨ set_HomeEndCmd ) ¨ 06000285 % get_Scale ) 06000286 % set_Scale ) 06000287 % ð get_SWPlusLimit ) ð 06000288 % l set_SWPlusLimit ) l 06000289 % Ü get_SWMinusLimit ) Ü 0600028a % X set_SWMinusLimit ) X 0600028b % È get_Timeout ) È 0600028c % @ set_Timeout ) @ 0600028d " % ¬ get_HommingTimeout ) ¬ 0600028e " % (
|
set_HommingTimeout ) (
|
0600028f %
|
get_HommingSpeed )
|
06000290 % set_HommingSpeed ) 06000291 % get_TeachList ) 06000292 % ü set_TeachList ) ü 06000293 % get_Users ) 06000076 % , set_Users ) , 06000077 % .ctor ) 06000078 % ø RefreshUsers ) ø 06000079 % ´ SaveOrCreate ) ´ 0600007a % , Delete ) , 0600007b % ExistsUser ) 0600007c % GetUser ) 0600007d % GetUserList ) 0600007e % .ctor ) 0600023d % 4 ThreadInit ) 4 0600023e % ThreadStart ) 0600023f % GetDeviceID ) 06000240 % 0 Connect ) 0 06000241 % DisConnect ) 06000242 % È Open ) È 06000243 % 8 IsOpen ) 8 06000244 % ¨ PMACSendData ) ¨ 06000245 % < SetAxisHomePos ) < 06000246 % ¨ GetAxisHomePos ) ¨ 06000247 % SetAxisActualPos ) 06000248 % GetAxisActualPos ) 06000249 " % SetAxisActualSpeed ) 0600024a " % | GetAxisActualSpeed ) | 0600024b % ø SetAxisStatus ) ø 0600024c % d
|
GetAxisStatus ) d
|
0600024d % Ü
|
GetAxisTargetPos ) Ü
|
0600024e " % X GetAxisTargetSpeed ) X 0600024f " % Ô GetMotorScaleFactor ) Ô 06000250 % T SetAxisName ) T 06000251 % À GetAxisName ) À 06000252 % 8 SetAxisPMacNum ) 8 06000253 % ¤ GetAxisPMacNum ) ¤ 06000254 % SetAxisEnumNum ) 06000255 % GetAxisEnumNum ) 06000256 " % SetMotorScaleFactor ) 06000257 " % t GetAxisTimeOutSecond ) t 06000258 " % ô SetAxisTimeOutSecond ) ô 06000259 * % h GetAxisHommingTimeOutSecond ) h 0600025a * % ð SetAxisHommingTimeOutSecond ) ð 0600025b " % l GetAxisHommingSpeed ) l 0600025c " % ì SetAxisHommingSpeed ) ì 0600025d " % ` GetAxisSWPlusLimit ) ` 0600025e " % Ü SetAxisSWPlusLimit ) Ü 0600025f " % L GetAxisSWMinusLimit ) L 06000260 " % Ì SetAxisSWMinusLimit ) Ì 06000261 % @ GetAxisTeachData ) @ 06000262 % ø SetAxisTeachData ) ø 06000263 % t LoadMotorData ) t 06000264 % à SaveMotorData ) à 06000265 % Ø ParsingAxisData ) Ø 06000266 % 8 DataUpdate ) 8 06000267 % AlarmCheck ) 06000268 % GetCtrlData ) 06000269 % P ServoOnOff ) P 0600026a % X StartHomming ) X 0600026b % d! ClearError ) d! 0600026c % l" ClearErrorAll ) l" 0600026d % Ø" MoveAbs ) Ø" 0600026e % $$ MoveRel ) $$ 0600026f % % MoveJog ) % 06000270 % ¨& MoveStop ) ¨& 06000271 % x' MoveXYTStop ) x' 06000272 % ð' IsLoadPosition ) ð' 06000273 % 0) IsCenterPosition ) 0) 06000274 " % t* IsPowerMeterPosition ) t* 06000275 " % È+ IsBeamProfilePosition ) È+ 06000276 % - .cctor ) - 06000277 " % get_MainCDAPressure ) 0600013f & % get_MainVacuumPressure ) 06000140 % get_N2PTPressure ) 06000141 % get_MainCDAFlow ) 06000142 & % ü get_ChamberVacuumPressure ) ü 06000143 % .ctor ) 06000144 % D statusUpdate ) D 06000145 % ( GetCommand ) ( 06000146 % ReadMeasuredValue ) 06000147 % P WriteRead ) P 06000148 % ! get_Name ) ! 060003a5 % < ! set_Name ) < ! 060003a6 % t ! get_RecipeNames ) t ! 060003a7 % ´ ! set_RecipeNames ) ´ ! 060003a8 % ô ! .ctor ) ô ! 060003a9 % ` ! Clone ) ` ! 060003aa % @ ! IsEquals ) @ ! 060003ab % $ get_ScanMode ) $ 060003c7 % @ $ set_ScanMode ) @ $ 060003c8 % | $ get_X ) | $ 060003c9 % ° $ set_X ) ° $ 060003ca % ä $ get_Y ) ä $ 060003cb % $ set_Y ) $ 060003cc % L $ .ctor ) L $ 060003cd " % - <statusUpdate>b__37_0 ) - 06000444 " % get_CurrentSoftFaults ) 060001a1 " % set_CurrentSoftFaults ) 060001a2 & % ø get_CurrentBoardFaults ) ø 060001a3 & % x set_CurrentBoardFaults ) x 060001a4 & % ì get_CurrentSystemStatus ) ì 060001a5 & % p set_CurrentSystemStatus ) p 060001a6 & % è get_CurrentSystemFaults ) è 060001a7 & % l set_CurrentSystemFaults ) l 060001a8 & % ä get_CurrentGeneralAlarms ) ä 060001a9 & % h set_CurrentGeneralAlarms ) h 060001aa 2 % à get_CurrentTemperatureControlFaults ) à 060001ab 2 % p set_CurrentTemperatureControlFaults ) p 060001ac & % ô get_CurrentSystemState ) ô 060001ad & % t set_CurrentSystemState ) t 060001ae % è get_EnableShutter ) è 060001af % d set_EnableShutter ) d 060001b0 % Ô get_EnableLdd ) Ô 060001b1 % L set_EnableLdd ) L 060001b2 % ¸ get_SetCurrent ) ¸ 060001b3 % 0 set_SetCurrent ) 0 060001b4 % get_ActualCurrent ) 060001b5 %
|
set_ActualCurrent )
|
060001b6 %
|
get_DiodeVoltage )
|
060001b7 % set_DiodeVoltage ) 060001b8 % t get_MaxCurrent ) t 060001b9 % ì set_MaxCurrent ) ì 060001ba % X get_LddHours ) X 060001bb % Ð set_LddHours ) Ð 060001bc % < get_Prf ) < 060001bd % ° set_Prf ) ° 060001be % get_PrfSource ) 060001bf % set_PrfSource ) 060001c0 % ü get_GateSource ) ü 060001c1 % t set_GateSource ) t 060001c2 % à get_PecSource ) à 060001c3 % X set_PecSource ) X 060001c4 % Ä get_FpkEnable ) Ä 060001c5 % < set_FpkEnable ) < 060001c6 % ¨ get_FpkRampTime ) ¨ 060001c7 % $ set_FpkRampTime ) $ 060001c8 % get_FpkRampRate ) 060001c9 % set_FpkRampRate ) 060001ca % get_LpkEnable ) 060001cb % ø set_LpkEnable ) ø 060001cc % d get_LpkRampTime ) d 060001cd % à set_LpkRampTime ) à 060001ce % P get_LpkRampRate ) P 060001cf % Ì set_LpkRampRate ) Ì 060001d0 * % < get_ShgTemperatureSetPoint ) < 060001d1 * % À set_ShgTemperatureSetPoint ) À 060001d2 * % 8 get_ThgTemperatureSetPoint ) 8 060001d3 * % ¼ set_ThgTemperatureSetPoint ) ¼ 060001d4 & % 4 get_LdTemperatureSetPoint ) 4 060001d5 & % ¸ set_LdTemperatureSetPoint ) ¸ 060001d6 & % 0 get_ShgActualTemperature ) 0 060001d7 & % ´ set_ShgActualTemperature ) ´ 060001d8 & % , get_ThgActualTemperature ) , 060001d9 & % ° set_ThgActualTemperature ) ° 060001da & % ( get_LdActualTemperature ) ( 060001db & % ¬ set_LdActualTemperature ) ¬ 060001dc % $ get_DutyControl ) $ 060001dd % set_DutyControl ) 060001de " % get_DutyControlWidth ) 060001df " % set_DutyControlWidth ) 060001e0 % get_PecLevel ) 060001e1 % | set_PecLevel ) | 060001e2 % è get_BurstStatus ) è 060001e3 % d set_BurstStatus ) d 060001e4 % Ô get_BurstCount ) Ô 060001e5 % L set_BurstCount ) L 060001e6 % ¸ get_BurstRate ) ¸ 060001e7 % 0! set_BurstRate ) 0! 060001e8 % ! get_BurstCycles ) ! 060001e9 % " set_BurstCycles ) " 060001ea " % " get_BurstFiringMode ) " 060001eb " % # set_BurstFiringMode ) # 060001ec & % |# get_BurstTriggerSource ) |# 060001ed & % ü# set_BurstTriggerSource ) ü# 060001ee " % p$ get_DutyControlMode ) p$ 060001ef " % ð$ set_DutyControlMode ) ð$ 060001f0 & % d% get_PowerMonitorReading ) d% 060001f1 & % è% set_PowerMonitorReading ) è% 060001f2 % `& get_FlowReading ) `& 060001f3 % Ü& set_FlowReading ) Ü& 060001f4 " % L' get_HumidityReading ) L' 060001f5 " % Ì' set_HumidityReading ) Ì' 060001f6 % @( get_IpAddress ) @( 060001f7 % ¸( set_IpAddress ) ¸( 060001f8 % $) get_SubnetMask ) $) 060001f9 % ) set_SubnetMask ) ) 060001fa % * get_Gateway ) * 060001fb % * set_Gateway ) * 060001fc % ì* .ctor ) ì* 060001fd % P+ ChangeSoftFaults ) P+ 060001fe % , ChangeBoardFaults ) , 060001ff " % °, ChangeSystemStatus ) °, 06000200 " % `- ChangeSystemFaults ) `- 06000201 " % . ChangeGeneralAlarms ) . 06000202 . % Ä. ChangeTemperatureControlFaults ) Ä. 06000203 % / ChangeSystemState ) / 06000204 & % G <ReadAlarmFile>b__10_0 ) G 060012b3 & % L G <ReadAlarmFile>b__10_1 ) L G 060012b4 & % À G <ReadAlarmFile>b__10_2 ) À G 060012b5 F " h v £ ª ² ¹ Á Ò ã ô * 3 2 TT.UserInfo.User C3EEA2CB ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ l t d SA_LTT.UserInfo.UserManager F58E725C ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ Z ¬ d SA_LTT.Parameter.InterlockParameter E27D1349 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ . X 4 SA_LTT.Parameter.SystemParameter 160E5C02 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ X Ä d SA_LTT.Parameter.UserParameter 0A158631 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ N è SA_LTT.Module.Attenuator 604264E1 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ ^ ¨ ° SA_LTT.Module.Chamber 5BDDA971 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ _ ¼ ¤ SA_LTT.Module.Chiller BEAA886B ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ V
|
SA_LTT.Module.Crevis A7C06CA5 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ e è SA_LTT.Module.E5CC 4CA9E064 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ c È SA_LTT.Module.FFU A9D04437 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ - ,
|
Ø SA_LTT.Module.FFUStatus 7170366F ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ n ð SA_LTT.Module.GR200 19F29E08 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ K Ô SA_LTT.Module.Motor 9838936F ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ ] < 9 SA_LTT.Module.PiLaser FF2DB0B8 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ r 00 ( SA_LTT.Module.PiLaserStatus BEC3EDC5 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ J P ¬ SA_LTT.Module.PowerMeter 869EE329 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ m - ' SA_LTT.Module.PowerPmacCtrl 63CBC086 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ k h ( SA_LTT.Module.AxisInfo B492EFEF ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ = à ¤ SA_LTT.Module.Teach_Data BD7B05F3 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ A À! <' SA_LTT.Module.PreAligner AD2E272C ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ G 9 6 SA_LTT.Module.Robot CD480F0A ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ E H SA_LTT.Module.Coord 510B6B11 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ a ( ) SA_LTT.Module.Scanner B5B0F68B ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ ` ä À SA_LTT.Module.ComPort 0CBB3DA2 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ H ¼ ¸) SA_LTT.Module.RTC5.RTC5Wrap 155CDEE4 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ S < 8 SA_LTT.Info.WaferInfo.WaferInfo 53256510 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ i ì T SA_LTT.Info.WaferInfo.WaferInfoManager 867B5260 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ o , SA_LTT.Info.RecipeInfo.FoupRecipe 86F808CB ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ C ¸ t SA_LTT.Info.RecipeInfo.FoupRecipeManager 98FF8729 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 6 L 4 SA_LTT.Info.RecipeInfo.Recipe 4A63E309 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ p ° t SA_LTT.Info.RecipeInfo.Coord A7134F7A ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ < X ," SA_LTT.Info.RecipeInfo.ProcessInfo 62675046 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ R ¸ t SA_LTT.Info.RecipeInfo.RecipeManager 44F583D8 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ M SA_LTT.Info.FoupInfo.Foup 8BEF6AC4 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 5 L ` SA_LTT.Base.XmlManager`1 F9B7828C ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ / $
|
ø SA_LTT.Alarm.Alarm D145893D ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ P p
|
ø
|
SA_LTT.Alarm.AlarmManager CF19FC07 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ O , h SA_LTT.Equipment.<>c 60F9E66E ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ L < SA_LTT.EquipmentLogManager.<>c 720F5480 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ q Ð < SA_LTT.Module.Attenuator.<>c 2A419167 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ F l 8 SA_LTT.Module.Chiller.StatatusFlag1 A645F9F1 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ @ x < SA_LTT.Module.Chiller.<>c E0689CC1 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 1 ì < SA_LTT.Module.Crevis.<>c BC34920F ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ I ì < SA_LTT.Module.E5CC.<>c 3571FD7C ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ B < SA_LTT.Module.FFU.<>c 9125EA82 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ Q x < SA_LTT.Module.GR200.<>c 98D85B71 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 4 ä ä SA_LTT.Module.PiLaser.<PiLaserReads>d__83 1845A9E7 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 0 ´ 0 SA_LTT.Module.PiLaserStatus.SoftFaults D6C4ECF3 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ > P SA_LTT.Module.PiLaserStatus.BoardFaults E11F9002 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ W P È SA_LTT.Module.PiLaserStatus.SystemStatus 429D0A17 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ T 0 SA_LTT.Module.PiLaserStatus.SystemFaults B8690215 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ Y È SA_LTT.Module.PiLaserStatus.GeneralAlarms 0E7F8EB1 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ , $ P SA_LTT.Module.PiLaserStatus.TemperatureControlFaults 0883A7E2 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ D l @ SA_LTT.Module.PiLaserStatus.SystemState B7C5BC1E ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ h < SA_LTT.Module.PowerMeter.<>c 0CDBF7B2 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ d SA_LTT.Module.PreAligner.<>c D0B24F2E ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 2 Ô ¸ SA_LTT.Module.PreAligner.<>c__DisplayClass45_0 B2B696B2 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 3 4 @ SA_LTT.Module.PreAligner.<>c__DisplayClass46_0 3422E41C ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ g 0 < SA_LTT.Module.Robot.<>c 5466C80E ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 9 p < SA_LTT.Module.Robot.<>c__DisplayClass75_0 4043A73F ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ : l < SA_LTT.Module.Robot.<>c__DisplayClass76_0 C6D7D591 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ ; p < SA_LTT.Module.Robot.<>c__DisplayClass78_0 FCDDB4E1 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 7 l < SA_LTT.Module.Robot.<>c__DisplayClass80_0 C9AE2420 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ 8 t < SA_LTT.Module.Robot.<>c__DisplayClass81_0 02F2F785 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ b SA_LTT.Module.RTC5.RTC5Wrap.FunctionImporter E35C445C ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ s 4 SA_LTT.Alarm.AlarmManager.<>c 27E775A9 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ ? p < SA_LTT.Alarm.AlarmManager.<>c__DisplayClass12_0 1F1D5EFA -º.ñ 2 ÿÿÿÿw 1 t u ^v t hz , îÀ ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ \ 8 X SA_LTT.SequenceTimer 028A5A7B ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ j 4( SA_LTT.Equipment CCB44983 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ f ü SA_LTT.EquipmentLogManager 52FEFB4A ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ [ Ð
|
& SA_LTT.Sequence 03DFCEA1 ÿÿÿÿ ÿÿÿÿ ÿÿ U ° SA_L e q z ¤ ¿ c G ª Á k m o « n ö ~ ý { @ » Ä
|
O µ B Ó k
|
u M  M : I Y i C ¬ á 9 Æ K * 6 ` o M»~ ¤ M» ¤ M»! ý ¤ M» ý ¤ M» ý ¤ M» ý ¤ M» ý ¤ M» ý ¤ M» ¤ M» ¤ M»- ¤ M»< ¤ M»K ¤ M»Z ¤ M»i W ¤ À Ì Õ á ê û / D Ü$ ´ 1 - ½1 # à1 M»ù1 M»2 M»2 M»2 M»#2 M»/2 M»82 ) M»a2 4 2 ¡2 ª2 8 â2 _ A4 Ä4 Q 5 25 ( Z5 W ±5 D6 b6 i6 q6 x6 6 6 6 6 6 ¥6 6 ´6 ¼6 Ã6 Ë6 Ò6 Ú6 á6 é6 ð6 ø6 ÿ6 7 7 7 7 %7 ,7 47 Ì7 ê7 M» }8 M» M»8 # M»¾8 M»Ê8 M»Ó8 M»í8 M»ù8 M»9 M»9 M»9 M»#9 M»,9 M»89 M»A9 M»M9 M»V9 M»b9 M»k9 ¢ M» : À M»Í: M»Û: M»é: # M» ; M»%; # M»H; M»a; M»o; M»}; 4 M»±; " M»Ó; M»ó; 5 M»(< = M»e< = M»¢< = M»ß< M»í< u M»b= 0 M»> < M»Î> s ÿÿA?
|
ÿÿ ÿÿ^?
|
ÿÿ ÿÿ{?
|
ÿÿ ÿÿ?
|
ÿÿ ÿÿµ?
|
ÿÿ ÿÿÒ?
|
ÿÿ ÿÿï?
|
ÿÿ ÿÿ @
|
ÿÿ ÿÿ)@
|
ÿÿ ÿÿF@ K
|
ÿÿ ÿÿ@
|
ÿÿ ÿÿ®@
|
ÿÿ ÿÿË@
|
ÿÿ ÿÿè@
|
ÿÿ ÿÿA
|
ÿÿ ÿÿ A
|
ÿÿ ÿÿ6A
|
ÿÿ ÿÿLA
|
ÿÿ ÿÿbA
|
ÿÿ ÿÿxA
|
ÿÿ ÿÿA
|
ÿÿ ÿÿ¤A
|
ÿÿ ÿÿºA
|
ÿÿ ÿÿÐA
|
ÿÿ ÿÿæA
|
ÿÿ ÿÿþA
|
ÿÿ ÿÿB *
|
ÿÿ ÿÿ8B *
|
ÿÿ ÿÿbB *
|
ÿÿ ÿÿB *
|
ÿÿ ÿÿ¶B
|
ÿÿ ÿÿÌB
|
ÿÿ ÿÿâB
|
ÿÿ ÿÿ÷B
|
ÿÿ ÿÿ C
|
ÿÿ ÿÿ#C
|
ÿÿ ÿÿ9C
|
ÿÿ ÿÿOC
|
ÿÿ ÿÿeC
|
ÿÿ ÿÿ{C
|
ÿÿ ÿÿC
|
ÿÿ ÿÿ§C »
|
ÿÿ ÿÿbE »
|
ÿÿ ÿÿ G »
|
ÿÿ ÿÿØH »
|
ÿÿ {J µ { {HK ¼ { {L { {L { {$L Ü { { M $ { {$M { {&M { {(M { {*M { {,M { {.M { {0M { {8M { uAM ù u u:O " u u\P & u uP u u Q u uQ Ñ u ueR Ñ u u6S ? u uuS X u ÍS ÙS âS Ï ±T ¼ mU ½ *V ÅV ó ¸W F þW d bX iX kY ö aZ Ò 3[ H] S ] s ^ f ^ f f1^ f f8^ f f@^ f fG^ f fO^ f fV^ f f^^ f fe^ f fm^ f ft^ f f|^ f f^ f f^ f f^ f f^ f f¡^ f f©^ f f°^ f f¸^ f f¿^ f fÇ^ f fÎ^ f fÖ^ f fÝ^ f få^ f fì^ f fô^ f fû^ f f_ f f
|
_ f f_ Q f fc` f fp` f f}` X f tÕ` t tç` t tù` t t a t t a t t/a á t tb º t tÊb " t tìb " t td z t d d d d d d d d d d d d d ¢d ¤d °d ¹d ¾ we ¯ &f % Kf Zf & f g g d èg ) h ) :h ) ch & h l õh l ai & i j l uj ÷j & k ºk <l & bl I «l I ôl I =m ) fm ) m ) ¸m 0 èm . n . Dn j ®n 1 ßn I (o I qo I ºo I p I Lp a p 5 âp 5 q 5 Lq 1 }q E Âq E r 1 8r E }r E Âr as t 1 1t h t [ ôt 1 %u B gu B ©u B ëu 5 v 5 Uv 5 v I Óv I w B ^w nx i ×x `y K «y z %z ÿ $| ¬ Ð} Þ} ê} ó} ÿ} ~ ~ ~ )~ 2~ >~ G~ S~ \~ h~ q~ }~ ~ ~ ~ §~ °~ ¼~ Å~ Ñ~ Ú~ æ~ ï~ û~ % . : C O X d m y £ ¬ ¸ Á Í Ö â ë ÷ ! * 6 ? K T ` i u ~ ¨ ´ ½ É Ò Þ ç ó ü & 2 ; G P \ e q z ¤ % ^ ª - Ä ^ " ¹ ª c
ÿÿç
ÿÿ ÿÿó
ÿÿ ÿÿü
ÿÿ ÿÿ ÿÿ ÿÿ ÿÿ ÿÿ ÿÿ ÿÿ& ÿÿ ÿÿ2 ÿÿ ÿÿ; ÿÿ ÿÿL 1 ÿÿ ÿÿ} 1 ÿÿ ÿÿ® 1 ÿÿ ÿÿß ÿÿ ÿÿë ÿÿ ÿÿô § ÿÿ ÿÿ À ÿÿ ÿÿ[ ò ÿÿ ÿÿM 3 ÿÿ ÿÿ 3 ÿÿ ÿÿ³ A ÿÿ ÿÿô ÿÿ ÿÿ Q ÿÿ S | Ï è ö { q e f x © · Â Ð Û é ù ( 6 A O Z h s ¥ ³ ¾ Ì × å ð þ m · ? ð / ª Ù Þ · W o Æ > > B \ ç } * ; Z ¬ ¬ ² ¬ ^ ¬
|
) ¹ Å Î Ú ã ï ø " . 7 C L X a m v ¬ µ Á Ê A ¡ ¡ ¡ ,¡ 5¡ A¡ J¡ V¡ _¡ k¡ t¡ ¡ ¡ ¡ ¡ ª¡ ³¡ ¿¡ È¡ Ô¡ Ý¡ é¡ ò¡ þ¡ ¢ 6 =¢ ¾ û¢ õ ð£ H 8¤ H ¤ ¶ 6¥ 4 j¥ 4 ¥ ( Æ¥ ( î¥ 4 "¦ S u§ é ^¨ Ø 6© Ø ª Ø æª
« û ¬ 4 ´¬ N . | ® s ® , ¸° W± f² q³ ´ ´ ÿ µ ¦µ ¯µ »µ ĵ е Ùµ åµ îµ úµ ¶ ¶ ¶ $¶ -¶ 9¶ B¶ N¶ W¶ c¶ l¶ x¶ ¶ ( ©¶ µ¶ ¾¶ ʶ Ó¶ ߶ è¶ > &· 2· ;· Ó· õ ȸ ¸ º » ;¼ ' b¼ i ˼ S½ ñ D¾ i ¾ ñ ¿ &À { ¡À ¼ ] ¼ Ä ¥Ä ¥Å k Ç p È È ®È ¼È ÊÈ ØÈ % ýÈ % "É 2É KÉ dÉ }É É k Ê Ê 'Ê : aÊ ^ ¿Ê ÍÊ ÝÊ öÊ Ë < BË ? Ë < ½Ë ÖË æË ÿË Ì (Ì 8Ì QÌ aÌ Ì Ì Ì ªÌ ºÌ ÊÌ . øÌ u þmÍ þ þyÍ þ þÍ þ þÍ A þ þÏÍ þ þÛÍ A þ þ Î / þ KÎ WÎ `Î lÎ uÎ Î Î Î Î «Î ´Î ÀÎ ÉÎ ÕÎ ÞÎ Q /Ï ;Ï DÏ Q Ï ¡Ï & ÇÏ ÓÏ & ùÏ Ð Ð Ð &Ð /Ð ;Ð DÐ PÐ YÐ eÐ nÐ zÐ Ð Ð Ð ¤Ð ( ÌÐ ØÐ ( Ñ Ñ Ñ K `Ñ 5 Ñ %Ò 5 ZÔ zÖ ¨ "Ø " DØ $ hØ + Ø Ì _Ù
äÙ t XÚ ] µÚ W Û Ù åÛ Q 6Ü CÜ PÜ ³ Ý 6 9Ý JÝ iÝ ' Ý Þ | ß " ¹ß Aà v ·â " Ùâ êâ öâ ÿâ ã 㠳㠾ã + éã + ä É Ýå _æ ¬ è è é » Uê E ^g/ ^ ^n/ ^ ^v/ ^ ^}/ ^ ^
/ ^ ^/ ^ ^/ ^ ^/ ^ ^£/ ^ ^ª/ ^ ^²/ ^ ^¹/ ^ ^Á/ = ^ ^þ/ [ ^ `Y0 ` `Û0 ` `ø2 ? ` `73 ` `N3 ? ` `3 Æ ` S4 Z4 b4 i4 q4 4 = Å4 D5 ! P5 ! Y5 8 ! 5 Ã ! T6 q ! Å6 ? ! 7 ! !7 ( ! I7 W ! 7 " §7 " ¯7 " ¶7 " ¾7 " Å7 " Í7 " Ô7 " Ü7 " ã7 " ë7 " ò7 " ú7 " 8 " 8 } " 8 H " Î8 m " ;9 ! " \: # c: # k: # r: # z: # : # : # £: $ ª: $ ²: $ ¹: $ Á: $ È: $ Ð: $ ×: $ ß: $ æ: $ î: $ õ: $ ý: $ ; $ ; $ ; $ ; $ "; $ *; $ 1; $ 9; $ @; $ H; $ O; $ W; $ ^; $ f; $ m; $ u; $ |; $ ; $ ¡; $ ¨; $ °; $ ·; $ ¿; $ Æ; $ Î; $ Õ; $ Ý; $ ä; $ ì; ¼ $ ¨< C $ ë< Ú $ Å= a $ &? A $ gB E $ ¬B T $ C Ü $ ÜD s $ OL H $ M $ ·O % ÃO % ÌO 8 % P Ã % ÇP q % 8Q ? % wQ % Q ( % ¼Q W % R ) & <R ' PR W ' §R Z ' S d ' eS e ' ÊS ' æS K ' 1T ' DT ( MT ( YT ( bT ( nT ( wT ( T ( ¡T ( °T ( ËT ( ×T ( àT ( ìT ( õT ( U (
|
U N ( XU r ( ÊU u ( ?V ( LV ( XV I ) ¡V Ó ) tZ ) y[ Ä ) =\ ) ]\ Ø ) 5^ \ ) ^
|
* ^
|
* ¥^ + «^ , ¶^ ó - ©_ . ´_ / ¿_ 0 Ê_ 1 Õ_ 2 à_ E 3 %g 4 1g 4 :g 4 Fg 4 Og 4 [g 4 dg 4 pg 4 yg 5
g 5 g 5 g 5 £g 5 ¯g 5 ¸g 5 Äg 5 Íg 5 Ùg 5 âg 5 îg 5 ÷g 5 h 5 h 5 h 5 !h 6 -h 6 6h 6 Bh 6 Kh 6 Wh 6 `h 6 lh 6 uh 6 h 6 h 6 h 6 h 6 «h 6 ´h 7 Àh 7 Éh 7 Õh 7 Þh 7 êh 7 óh 7 ÿh 7 i 8 i 8 i 8 )i 8 2i 8 >i 8 Gi 8 Si 8 \i 8 hi 8 qi 8 }i 8 i 8 i 8 i 9 §i 9 °i 9 ¼i 9 Åi 9 Ñi 9 Úi 9 æi 9 ïi 9 ûi 9 j 9 j 9 j 9 %j 9 .j 9 :j 9 Cj : Oj : Xj : dj : mj : yj : j : j : j : £j : ¬j : ¸j : Áj ; Ìj < ×j < Ùj < Ûj < Ýj < ßj P = /m ² > án ? ìn @ o A o B 7o C Po D co E wo + E ¢o ³ E Up E \p F dp F lp F tp G ÿÿÿÿ p ÿÿÿÿ ÿÿÿÿH H
|
! " # $ % & ' ( ) * + , - . / 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 : ; < = > ? @ A B C D E F G ³ \ Ú ^ _ H 0 3 Ý ¹ j & & } ¶ c c c Á ? > Ö ' ß ¡ ê y \ Ú 3 ¹ ¹ j & } Á Á Á ? ? ? ? ? ? > F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\PiLaser.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\FFU.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Parameter\SystemParameter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Alarm\Alarm.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Crevis.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\PreAligner.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Base\XmlManager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\Recipe.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Robot.cs F:\SA_LTT_UI\SA_L TT\Module\PowerPmacCtrl.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Alarm\AlarmManager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Chiller.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\FoupRecipeManager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Scanner.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\RTC5\RTC5Wrap.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\E5CC.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\PowerMeter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Motor.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Log\EquipmentLogManager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\FoupInfo\Foup.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Attenuator.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Equipment.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\GR200.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\RecipeManager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\WaferInfo\WaferInfo.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\UserInfo\User.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Parameter\UserParameter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Parameter\InterlockParameter.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Sequence.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Base\SequenceTimer.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Module\Chamber.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Base\ComPort.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\WaferInfo\WaferInfoManager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\UserInfo\UserManager.cs F:\SA_LTT_UI\SA_LTT\Info\RecipeInfo\FoupRecipe.cs þïþï ÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿ+ ÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿ .1uÙc O?%L ¶j7§åd /LinkInfo /names /src/headerblock /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\alarm\alarmmanager.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\alarm\alarm.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\base\xmlmanager.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\foupinfo\foup.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\recipemanager.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\recipe.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\fouprecipemanager.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\recipeinfo\fouprecipe.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\waferinfo\waferinfomanager.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\waferinfo\waferinfo.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\rtc5\rtc5wrap.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\base\comport.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\scanner.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\robot.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\prealigner.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\powerpmacctrl.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\powermeter.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\pilaser.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\motor.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\gr200.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\ffu.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\e5cc.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\crevis.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\chiller.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\chamber.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\module\attenuator.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\parameter\userparameter.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\parameter\systemparameter.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\parameter\interlockparameter.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\userinfo\usermanager.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\info\userinfo\user.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\sequence.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\log\equipmentlogmanager.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\equipment.cs /src/files/f:\sa_ltt_ui\sa_ltt\base\sequencetimer.cs & F ¨
ã0ÿñ?¼ '
|
É © D ! î $ ú · ( æ i & x " - % " ] e â ² / * ù
|
W c W È ² # É ( ( , ) ) ì ÜQ3 w Ø 8 8 Ä ` \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ \ ( ø À ( 4 Ô ð ´ ¼ ¸ ´ ¸ (; Ð Ø ¸ À pJ h x ° ør * 4 ° h \ ¨ ( ¨ ¤ À x è x Ð
|
< L
|
$ Ä1 Ì tw Ä+ Ô ( PS ¸ Ü H x h t àE t $ dV D ` |P ä $Y , í
|
 ´ µ ¶ · ¸ ¹ º » ¼ ½ ¾ ¿ À Á ³ Ã Ä Å Æ Ç È É Ê Ë Ì Í Î Ï Ð Ñ Ò Ó Ô Õ Ö × Ø Ù Ú Û Ü Ý Þ ß à á â ã ä å æ ç è é ê ë ì í î ï ð ñ ò ó ô õ ö ÷ ø ù ú û ü ý þ ÿ , - . / 0 1 2 3 4 5 6
|
! " # $ % & ' ( ) * + 7 8 9 : ; < = > ? @ A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z [ \ ] ^ _ ` a b c d e f g h i j k l m n o p q r s t u v w x y z { | } ~
¡ ¢ £ ¤ ¥ ¦ § ¨ © ª « ¬ ® ¯ ° ± ² ³ ´ µ ¶ · ¸ ¹ º » ¼ ½ ¾ ¿ À Á Â Ã Ä Å Æ Ç È É Ê Ë Ì Í Î Ï Ð Ñ Ò Ó Ô Õ Ö × Ø Ù Ú Û Ü Ý Þ ß à á â ã ä å æ ç è é ê ë ì í î ï ð ñ ò ó ô õ ö ÷ ø ù ú û ü ý þ ÿ
|
! " # $ % & ' ( ) * + , - . / 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 : ; < = > ? @ A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z [ \ ] ^ _ ` a b c d e f g h i j k l m n o p q r s t u v w x y z { | } ~
¡ ¢ £ ¤ ¥ ¦ § ¨ © ª « ¬ ® ¯ ° ± ² ³ ´ µ ¶ · ¸ ¹ º » ¼ ½ ¾ ¿ À Á Â Ã Ä Å Æ Ç È É Ê Ë Ì Í Î Ï Ð Ñ Ò Ó Ô Õ Ö × Ø Ù Ú Û Ü Ý Þ ß à á â ã ä å æ ç è é ê ë ì í î ï ð ñ ò ó ô õ ö ÷ ø ù ú û ü ý þ ÿ
|
! " # $ % & ' ( ) * + , - . / 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 : ; < = > ? @ A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z [ \ ] ^ _ ` a b c d e f g h i j k l m n o p q r s t u v w x y z { | } ~
¡ ¢ £ ¤ ¥ ¦ § ¨ © ª « ¬ ® ¯ ° ± ² ³ ´ µ ¶ · ¸ ¹ º » ¼ ½ ¾ ¿ À Á Â Ã Ä Å Æ Ç È É Ê Ë Ì Í Î Ï Ð Ñ Ò Ó Ô Õ Ö × Ø Ù Ú Û Ü Ý Þ ß à á â ã ä å æ ç è é ê ë ì í î ï ð ñ ò ó ô õ ö ÷ ø ù ú û ü ý þ ÿ
|
! " # $ % & ' ( ) * + , - . / 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 : < ; = > ? @ A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z [ \ ] ^ _ ` a b c d e f g h i j k l m n o p q r s t u v w x y z { | } ~
¡ ¢ £ ¤ ¥ ¦ § ¨ © ª « ¬ ® ¯ ° ± ²
|
